本發明涉及一種阻蒸設備，具體是指一種旋轉式多位阻蒸設備。

背景技術：

阻蒸鍍膜一般是通過加熱靶材使其表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來，并且使靶材的原子團或離子沉降在基片表面，通過成膜過程(散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。我們在對基片鍍膜時，常常會對基片采用相同或不同的靶材進行多次鍍膜，以確?；腻兡べ|量。

然而，現有的阻蒸鍍膜設備多為一位式固定阻蒸鍍膜設備，該設備在蒸鍍時只能放置一種靶材，不能同時放置多個靶材，當需要對基片進行多次鍍膜時，則需關閉阻蒸鍍膜設備后通過人工進行添加或更換靶材，導致基片的鍍膜時間過長，從而嚴重的影響了阻蒸鍍膜設備的鍍膜效率。

技術實現要素：

本發明的目的在于克服現有的阻蒸鍍膜設備的不能同時放置多個靶材，因此不能對基片進行連續的鍍膜的缺陷，提供一種旋轉式多位阻蒸設備。

本發明的目的通過下述技術方案現實：一種旋轉式多位阻蒸設備，主要由安裝臺，分別設置在安裝臺上的從電極鎖緊裝置和旋轉式電極桿，與旋轉式電極桿電連接的電極鎖緊裝置，與旋轉式電極桿相連接的驅動電機，以及設置在旋轉式電極桿上并與從電極鎖緊裝置電連接的多位阻蒸盤組成；所述多位阻蒸盤上設置了多個蒸發舟，所述旋轉式電極桿通過同步帶連接在驅動電機上。

所述多位阻蒸盤包括電極盤，與蒸發舟一一對應設置并與蒸發舟電連接的從電極耳，設置在從電極耳上并與電極盤相連接的彈性組件；所述從電極耳與從電極鎖緊裝置電連接。

所述彈性組件包括與從電極耳相連接的絕緣墊，設置在絕緣墊上的安裝板，以及一端與安裝板相連接、另一端通過加強筋連接在電極盤上的彈性件。

所述旋轉式電極桿通過拉緊連接座連接在安裝臺上，所述旋轉式電極桿上分別設置有支持筒和水冷管以及旋轉裝置，所述旋轉裝置還分別與支持筒和拉緊連接座相連接，所述旋轉式電極桿上還設置有的環形電極盤，所述環形電極盤通過電極抱箍連接在旋轉式電極桿上并與電極鎖緊裝置。

所述旋轉裝置包括一端與支持筒相連接、另一端與拉緊連接座相連接的旋轉真空密封外套，一端通過上軸承安裝在旋轉真空密封外套上、另一端通過下軸承安裝在支持筒上的旋轉內軸，以及通過同步帶固定鍵條連接在旋轉內軸上且位于下軸承下方的同步帶輪：所述旋轉式電極桿貫穿旋轉內軸，且該旋轉式電極桿一端通過靜密封與旋轉內軸相連接、另一端通過內軸固定鍵條與旋轉內軸相連接，所述同步帶輪通過同步帶與驅動電機相連接。

所述電極鎖緊裝置包括與環形電極盤電連接的電極夾緊板，設置在電極夾緊板下方且用于夾緊環形電極盤的壓頭，以及設置在壓頭上的第一氣缸；所述壓頭連接在第一氣缸的第一伸縮桿上；所述電極夾緊板上設有安裝基板，所述第一氣缸安裝在安裝基板上；所述安裝基板上設有保持座，所述電極夾緊板通過絕緣板連接在保持座上并位于保持座的下方，所述第一伸縮桿貫穿安裝基板與保持座；所述旋轉式電極桿貫穿安裝基板并通過支持筒連接在安裝基板上。

