1.一種PVD設備的反應氣體通入結構，其特征在于，在蒸發源法蘭(1)上打孔，并在蒸發源法蘭(1)外側焊接接氣扣，在真空室內側圍繞靶材(2)焊接銅管(3)，銅管(3)上均勻打出氣孔，銅管(3)的一端穿于孔內，另一端通過接氣扣連通外部氣源。
2.根據權利要求1所述的一種PVD設備的反應氣體通入結構，其特征在于，出氣孔的孔徑為1mm。
3.根據權利要求1或2所述的一種PVD設備的反應氣體通入結構，其特征在于，所述銅管(3)的直徑為8mm。
4.根據權利要求1或2所述的一種PVD設備的反應氣體通入結構，其特征在于，所述銅管(3)距離靶材(2)的邊緣為5mm。