1.一種掃描磁場的離子鍍陰極，其特征在于：它包括靶座、磁座、固定磁體、內(nèi)部磁體、氣體驅(qū)動系統(tǒng)、陰極和冷卻水；所述靶座內(nèi)的底部上設(shè)有氣體驅(qū)動系統(tǒng)，氣體驅(qū)動系統(tǒng)上設(shè)有磁座，內(nèi)部磁體置于磁座的內(nèi)部邊緣，內(nèi)部磁鐵和磁座在氣體驅(qū)動系統(tǒng)的作用下在氣體驅(qū)動系統(tǒng)的內(nèi)壁之間圍繞靶座的縱向中心線做有規(guī)律的直線往返運(yùn)動，固定磁體設(shè)于氣體驅(qū)動系統(tǒng)和靶座之間并位于靶座頂部下方，陰極設(shè)于靶座上部，陰極底部和靶座頂部之間形成冷卻水道。
2.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的掃描磁場的離子鍍陰極，其特征在于：所述氣體驅(qū)動系統(tǒng)為U字型，它可以控制內(nèi)部磁鐵和磁座的運(yùn)行速度。
3.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的掃描磁場的離子鍍陰極，其特征在于：所述陰極的形狀為圓形、矩形或正方形。
4.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的掃描磁場的離子鍍陰極，其特征在于：所述固定磁體為永磁體、電磁體或電磁線圈。