所述從電極鎖緊裝置包括與從電極耳電連接的從電極座，設置在從電極座上方且用于夾緊從電極耳的夾頭，以及設置在夾頭上的第二氣缸；所述夾頭連接在第二氣缸的第二伸縮桿上，所述從電極座上設置有導電座，所述導電座通過下絕緣塊連接在安裝臺上并位于安裝臺的下方，所述安裝臺上設置有與下絕緣塊相匹配的上絕緣塊，所述導電座上還設置有安裝筒，所述第二伸縮桿貫穿安裝筒與導電座，所述第二伸縮桿通過伸縮桿固定座連接在導電座上。

所述蒸發舟的一端通過電極壓塊連接在電極盤上、其另一端通過從電極壓塊連接在從電極耳上。

所述驅動電機設置在安裝基板上，所述的驅動電機的轉軸上設置有用于調節驅動電機轉速的變速器，所述變速器的傳動軸上設置有通過同步帶連接在同步帶輪上的傳動同步帶輪，所述傳動同步帶輪的下方設置有編碼器，所述編碼器通過轉軸連接套連接在變速器的傳動軸上。

所述旋轉式電極桿的下端設置有旋轉式水接頭，所述水冷管貫穿旋轉式水接頭的安裝頭后連接在貫穿旋轉式水接頭的進水接頭上。

本發明與現有技術相比具有以下優點及有益效果：

(1)本發明設置的多位阻蒸盤上設有多個蒸發舟能同時放置多個靶材，并且本發明還在多位阻蒸盤上設置了旋轉式電極桿，該旋轉式電極桿在相連接的驅動電機的帶動下能進行360°的旋轉，使多位阻蒸盤也能進行360°的旋轉。同時，本發明設置的從電極鎖緊裝置和電極鎖緊裝置能實現對多位阻蒸盤上的從電極和電極的自動導通與關閉，從而確保了本發明能同時放置多個靶材，并能對靶材進行連續的鍍膜的要求，有效的縮短了基片的鍍膜時間，很更好的提高了阻蒸鍍膜設備的鍍膜效率。

(2)本發明在從電極耳與阻蒸盤之間設置了彈性組件，該彈性組件能使從電極耳快速的復位，防止了蒸發舟在受熱后出現變形或斷裂，從而有效的提高了蒸發舟的使用壽命。

(3)本發明的旋轉式電極桿上設置了水冷管，該水冷管能使旋轉式電極桿實現快速的冷卻，使旋轉式電極桿的溫度能保持在25℃左右，從而確保了本發明的旋轉式電極桿不會變形，同時確保了與旋轉式電極桿相配合的絕緣和密封部件不會被高溫損壞，從而極大的延長了電極裝置的使用壽命。

(4)本發明的拉緊連接座能使旋轉式電極桿牢牢的固定在安裝臺上，本發明設置的旋轉裝置能使旋轉式電極桿在驅動電機的帶動下實現自由的旋轉。

(5)本發明的驅動電機和編碼器相配合，能使電極桿進行定位轉動，很好的解決了現有的電極桿的供電控制裝置不能使電極桿進行定位轉動的問題。

(6)本發明的電極鎖緊裝置的壓頭在第一氣缸的第一伸縮桿的帶動下能實現電極夾緊板與旋轉式電極桿的環形電極盤的自動連接與斷開，并且電極鎖緊裝置能使旋轉式電極桿的環形電極盤與電極夾緊板的接觸更緊密，從而確保了本發明旋轉式電極桿的電極能自動導通或斷開，同時確保了為蒸發舟提供一個穩定的電極，有效的提高了阻蒸鍍膜機對靶材的蒸發速度。

(7)本發明的從電極鎖緊裝置的夾頭在第二氣缸的第二伸縮桿的帶動下能實現從電極座與從電極耳的自動連接與斷開，并且從電極鎖緊裝置能使從電極耳與從電極座的接觸更緊密，從而確保了本發明從電極耳的從電極能自動導通或斷開，同時確保了為蒸發舟提供一個穩定的電極，有效的提高了阻蒸鍍膜機對靶材的蒸發速度。

