1.一種鋁錳合金靶材的制造方法,包括:
制取板坯,板坯化學組分的質量比為,鋁:75~95%,錳:5~25%;
將成型板坯裝入模具中,放入熱壓燒結爐經熱壓燒結得到鋁錳合金靶材制品;
鋁錳合金靶材制品經機加工后得到靶材產品。
2.如權利要求1所述鋁錳合金靶材的制造方法,其特征在于:成型板坯為鋁錳合金鑄錠,表面粗糙度為1.0~3.0m。
3.如權利要求1所述鋁錳合金靶材的制造方法,其特征在于:熱壓燒結時,熱壓爐內真空度高于1×10-2Pa,燒結溫度為600~800℃,成型壓力為5~20MPa,保溫保壓1~2小時。
4.如權利要求1所述鋁錳合金靶材的制造方法,其特征在于:對鋁錳合金靶材制品進行表面磨拋及外形加工處理獲得靶材產品。