1.一種高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，包括：
制取粉料，粉料化學(xué)組分的質(zhì)量百分比為：鋁50～75％，錳25～50％；
稱取成型粉料裝入模具中，放入熱壓燒結(jié)爐經(jīng)熱壓燒結(jié)得到鋁錳合金靶材坯料；
機(jī)加工獲得靶材產(chǎn)品。
2.如權(quán)利要求1所述高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，其特征在于：粉料采用鋁錳合金粉料或者金屬鋁粉與錳粉的混合物。
3.如權(quán)利要求1或者2所述高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，其特征在于：粉料粒度小于50μm。
4.如權(quán)利要求1所述高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，其特征在于：將粉料裝入模具中，熱壓燒結(jié)前進(jìn)行預(yù)壓緊，壓緊壓力0.1～5MPa。
5.如權(quán)利要求1所述高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，其特征在于：熱壓燒結(jié)過程中，當(dāng)熱壓爐內(nèi)真空度高于1×10-2Pa時(shí)開始升溫，溫度升到350～400℃時(shí)保溫0.5～1h；繼續(xù)升溫至600～900℃，增加壓力至15～30MPa，保溫保壓1～4小時(shí)。
6.如權(quán)利要求1所述高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，其特征在于：對鋁錳合金靶材坯料進(jìn)行表面磨拋及外形加工處理獲得靶材產(chǎn)品。