附圖說明

圖1為本發明的整體示意圖。

圖2為本發明的旋轉式電極桿的剖視圖。

圖3為本發明的多位阻蒸盤的俯視圖。

圖4為本發明的多位阻蒸盤的剖視圖。

圖5為本發明的電極鎖緊裝置的局部剖視圖。

圖6為本發明的電極夾緊板的結構示意圖。

圖7為本發明的從電極鎖緊裝置的剖視圖。

圖8為本發明的從電極座的結構示意圖。

上述附圖中，附圖標記對應的部件名稱如下：

1—安裝臺，2—旋轉式電極桿，3—驅動電機，4—同步帶，5—電極盤，6—蒸發舟，7—從電極耳，8—絕緣墊，9—安裝板，10—加強筋，11—彈性件，12—從電極壓塊，13—電極壓塊，14—拉緊連接座，15—支持筒，16—環形電極盤，17—電極抱箍，18—旋轉真空密封外套，19—上軸承，20—下軸承，21—旋轉內軸，22—同步帶輪，23—同步帶固定鍵條，24—靜密封，25—內軸固定鍵條，26—水冷管，27—電極夾緊板，28—壓頭，29—第一氣缸，30—第一伸縮桿，31—安裝基板，32—保持座，33—絕緣板，34—從電極座，35—夾頭，36—第二氣缸，37—第二伸縮桿，38—導電座，39—下絕緣塊，40—上絕緣塊，41—安裝筒，42—伸縮桿固定座，43—變速器，44—傳動軸，45—傳動同步帶輪，46—編碼器，47—轉軸連接套，48—下絕緣墊，49—上絕緣墊，50—旋轉式水接頭，51—安裝頭，52—進水接頭，53—出水接頭，54—編碼器安裝板，55—張緊輪，101—安裝槽，102—電極壓塊安裝孔，103—安裝凹槽，104—彈性件安裝孔，105—加強筋安裝孔，106—槽孔，201—絲孔，301—旋轉密封圈，302—同步帶墊圈，303—帶輪鎖緊螺母，304—襯套，305—室體密封圈，306—鎖緊螺母，307—墊板，308—拉緊密封圈，309—氣缸軸保持環，501—并緊螺母，502—水密封圈。

具體實施方式

下面結合實施例對本發明作進一步地詳細說明，但本發明的實施方式并不限于此。

實施例

如圖1～8所示，本發明公開了一種旋轉式多位阻蒸設備，主要由安裝臺1，分別設置在安裝臺1上的從電極鎖緊裝置和旋轉式電極桿2，與旋轉式電極桿2電連接的電極鎖緊裝置，與旋轉式電極桿2相連接的驅動電機3，以及設置在旋轉式電極桿2上并與從電極鎖緊裝置電連接的多位阻蒸盤組成。所述多位阻蒸盤上設置了多個蒸發舟6，所述旋轉式電極桿2通過同步帶4連接在驅動電機3上。其中，所述的多位阻蒸盤如圖3、4所示。其包括電極盤5，從電極耳7，以及彈性組件；所述彈性組件包括絕緣墊8，安裝板9，以及彈性件11。所述電極鎖緊裝置如圖5、6所示，其包括電極夾緊板27，壓頭28，以及第一氣缸29。所述從電極鎖緊裝置如圖7、8所示，其包括從電極座34，夾頭35，第二氣缸36。

實施時，所述的安裝臺1上預設置有安裝阻蒸設備的各部件的安裝孔。如圖3、4所示，所述的電極盤5優先采用了耐高溫、導電性能強的鋼盤來實現，本發明將電極盤5設置為圓形，如圖3～4所示，在電極盤5上設置了與蒸發舟6一一配合的安裝槽101，該安裝槽101的數量可根據蒸發舟6的數量進行調整。電極盤5上還設置了多個電極壓塊安裝孔102、彈性件安裝孔104和加強筋安裝孔105。該電極盤5上還設置有用于安裝旋轉式電極桿2的安裝凹槽103，在該安裝凹槽103的底部設有用于安裝固定螺釘的槽孔106，該槽孔106用于安裝對旋轉式電極桿2進行固定的螺釘，旋轉式電極桿2則通過螺釘固定在安裝凹槽103內。所述的蒸發舟6優先采用了耐高溫的鎢舟，該蒸發舟6安裝在電極盤5的安裝槽101內，蒸發舟6的一端通過電極壓塊13連接在電極盤5上，其而另一端則通過從電極壓塊12連接在與電極盤5相配合的從電極耳7上，電極壓塊13通過與電極盤5上的電極壓塊安裝孔102相配合的螺釘固定在電極盤5上，從電極壓塊12同樣通過螺釘固定在從電極耳7上，這樣便于蒸發舟6的安裝或更換。

