技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種在鉭噴絲頭表面滲氮并鍍DLC膜的方法。包括如下步驟：(1)鉭噴絲頭表面拋光至0.02μm以上；(2)將表面拋光后的鉭噴絲頭清洗并烘干；(3)用顯微鏡檢測清洗后的鉭噴絲頭，若無任何污染則放入爐內(nèi)，將爐內(nèi)抽真空至真空度為5×102Pa，溫度升到500—700℃，保溫1—1.5h后加入氫和氮，其中，氫和氮的體積比為(4.5—5.5):1，用冷卻水冷卻，待爐內(nèi)溫度降至100℃以下時(shí)取出鉭噴絲頭；(4)將取出的鉭噴絲頭清洗并烘干；(5)用顯微鏡檢測清洗后的鉭噴絲頭，若無任何污染則放入爐內(nèi)，用磁控濺射的方法在鉭噴絲頭表面鍍上DLC膜；鍍膜采用的靶材為乙炔，鍍膜條件如下：真空度為5×10?3—8×10?3Pa，溫度180—280℃，濺射時(shí)間為1—3h；鍍膜后將鉭噴絲頭冷卻至100℃以下。

技術(shù)研發(fā)人員：蔣坤林;許登峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：長沙南方鉭鈮有限責(zé)任公司
文檔號碼：201611183942
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.20
技術(shù)公布日：2017.05.31