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掩膜板的制作方法

文檔序號:12430808閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種掩膜板,包括:框架和包含有效開口的掩膜條,所述掩膜條設置于所述框架上;所述框架包括:與所述掩膜條平行的第一邊框,與所述掩膜條垂直的第二邊框,其特征在于,

所述第一邊框上用于設置基板的表面為下凹的曲面,或者,所述第一邊框上用于設置基板的表面直接挖空,使基板置于所述框架上時所述第一邊框不與所述基板接觸,只有所述第二邊框支撐所述基板。

2.根據權利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述曲面下凹的最低點深度與下述數值一致:所述基板以四邊支撐的方式置于掩膜板上時,所述基板中心點的下垂量。

3.根據權利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述曲面沿與所述掩膜條平行方向上的下凹弧度與下述曲線一致:所述基板以四邊支撐的方式置于掩膜板上時,所述基板的中線下垂形成的曲線;其中,所述基板的中線過所述第二邊框的中點且與所述第一邊框平行。

4.根據權利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述第一邊框的表面挖空的深度為1.4~2.0毫米。

5.根據權利要求4所述的掩膜板,其特征在于,所述第一邊框的表面挖空的深度為1.5毫米。

6.根據權利要求1-5任一項所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜板為OLED制程的蒸鍍有機材料工序中使用的精細金屬掩膜板。

7.根據權利要求1-5任一項所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜板的材質為鎳鐵合金,鎳鈷合金或者不銹鋼。

8.根據權利要求1-5任一項所述的掩膜板,其特征在于,所述框架一體成型。

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