所述電極盤5長期在高溫下工作其硬度容易降低，為了防止電極盤5的硬度降低后使整個阻蒸臺出現變形的問題，本發明在電極盤5的底部設置了多條加強筋10，該加強筋10通過與電極盤5的加強筋安裝孔105螺紋相連接的螺釘固定在電極盤5上。所述加強筋10本發明優先設置為六條，該六條連接在一起，加強筋10的數量可根據需要進行調整，該加強筋10上設置了與電極盤5的安裝槽103相配合使用的穿心孔，并且該加強筋10上還設有與電極盤5上的彈性件安裝孔104相對應的通孔。外部的電極輸入桿則貫穿加強筋10上的通孔后安裝在電極盤5的安裝槽103上，并通過螺釘貫穿安裝槽103上的槽孔106后將外部的電極輸入桿固定在安裝槽103內。

所述從電極耳7與從電極鎖緊裝置電連接，而從電極鎖緊裝置的在夾緊從電極耳7時會使從電極耳7的位置發生變化，如果從電極鎖緊裝置張開時從電極耳7不能及時復位，與從電極耳7相連接的蒸發舟6便容易出現變形或斷裂。本發明為了防止蒸發舟6變形或斷裂，在從電極耳7與電極盤5之間設置了彈性組件。該彈性組件能在從電極鎖緊裝置張開時，使從電極耳7快速的復位，從而有效的防止了蒸發舟6出現變形或斷裂。

所述彈性組件如圖3、4所示，其包括絕緣墊8，安裝板9，以及彈性件11。其中，所述的絕緣墊8優先采用了陶瓷材料制成的絕緣墊，該絕緣墊8通過螺釘固定設置在從電極耳7的底部，安裝板9則通過螺釘固定設置在絕緣墊8上。安裝板9本發明采用了金屬材料制成的安裝板，該安裝板9則用于安裝彈性件11，彈性件11通過螺釘安裝在安裝板9上，且該彈性件11的一端通過螺釘安裝在安裝板9上，而另一端通過貫穿強筋10上的通孔后與電極盤5上的彈性件安裝孔104螺紋連接的螺釘固定設置在加強筋10上。所述彈性件11本發明優先采用了具有較強的彈性的彈簧鋼片制成。該彈性件11能在從電極鎖緊裝置張開時，通過彈性件11所具有的彈性使與從電極耳7相連接的蒸發舟6快速的復位，從而防止了蒸發舟6在受熱后出現變形，并且有效的提高了蒸發舟6的使用壽命。

如圖2所示，所述的旋轉式電極桿2本發明優先采用了空心旋轉式電極桿2，該旋轉式電極桿2能很好的提高旋轉式電極桿2的散熱效果，旋轉式電極桿2的上端設置有用于安裝與阻蒸盤5連接螺釘的絲孔201，該旋轉式電極桿2安裝在阻蒸盤5的安裝凹槽103內并通過與絲孔201相匹配的螺釘進行固定。為了實現對旋轉式電極桿2自動冷卻，本發明在旋轉式電極桿2的空心體內設置了水冷管26，該水冷管26優先采用了不銹鋼管，該水冷管26的出水接頭與旋轉式電極桿2頂部距離為1㎝，使水冷管26流出的冷卻水能充分的與旋轉式電極桿2的頂部相接觸，從而使旋轉式電極桿2的冷卻效果更好。本發明中所說的水冷管26的出水接頭與旋轉式電極桿2頂部距離可根據需要進行調整。而流入旋轉式電極桿2內的冷卻水在吸收旋轉式電極桿2的熱量后通過連接在旋轉式電極桿2下端旋轉式水接頭50流出，該旋轉式水接頭50的安裝頭51則通過螺紋連接在旋轉式電極桿2下端開口處，并通過設置在旋轉式電極桿2上的并緊螺母501對過渡座16進行固定，該并緊螺母501與旋轉式電極桿2則通過螺紋連接，在旋轉式電極桿2的開口與安裝頭51的接觸面上還設置了用于防止水溢出的水密封圈502。

