技術總結
一種自清潔用氮摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，包括如下步驟：（1）清洗玻璃基片，后用高壓N2吹干；（2）采用反應離子束技術對所述玻璃基片表面進行刻蝕，使所述玻璃基片表面具有凹凸不平的微結構；（3）采用磁控濺射技術在所述玻璃基片表面的微結構上沉積氮摻雜二氧化鈦薄膜，從而得到具有光催化作用的薄膜。本發明采用反應離子束技術對玻璃基片表面進行刻蝕，使玻璃基片表面具有凹凸不平的微結構，然后在玻璃基片表面上運用磁控濺射技術沉積氮摻雜二氧化鈦薄膜，從而得到具有更大的比表面積的薄膜，提高了薄膜光催化的效率。

技術研發人員：彭壽;馬立云;楊勇;姚婷婷;金克武;李剛;沈洪雪;王天齊;甘治平;徐根保
受保護的技術使用者：蚌埠玻璃工業設計研究院;中國建材國際工程集團有限公司
文檔號碼：201611188592
技術研發日：2016.12.21
技術公布日：2017.05.10