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真空鍍膜離子鍍裝置的陰極磁控裝置的制作方法

文檔序號:12393929閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種真空鍍膜離子鍍裝置的陰極磁控裝置,包括相互連接的電機和支架,其特征在于:所述支架中間設有至少一根與電機相連的轉動軸,轉動軸上設有圓柱體滾柱,該圓柱體滾柱上開設凹槽,凹槽內設有磁鐵。

2.根據權利要求1所述的真空鍍膜離子鍍裝置的陰極磁控裝置,其特征在于:所述轉動軸的數量為兩根、四根或六根。

3.根據權利要求1或2所述的真空鍍膜離子鍍裝置的陰極磁控裝置,其特征在于:所述轉動軸在電機帶動下的轉動方向為同向或相向,電機的轉速為50-120rpm。

4.根據權利要求3所述的真空鍍膜離子鍍裝置的陰極磁控裝置,其特征在于:所述凹槽內磁鐵的深度小于等于圓柱體滾柱的直徑。

5.根據權利要求4所述的真空鍍膜離子鍍裝置的陰極磁控裝置,其特征在于:所述凹槽內磁鐵的寬度為4-6mm。

6.根據權利要求5所述的真空鍍膜離子鍍裝置的陰極磁控裝置,其特征在于:所述凹槽內磁鐵為單獨磁鐵或磁鐵組合。

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