所述的安裝頭51內設置有通心過孔，水冷管26則貫穿于該通心過孔連接到旋轉式水接頭50上，該旋轉式水接頭50優先采用了雙孔旋轉式水接頭，且該旋轉式水接頭50上設置有進水接頭52和出水接頭53，該旋轉式水接頭50與安裝頭51活動連接后能在安裝頭51上進行360°旋轉。其水冷管26與旋轉式水接頭50的進水接頭52相連接，而安裝頭51的過水孔通過密封圈活動連接在旋轉式水接頭50的出水接頭53上，從而確保了旋轉式電極桿2內的冷卻水能保持循環狀態，使旋轉式電極桿2在工作中的溫度保持穩定在25℃左右。

實施時，本發明還設置了與旋轉式電極桿2相配合的旋轉裝置，該旋轉裝置能使旋轉式電極桿2自由的轉動。該旋轉裝置如圖2所示，其包括旋轉真空密封外套18，旋轉內軸21，以及同步帶輪22。所述的旋轉真空密封外套18的一端與支持筒15相連接、另一端與拉緊連接座14相連接，且該旋轉真空密封外套18上設置有貫穿其上下端的安裝孔，本發明的安裝孔優先設置為4個，該旋轉真空密封外套18與拉緊連接座14和支持筒15連接后形成一個真空體，使旋轉真空密封外套18內的其它部件不會被高溫度損壞，旋轉真空密封外套18內還設置有旋轉內軸21。

該旋轉內軸21的一端通過上軸承19安裝在旋轉真空密封外套18內，另一端則通過下軸承20安裝在支持筒15上，為了確保旋轉真空密封外套18與旋轉內軸21的密封效果，在旋轉內軸21與旋轉真空密封外套18之間本發明設置了旋轉密封圈301，該旋轉密封圈301采用賴高溫的橡膠材料制成。而旋轉內軸21為空心軸，旋轉式電極桿2則貫穿于旋轉內軸21，旋轉式電極桿2位于旋轉真空密封外套18內的一端與旋轉內軸21之間設置了防止空氣進入旋轉真空密封外套18內的靜密封24，另一端則通過內軸固定鍵條25與旋轉內軸21相連接，該內軸固定鍵條25能使旋轉內軸21與旋轉式電極桿2保持同速同相轉動。

同時，在旋轉內軸21位于下軸承20下方的一端上還設置了用于與外部的傳動電機相配合的同步帶輪22，該同步帶輪22則通過同步帶固定鍵條23連接在旋轉內軸21上，該同步帶固定鍵條23能使旋轉內軸21與同步帶輪22保持同速同相轉動。為對同步帶輪22在旋轉內軸21上的安裝位置相限定，在同步帶輪22與下軸承20之間設置了同步帶墊圈302，并通過與旋轉式電極桿2螺紋連接的帶輪鎖緊螺母303對同步帶輪22進行固定。而在下軸承20與上軸承19之間也設置了用于限位的襯套304，該襯套304位于支持筒15與旋轉內軸21之間。本發明的同步帶輪22在使用時通過同部帶4與驅動電機3的轉軸相連接，通過驅動電機3的轉動則可帶動旋轉式電極桿2進行轉動。

