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一種復(fù)合類金剛石碳膜及其制備方法與流程

文檔序號(hào):11570835閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公布了一種復(fù)合類金剛石碳膜及其制備方法,該結(jié)構(gòu)自基體表面底層從內(nèi)而外依次包括Cr、Ti或Cr和Ti合金打底層,CrC、TiC或CrC和TiC合金過(guò)渡層,以及DLC?1層和DLC?2層;其中,DLC?1層和DLC?2層分別由含有不同混合比例的sp3與sp2雜化碳原子構(gòu)成;所述膜的DLC層由線性大面積離子源電離乙炔氣體獲得,適用于涂覆大面積低溫處理工件表面;該涂層具有較高的膜?基結(jié)合強(qiáng)度,同時(shí)表現(xiàn)出優(yōu)良的減摩耐磨性能,尤其在應(yīng)用于大型活塞表面處理后,有效改善了大型活塞在做高速往返運(yùn)動(dòng)過(guò)程的磨損情況,顯著提高了活塞的使用壽命,減少故障率及降低了使用維護(hù)成本。

技術(shù)研發(fā)人員:張世宏;趙培云;李福星;陳蒙
受保護(hù)的技術(shù)使用者:馬鞍山市卡邁特液壓機(jī)械制造有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.03
技術(shù)公布日:2017.08.11
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