本發(fā)明涉及微納加工領(lǐng)域，具體涉及一種用于壓印模板的真空沉積裝置。

背景技術(shù)：

納米壓印技術(shù)，是微納米器件制作工藝中的一個重要技術(shù)，納米壓印技術(shù)最早由stephenychou教授在1995年率先提出，這是一種不同與傳統(tǒng)光刻技術(shù)的全新圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)。納米壓印技術(shù)的定義為：不使用光線或者輻照使光刻膠感光成形，而是直接在硅襯底或者其它襯底上利用物理學(xué)的機(jī)理構(gòu)造納米尺寸圖形。

軟模板是一種簡單方便的納米壓印模板復(fù)制材料，通常由本體材料和固化劑按一定比例混合而成，去除氣泡后澆注在壓印模板(母模板)表面，通過加熱固化成彈性硅橡膠材料的工作模板。壓印模板常采用硅片，在澆注前需要在壓印模板的表面進(jìn)行涂一層單分子fdts層，以降低壓印模板表面的表面能。傳統(tǒng)的涂膜方法為直接在壓印模板上進(jìn)行涂抹，均勻度差，效率低下。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提出了一種用于壓印模板的真空沉積裝置，其結(jié)構(gòu)簡單，操作便捷，可以有效在壓印模板表面均勻附著一層fdts膜，降低壓印模板表面能，提高其疏水性。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種用于壓印模板的真空沉積裝置，包括：殼體，在殼體上設(shè)有一密封空腔，壓印模板放置于該密封空腔內(nèi)，在殼體上設(shè)有與密封空腔連通的藥品接口，氣態(tài)的fdts從該藥品接口進(jìn)入密封空腔內(nèi)；抽真空組件，包括：與密封空腔連通的真空接口以及與真空接口連接的抽真空裝置。

本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，采用氣態(tài)的fdts在壓印模板表面沉積來實(shí)現(xiàn)在壓印模板上附膜的效果，其工作效率高，可以同時對多個壓印模板進(jìn)行附膜，且材料fdts在壓印模板上沉積均勻，壓印模板表面的fdts膜厚度均勻，質(zhì)量好，有效降低壓印模板的表面能，提高其疏水性。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，還可做如下改進(jìn)：

作為優(yōu)選的方案，還包括：藥品儲存罐以及用于給藥品儲存罐加熱的加熱組件，藥品儲存罐通過連接管與藥品接口連通，藥品儲存罐內(nèi)盛放液態(tài)的fdts。

采用上述優(yōu)選的方案，結(jié)構(gòu)簡單，藥品儲存罐采用連接管與藥品接口連通，不會對外界環(huán)境造成污染，有效提高工作人員的安全系數(shù)。

作為優(yōu)選的方案，在連接管上設(shè)有單向閥。

采用上述優(yōu)選的方案，防止密封空腔內(nèi)的fdts倒流回藥品儲存罐內(nèi)部，造成污染。

作為優(yōu)選的方案，加熱組件為加熱管，藥品儲存罐與連接管通過加熱管連接。

采用上述優(yōu)選的方案，采用加熱管的加熱方法使得藥品儲存罐內(nèi)的藥品汽化，不易對藥品儲存罐內(nèi)的藥品造成污染，且加熱管上方汽化的藥品可以加速進(jìn)入密封空腔，縮短汽化后的fdts進(jìn)入密封空腔的行徑時間，保證fdts可以有效在壓印模板表面進(jìn)行沉積。

作為優(yōu)選的方案，加熱組件為包覆于藥品儲存罐外壁的加熱層，在加熱層的外壁還附有保溫層。

采用上述優(yōu)選的方案，采用加熱層的加熱方法，結(jié)構(gòu)簡單，便于安裝、更換和維修，可以快速對藥品儲存罐內(nèi)的藥品進(jìn)行汽化。