本發明的電極桿2通過拉緊連接座14連接在安裝臺1上，所述的拉緊連接座14優先采用了不銹鋼制成的圓形空心體，所述旋轉式電極桿2貫穿于拉緊連接座14，該拉緊連接座14上設置了與旋轉真空密封外套18上的安裝孔相對應的4個通孔，安裝時通過螺釘從上至下貫穿拉緊連接座14的通孔和旋轉真空密封外套18的安裝孔后將拉緊連接座14固定在支持筒15上。本發明在拉緊連接座14上設置了室體密封圈305，該室體密封圈305可使拉緊連接座14與安裝臺1上安裝孔接觸更緊密，以防止空氣進入阻蒸設備的阻蒸室內。所述的下絕緣墊48安裝在室體密封圈305上，該下絕緣墊48與設置在拉緊連接座14上的上絕緣墊49相配合后能有效的防止安裝臺1帶電，很好的確保了操作者的安全，本發明的下絕緣墊48和上絕緣墊49均優先采用了絕緣效果良好的陶瓷制成的絕緣墊。

所述的拉緊連接座14則優先通過鎖緊螺母306固定在安裝臺1上，為了確保鎖緊螺母306在鎖緊時不會損壞上絕緣墊49，本發明在鎖緊螺母306與上絕緣墊49之間設置了墊板307，為了確保拉緊連接座14與旋轉真空密封外套18連接處的密封效果，在拉緊連接座14與旋轉真空密封外套18的連接處之間還設置了拉緊密封圈308。

為了防止旋轉式電極桿2的接電裝置在加電時被高電流損壞，本發明如圖2所示，在旋轉式電極桿2上設置了環形電極盤16，該環形電極盤16通過電極抱箍17連接在旋轉式電極桿2上，該電極抱箍17能將環形電極盤16牢牢的固定在旋轉式電極桿2上。環形電極盤16則通過焊接或螺釘固定在電極抱箍17上，該環形電極盤16無接口，在旋轉式電極桿2轉動時環形電極盤16能很好的與電極鎖緊裝置相連接，有效的降低了電流損耗，從而很好的節約了電力資源。

同時，所述的電極鎖緊裝置如圖5、6所示，主要由電極夾緊板27，壓頭28，以及第一氣缸29組成，并且還設置了與上述背景相配合使用的安裝基板31，保持座32，絕緣板33。所述的安裝基板31優先采用了不銹鋼板來實現，本發明在該安裝基板31上設置了用于安裝旋轉電極桿2的安裝通孔，旋轉電極桿2貫穿安裝基板31后通過螺釘固定在安裝基板31上。所述的第一氣缸29通過螺釘固定安裝在安裝基板31上，本發明所述的第一氣缸29優先采用了dnc系列的直線往復運動的氣缸，該第一氣缸29與外部的壓縮機通過氣管相連接。所述的保持座32本發明則通過螺釘固定設置在安裝基板31上，且該保持座32位于第一氣缸29的下方。所述的第一氣缸29的第一伸縮桿30貫穿保持座32后連接在第一氣缸29上，該第一氣缸29的第一伸縮桿30通過氣缸軸保持環309連接在保持座32上，在外部的壓縮機的作用下第一氣缸29的第一伸縮桿30進行直線往復運動。所述的壓頭28設置第一氣缸29的第一伸縮桿30位于保持座32外的一端上，該壓頭28通過鎖緊螺母固定在第一氣缸29的第一伸縮桿30上，壓頭28能與第一伸縮桿30保持同向同速運動。

其中，在所述的保持座32上設置有與電極桿2上的環形電極盤16電連接的電極夾緊板27，該電極夾緊板27通過螺釘固定在保持座32上，電極夾緊板27上設置了用于連接外部電極的連接孔，外部電極通過螺釘固定在電極夾緊板27的連接孔上。電極夾緊板27與壓頭28相配合后形成一個夾具，壓頭28在第一氣缸29的第一伸縮桿30的帶動下將環形電極盤16牢牢的壓在電極夾緊板27上，有效的確保了電極夾緊板27與環形電極盤16的電極傳輸的穩定性。為了防止電極夾緊板27與外部電極連接時保持座32帶電，本發明在電極夾緊板27與保持座32之間還設置了絕緣板33。該絕緣板33優先采用了陶瓷絕緣板來實現。

