技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
經(jīng)處理的物件和用于制造經(jīng)處理的物件的過(guò)程、具有經(jīng)處理的物件的系統(tǒng)、以及并入經(jīng)處理的物件的過(guò)程被公開(kāi)。經(jīng)處理的物件包括金屬或金屬化的襯底和金屬或金屬化的襯底的表面處理部，表面處理部具有氟、硅和碳。系統(tǒng)包括流動(dòng)路徑，表面處理部位于流動(dòng)路徑內(nèi)。過(guò)程包括使流體流過(guò)流動(dòng)路徑。

技術(shù)研發(fā)人員：D·A·史密斯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西爾科特克公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.29
技術(shù)公布日：2017.10.10