作為優(yōu)選的方案，在殼體上還設(shè)有與密封空腔連通的氮?dú)饨涌冢以诘獨(dú)饨涌谔幵O(shè)有氣閥開關(guān)。

采用上述優(yōu)選的方案，往密封空腔內(nèi)沖入氮?dú)猓沟妹芊饪涨粌?nèi)的壓力值適中，促使fdts和壓印模板表面反應(yīng)效果好。

作為優(yōu)選的方案，在密封空腔內(nèi)設(shè)有壓力傳感器和/或溫度傳感器。

采用上述優(yōu)選的方案，實(shí)時檢測密封空腔內(nèi)的壓力值和溫度值，便于實(shí)時的調(diào)節(jié)。

作為優(yōu)選的方案，在密封空腔內(nèi)設(shè)有一個或多個均勻分布的濃度傳感器，濃度傳感器用于檢測密封空腔內(nèi)藥品的濃度值。

采用上述優(yōu)選的方案，實(shí)時檢測密封空腔內(nèi)的fdts濃度，判斷其是否在合適的范圍內(nèi)，若不在，則通過調(diào)節(jié)加熱組件的加熱溫度，從而調(diào)節(jié)密封空腔內(nèi)的fdts濃度，使其達(dá)到合適值。

作為優(yōu)選的方案，在密封空腔內(nèi)設(shè)有夾持機(jī)構(gòu)，夾持機(jī)構(gòu)用于夾持壓印模板。

采用上述優(yōu)選的方案，對壓印模板進(jìn)行夾持，保證fdts可以均勻的沉積于壓印模板表面。

作為優(yōu)選的方案，在密封空腔內(nèi)還設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動壓印模板旋轉(zhuǎn)。

采用上述優(yōu)選的方案，fdts可以更均勻的沉積于壓印模板表面。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于壓印模板的真空沉積裝置的結(jié)構(gòu)示意圖之一。

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于壓印模板的真空沉積裝置的結(jié)構(gòu)示意圖之二。

圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的藥品儲存罐的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1殼體、11密封空腔、12藥品接口、13真空接口、14氮?dú)饨涌凇?5氣閥開關(guān)、2真空閥、3透視窗、4藥品儲存罐、5連接管、6單向閥、7加熱管、81加熱層、82保溫層。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。

為了達(dá)到本發(fā)明的目的，一種用于壓印模板的真空沉積裝置的其中一些實(shí)施例中，

如圖1和2所示，一種用于壓印模板的真空沉積裝置包括：殼體1和抽真空組件。

在殼體1上設(shè)有一密封空腔11，壓印模板(圖中未示出)放置于該密封空腔11內(nèi)，在殼體1上設(shè)有與密封空腔連通的藥品接口12，氣態(tài)的fdts從該藥品接口12進(jìn)入密封空腔11內(nèi)。

抽真空組件包括：與密封空腔11連通的真空接口13以及與真空接口13連接的抽真空裝置(圖中未示出)。在具體操作時，會在真空接口13處安裝真空閥2。

為了便于對密封空腔11內(nèi)冷卻后的fdts進(jìn)行后期的清潔處理，密封空腔11為無縫空腔，且其空腔內(nèi)壁為光滑的圓弧曲面。在具體的實(shí)施過程中，可以在殼體1上設(shè)置密封門，在殼體1上設(shè)置透視窗3，便于工作人員進(jìn)行查看密封空腔內(nèi)部的情況。

本發(fā)明一種用于壓印模板的真空沉積裝置結(jié)構(gòu)簡單，采用氣態(tài)的fdts在壓印模板表面沉積來實(shí)現(xiàn)在壓印模板上附膜的效果，其工作效率高，可以同時對多個壓印模板進(jìn)行附膜，且材料fdts在壓印模板上沉積均勻，壓印模板表面的fdts膜厚度均勻，質(zhì)量好，有效降低壓印模板的表面能，提高其疏水性。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實(shí)施效果，在另外一些實(shí)施方式中，其余特征技術(shù)相同，不同之處在于，還包括：藥品儲存罐4以及用于給藥品儲存罐4加熱的加熱組件，藥品儲存罐4通過連接管5與藥品接口12連通，藥品儲存罐4內(nèi)盛放液態(tài)的fdts。