本發明的驅動電機3如圖5、6所示安裝時采用螺釘固定在安裝基板31上，且該驅動電機3通過同步帶4與旋轉式電極桿2相連接。使用時驅動電機3的電極輸入端與外部控制系統相連接。為了能對驅動電機3的轉速進行調節，在驅動電機3的轉軸上設置了變速器43，該變速器43通過螺釘固定安裝在安裝基板31上。該變速器43的傳動軸44上設置有編碼器46，該編碼器46則通過測角軸通過轉軸連接器47連接在變速器43的傳動軸44上，編碼器6的測角軸便能與變速器43的傳動軸44保持同向同速轉動。所述的安裝基板31上還設置有編碼器安裝板54，所述編碼器46通過螺釘安裝在編碼器安裝板54上，其編碼器46的信號輸出端與外部控制系統相連接。編碼器46通過測角軸對驅動電機3的轉動角度進行采集，編碼器46并將采集的驅動電機3的轉動信息轉換為電信號傳輸給外部連接的控制系統，外部控制系統則根據接收的信息來控制電機的轉動與停止。本發明的外部控制系統分別對驅動電機3和第一氣缸29相連接的外部壓縮機的工作狀態進行控制。

進一步地，所述的變速器43的傳動軸44上還設置有傳動傳動帶輪45，該傳動帶輪45位于轉軸連接器47與安裝基板31之間，且該同步帶輪45與變速器43的傳動軸44保持同相同速轉動。傳動帶輪45在使用時通過同步帶4與旋轉式電極桿2上的同步帶輪22相連接，以實現驅動電機3帶動旋轉式電極桿2進行轉動的目的。為了使連接傳動帶輪45和旋轉式電極桿2的同步帶4與傳動帶輪45和同步帶輪22接觸更緊密，本發明在位于傳動帶輪45與旋轉式電極桿2之間的安裝基板31上設置了張緊輪55，該張緊輪55與同步帶4相配合后使同步帶4與同步帶輪8和同步帶輪22接觸更緊密，從而使旋轉式電極桿2的轉速與傳動帶輪45的轉速保持一致，有效的提高了本發明工作的準確性。

如圖7、8所示，所述從電極鎖緊裝置包括從電極座34，夾頭35，第二氣缸36；并且從電極鎖緊裝置還設置了與上述部件相配合的導電座38，下絕緣塊39，上絕緣塊40，安裝筒41，伸縮桿固定座42。

進一步地，所述的導電座38通過下絕緣塊39連接在安裝臺1上，而在安裝臺1上也設置有與下絕緣塊39相匹配的上絕緣塊40，上絕緣塊40還與導電座38相連接，導電座38上設置有用于將導電座38固定在安裝臺1上螺母，擰緊螺母便能將導電座38固定在安裝臺1上。同時，導電座38通過螺釘與外部的從電極電連接。所述的導電座38上設置有安裝筒41，該安裝筒41的一端通過螺釘的在導電座38的下方，而另一端上則設置有第二氣缸36。所述的第二氣缸36的第二伸縮桿37依次貫穿安裝筒41和導電座38，且該第二伸縮桿37通過伸縮桿固定座42連接在導電座38上。所述的從電極座34則設置在導電座38上，本發明優先采用螺釘固定的方式將從電極座34固定在導電座38上，該從電極座34與從電極耳7電連接。

為了能確保從電極座34與從電極耳7的接觸更緊密，本發明在第二氣缸36的第二伸縮桿37上設置了夾頭35，該夾頭35通過螺釘固定在第二氣缸36的第二伸縮桿37上，夾頭35能與第二氣缸36的第二伸縮桿37保持同步同向運動，所述的夾頭35與從電極座34相配合后形成一個夾具，從電極座34與從電極耳7電連接后夾頭35在第二氣缸36的作用下能將從電極耳7牢牢的固定壓在從電極座34上，有效的確保了從電極耳7能為蒸發舟6提供一個穩定的從電極，是使蒸發舟6的發熱更穩定。

