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一種新型半導體硅片割圓技術設備的制作方法

文檔序號:12214348閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種新型半導體硅片割圓技術設備,其特征在于:包括底座(1)和非標工作臺(2);

所述底座(1)上設有行程調節軸(3),所述行程調節軸(3)上一側活動連接有電機(4),另一側固定連接有箱體(5);所述箱體(5)內設有轉軸(6),所述轉軸(6)下端伸出所述箱體(5)連接有非標刀頭(7);所述箱體(5)一側連接有進給操作手輪(8);

所述非標工作臺(2)固定在所述底座(1)上,且位置正對所述非標刀頭(7)下端;所述非標工作臺(2)中間活動連接有硅片吸盤(9),所述硅片吸盤(9)周圍依次間隔設置有若干非標定制入刀槽(10)和密封圈(11)。

2.根據權利要求1所述的一種新型半導體硅片割圓技術設備,其特征在于:所述非標工作臺(2)與所述底座(1)之間設有若干立柱(12),所述立柱(12)一端連接所述非標工作臺(2),另一端連接所述底座(1)。

3.根據權利要求1或2所述的一種新型半導體硅片割圓技術設備,其特征在于:所述硅片吸盤(9)與所述底座(1)之間設有彈性件(13),所述彈性件(13)內部設有真空泵管(14);所述真空泵管(14)一端連接所述硅片吸盤(9)。

4.根據權利要求3所述的一種新型半導體硅片割圓技術設備,其特征在于:所述硅片吸盤(9)位于所述非標工作臺(2)臺面的幾何中心;所述硅片吸盤(9)為圓形,其直徑為4-8cm。

5.根據權利要求3所述的一種新型半導體硅片割圓技術設備,其特征在于:所述彈性件(13)為彈簧。

6.根據權利要求1所述的一種新型半導體硅片割圓技術設備,其特征在于:所述非標定制入刀槽(10)和密封圈(11)的橫截面形狀均為環形; 所述非標定制入刀槽(10)橫截面環形寬度大于所述密封圈(11)的橫截面環形寬度;所述非標定制入刀槽(10)和密封圈(11)的數量均為5個。

7.根據權利要求1所述的一種新型半導體硅片割圓技術設備,其特征在于:所述非標刀頭(7)橫截面為圓形;所述非標刀頭(7)下端正對所述硅片吸盤(9),且兩者間距為20-45cm;所述非標刀頭(7)刀片表面鍍有400號金剛砂,刀片厚度為0.2-0.5mm。

8.根據權利要求1所述的一種新型半導體硅片割圓技術設備,其特征在于:所述轉軸(6)平行于所述行程調節軸(3);所述非標工作臺(2)橫截面為圓形,其直徑大于等于所述底座(1)寬度;所述非標工作臺(2)的直徑為20-30cm。

9.根據權利要求1所述的一種新型半導體硅片割圓技術設備,其特征在于:所述底座(1)上表面設有冷卻液回收孔(15);所述冷卻液回收孔(15)位于所述非標工作臺(2)和所述行程調節軸(3)之間;所述箱體(5)上面固定連接有保護罩(16),所述保護罩(16)一側外表面設有冷卻水出口、真空泵開關(17)和電機開關(18),所述冷卻水出口連接有冷卻水管(19);所述保護罩(16)下面連接所述電機(4)。

10.根據權利要求9所述的一種新型半導體硅片割圓技術設備,其特征在于:所述冷卻水管(19)末端連接有冷卻水噴嘴,所述冷卻水噴嘴緊鄰所述非標刀頭(7)。

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