采用上述優(yōu)選的方案，結(jié)構(gòu)簡單，藥品儲存罐4采用連接管5與藥品接口12連通，不會對外界環(huán)境造成污染，有效提高工作人員的安全系數(shù)。

為了防止密封空腔內(nèi)的fdts倒流回藥品儲存罐4內(nèi)部，造成污染，在連接管5上設(shè)有單向閥6。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實(shí)施效果，在另外一些實(shí)施方式中，加熱組件為加熱管7，藥品儲存罐4與連接管5通過加熱管7連接。采用加熱管7的加熱方法使得藥品儲存罐4內(nèi)的藥品汽化，不易對藥品儲存罐4內(nèi)的藥品造成污染，且加熱管7上方汽化的藥品可以加速進(jìn)入密封空腔，縮短汽化后的fdts進(jìn)入密封空腔11的行徑時間，保證fdts可以有效在壓印模板表面進(jìn)行沉積。

如圖3所示，為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實(shí)施效果，在另外一些實(shí)施方式中，其余特征技術(shù)相同，不同之處在于，加熱組件為包覆于藥品儲存罐4外壁的加熱層81，在加熱層81的外壁還附有保溫層82。采用加熱層81的加熱方法，結(jié)構(gòu)簡單，便于安裝、更換和維修，可以快速對藥品儲存罐4內(nèi)的藥品進(jìn)行汽化。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實(shí)施效果，在另外一些實(shí)施方式中，在殼體1上還設(shè)有與密封空腔11連通的氮?dú)饨涌?4，且在氮?dú)饨涌?4處設(shè)有氣閥開關(guān)15。往密封空腔11內(nèi)沖入氮?dú)猓沟妹芊饪涨?1內(nèi)的壓力值適中，促使fdts和壓印模板表面反應(yīng)效果好。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實(shí)施效果，在另外一些實(shí)施方式中，在密封空腔11內(nèi)設(shè)有壓力傳感器(圖中未示出)和溫度傳感器(圖中未示出)。壓力傳感器和溫度傳感器可以實(shí)時檢測密封空腔11內(nèi)的壓力值和溫度值，便于實(shí)時的調(diào)節(jié)。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實(shí)施效果，在另外一些實(shí)施方式中，在密封空腔11內(nèi)設(shè)有一個或多個均勻分布的濃度傳感器(圖中未示出)，濃度傳感器用于檢測密封空腔內(nèi)藥品的濃度值。濃度傳感器可以實(shí)時檢測密封空腔內(nèi)的fdts濃度，判斷其是否在合適的范圍內(nèi)，若不在，則通過調(diào)節(jié)加熱組件的加熱溫度，從而調(diào)節(jié)密封空腔內(nèi)的fdts濃度，使其達(dá)到合適值。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實(shí)施效果，在另外一些實(shí)施方式中，在密封空腔11內(nèi)設(shè)有夾持機(jī)構(gòu)(圖中未示出)，夾持機(jī)構(gòu)用于夾持壓印模板。夾持機(jī)構(gòu)對壓印模板進(jìn)行夾持，保證fdts可以均勻的沉積于壓印模板表面。

為了fdts可以更均勻的沉積于壓印模板表面，在密封空腔11內(nèi)還設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(圖中未示出)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動壓印模板旋轉(zhuǎn)。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實(shí)施效果，在另外一些實(shí)施方式中，密封空腔11內(nèi)壁具有一定的傾斜角度，在所述密封空腔11的一端設(shè)有與回收器皿連通的回收孔，用于將密封空腔11內(nèi)殘留的多余藥品進(jìn)行回收，防止污染。

以上的僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。