本發明的多位阻蒸盤上對蒸發舟6都進行了編號，每一個蒸發舟6多有相對應的編號，外部控制系統并對相應編號的蒸發舟6在多位阻蒸盤上的位置進行了鎖定，外部控制系統內存儲了每個編號的蒸發舟6都有固定的轉動角度值，以便于我們通過與本發明相連接的外部控制系統準確選擇所需加熱的蒸發舟6。本發明所采用的外部控制系統為現有的控制系統，本發明因此并未對其進行詳細的說明。

本發明的第一氣缸29和第二氣缸36連接在同一個外部壓縮機上。運行時，外部壓縮機同時對第一氣缸29和第二氣缸36進行吸氣做工，使第一伸縮桿30和第二伸縮桿37收縮。此時，第一伸縮桿30上的壓頭28將電極桿2上的環形電極盤16牢牢的壓在電極夾緊板27上，旋轉式電極桿2得電后將電極傳輸給電極盤5；同時，第二伸縮桿37上的夾頭35將從電極耳7牢牢的壓在從電極座34上，從電極耳7得電，蒸發舟6開始對靶材進行加熱。同時，旋轉式電極桿2內的水冷管26開始對旋轉式電極桿2進行冷卻。

當我們需要對多位阻蒸盤上別的蒸發舟6內的靶材進行加熱時，我們只需在本發明所連接的外部控制系統上輸入相應的蒸發舟6的位數，外部控制系統便會控制外部壓縮機對第一氣缸29和第二氣缸36進行放氣做工，壓頭28將環形電極盤16松開，旋轉式電極桿2能自由自動；夾頭35將從電極耳7松開，從電極耳7能跟隨旋轉式電極桿2進行同向同速的轉動。同時，外部控制系統控制驅動電機3進行轉動，驅動電機3帶動旋轉式電極桿2轉動，編碼器46則對驅動電機3轉軸的轉動角度進行檢測，編碼器46并將檢測到的信息轉換為電信號后傳輸給外部控制系統，外部控制系統對接收的電信號進行分析處理后得到驅動電機3的轉動角度，外部控制系統將得到的驅動電機3的轉動角度與設定的蒸發舟6的位數所對應的驅動電機3轉軸的轉動角度進行比對，外部控制系統將得到的驅動電機3的轉動角度與設定的蒸發舟6的位數所對應的驅動電機3轉軸的轉動角度一致時，外部控制系統控制驅動電機3停止轉動3，旋轉式電極桿2也停止轉動；外部控制系統控制外部壓縮機對第一氣缸29和第二氣缸36進行吸氣做工，壓頭28將環形電極盤16牢牢的壓在電極夾緊板27上，旋轉式電極桿2得到電極；夾頭35將從電極耳7牢牢的壓在從電極座34上，從電極耳7得到從電極，此時蒸發舟6開始對靶材進行加熱。

當我們需要再次更需加熱的換蒸發舟6時，只需重復上面所述的工作程序，便能實現對所需位數的蒸發舟6進行加熱。因此，本發明所設置的多位阻蒸盤能同時放置多個靶材，并且本發明設置在多位阻蒸盤上的旋轉式電極桿2在驅動電機3的帶動下能進行360°的旋轉，使多位阻蒸盤也能進行360°的旋轉，很好的實現了對加熱的蒸發舟6的轉換。同時，本發明還通過從電極鎖緊裝置和電極鎖緊裝置實現了對多位阻蒸盤上的從電極和電極的自動導通與關閉，從而確保了本發明能同時放置多個靶材，并能對靶材進行連續的鍍膜的要求，有效的縮短了基片的鍍膜時間，很更好的提高了阻蒸鍍膜設備的鍍膜效率。

如上所述，便可很好的實現本發明。