本實用新型涉及到半導體單晶硅片加工領域，具體的說是一種用于硅拋光片酸蝕的冷卻工裝。

背景技術：

硅拋光片加工過程中，有一道酸腐蝕工序，硅片在酸槽中腐蝕去除硅片表面的損傷層，同時產生大量的熱量，熱量使酸液溫度升高，硅片反應速度及腐蝕去除量難以控制，易出現表面腐蝕不均等技術問題，不能持續穩定地加工高質量的腐蝕片產品，為保證混合酸溫度穩定需要安裝冷卻裝置進行冷卻，冷卻水進水管較粗需要通過一個轉換接頭轉換成多個接頭，把有一種較細的薄壁四氟管盤成多股放入混合酸中，通入冷卻水進行冷卻，四氟薄壁管耐強酸并可以迅速進行熱交換，保證混合酸的穩定溫度，但是薄壁四氟管壁薄，管子不好連接，而且連接也不牢固。

技術實現要素：

為解決現有技術中用于冷卻的薄壁四氟管與進水管不好連接的問題，本實用新型提供了一種用于硅拋光片酸蝕的冷卻工裝，該工裝通過采用多孔接頭和轉換接頭配合，實現了薄壁四氟管與進水管的牢固連接。

本實用新型為解決上述技術問題所采用的技術方案為：一種用于硅拋光片酸蝕的冷卻工裝，包括設置在酸蝕槽內用于與酸進行熱交換冷卻的若干薄壁四氟管和用于向薄壁四氟管中通入冷卻水的進水管，所述若干薄壁四氟管和進水管之間通過轉接機構連接，所述轉接機構包括多孔接頭和轉換接頭，其中，轉換接頭的一端與進水管連接，另一端與多孔接頭連接，在多孔接頭內設置有多條與轉換接頭內通道連通的連接孔，所述每條薄壁四氟管的管口內均設置有脹管，脹管為表面具有錐度的套管，且所述連接孔的內徑介于脹管兩端直徑之間，以使脹管將薄壁四氟管固定在連接孔內。

所述轉換接頭兩端均為設置有內螺紋的螺紋孔，以分別與多孔接頭和進水管連接，且轉換接頭與多孔接頭連接端螺紋孔的內螺紋長度比多孔接頭表面外螺紋長度長至少8毫米。

所述連接孔的內徑比脹管外徑最大端小3mm。

所述薄壁四氟管的外徑與連接孔的內徑相同。

有益效果：本實用新型通過在多孔接頭上設置若干與薄壁四氟管配合的連接孔，然后再用轉換接頭將這些連接孔與進水管連通，并在薄壁四氟管的管頭內部設置具有錐度的脹管，通過脹管與連接孔的配合將薄壁四氟管固定在連接孔內，可以根據需要設置連接孔及薄壁四氟管的數量，具有結構簡單、價格低廉、操作方便等優點，而且連接的可靠性和安全性能均比較好。

附圖說明

圖1為多孔接頭的結構示意圖；

圖2為多孔接頭上連接孔的分布示意圖；

圖3為轉換接頭的結構示意圖；

圖4為脹管的側視圖；

圖5為脹管的主視圖；

附圖標記：1、多孔接頭，2、轉換接頭，3、連接孔，4、脹管。

具體實施方式

如圖所示，一種用于硅拋光片酸蝕的冷卻工裝，包括設置在酸蝕槽內用于與酸進行熱交換冷卻的若干薄壁四氟管和用于向薄壁四氟管中通入冷卻水的進水管，所述若干薄壁四氟管和進水管之間通過轉接機構連接，所述轉接機構包括多孔接頭1和轉換接頭2，其中，轉換接頭2的一端與進水管連接，另一端與多孔接頭1連接，在多孔接頭1內設置有多條與轉換接頭2內通道連通的連接孔3，所述每條薄壁四氟管的管口內均設置有脹管4，脹管4為表面具有錐度的套管，且所述連接孔3的內徑介于脹管4兩端直徑之間，以使脹管4將薄壁四氟管固定在連接孔3內。

以上為本實用新型的基本實施方式，可在以上基礎上做進一步的優化、改進和限定：

如，所述轉換接頭2兩端均為設置有內螺紋的螺紋孔，以分別與多孔接頭1和進水管連接，且轉換接頭2與多孔接頭1連接端螺紋孔的內螺紋長度比多孔接頭1表面外螺紋長度長至少8毫米，從而方便冷卻水流動暢通；

又如，所述連接孔3的內徑比脹管4外徑最大端小3mm，實際上，連接孔3的內徑稍小于脹管4的最大端，從而使脹管4基本上能夠完全塞入連接孔3內；

再如，所述薄壁四氟管的外徑與連接孔3的內徑相同。

實際生產中，多孔接頭1和轉換接頭2可以是金屬材質也可以是其他非金屬材質，轉換接頭2主要是兩端都是螺紋連接的孔，一端的孔根據冷卻水管道進水的大小做多大的螺紋孔，方便轉換接頭2與進水管連接，另外一端的螺紋孔做的可以和多孔接頭1的螺紋連接，轉換接頭2與多孔接頭1連接端螺紋孔的內螺紋長度比多孔接頭1表面外螺紋長度長8毫米以上，方便冷卻水流動暢通，多孔接頭1是中間鉆了較多連接孔3的接頭，外端通過螺紋和轉換接頭2連接，連接孔3的孔徑和薄壁四氟管外徑一樣粗細，可以方便薄壁四氟管插入孔中，其中連接孔3的多少以及接頭的大小可以根據冷卻量的需求做多少個孔，脹管4是個薄壁金屬椎管，要求有一定的強度，椎管最粗外徑和多孔接頭1的連接孔3外徑稍大一點，薄壁四氟管插入多孔接頭1的連接孔3中，脹管4插入薄壁四氟管中，并帶著薄壁四氟管插入多孔接頭1的連接孔3中，由于脹管4錐度頭比多孔接頭1的連接孔3大一點，所以薄壁四氟管被脹管4牢牢固定在多孔接頭1上，由于薄壁四氟管被擠壓在多孔接頭1上，這樣既不會漏水也有一定的耐壓性。