本實用新型涉及顯示裝置的生產領域，具體涉及一種坩堝、蒸鍍準備裝置及蒸鍍設備。

背景技術：

蒸鍍法是有機電致發光顯示基板的制作中常用的方法，具體過程是在真空腔室中，對坩堝內的蒸鍍材料進行加熱，以使材料從固態轉換為氣態的原子、原子團或分子，然后凝聚到待鍍膜的基板表面形成膜層。傳統的坩堝為開放式(即，頂端形成開口)坩堝，在蒸鍍之前，先將蒸鍍材料放置于坩堝中，然后再將坩堝放入蒸鍍腔室中進行加熱蒸鍍。由于坩堝為開放式坩堝，因此從蒸鍍材料放入坩堝到進入腔室之前，蒸鍍材料會一直暴露在外界大氣中，對于吸水性材料和活潑金屬類材料來說，空氣中的水、氧氣成分容易引起材料的變質進而影響最終的蒸鍍效果，且有毒的材料會損害操作人員的健康。

技術實現要素：

本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種坩堝、蒸鍍準備裝置和蒸鍍設備，以減少待蒸鍍材料的變質和減少人體與待蒸鍍材料的直接接觸。

為了解決上述技術問題之一，本實用新型提供一種坩堝，包括坩堝本體，所述坩堝本體的頂部形成有開口，所述坩堝還包括密封蓋和彈性件，所述密封蓋與所述坩堝本體形成可拆卸的密封連接，以使所述密封蓋能夠打開或密封所述開口，所述彈性件設置在所述密封蓋和所述坩堝本體之間，且所述彈性件在所述密封蓋密封所述開口時處于壓縮狀態。

優選地，所述彈性件包括扭力彈簧，所述扭力彈簧的一端設置在所述坩堝本體上，所述扭力彈簧的另一端設置在所述密封蓋邊緣，所述密封蓋邊緣的未設置所述扭力彈簧的部分通過連接件與所述坩堝本體可拆卸地連接。

優選地，所述坩堝本體包括底壁和側壁，所述坩堝本體的側壁包括直立部和水平延伸部，所述水平延伸部的一端與所述直立部的頂端相連，所述水平延伸部的另一端朝向所述坩堝本體外部延伸，

所述扭力彈簧的一端設置在所述水平延伸部上，所述密封蓋邊緣的未設置扭力彈簧的部分通過所述連接件與所述水平延伸部可拆卸地連接。

優選地，所述連接件包括卡扣，所述卡扣的一端與所述密封蓋鉸接，所述卡扣的另一端設置有用于與所述水平延伸部卡接的卡勾。

優選地，所述水平延伸部上設置有第一密封墊，該第一密封墊為環繞所述坩堝本體的軸線的閉合環形結構；和/或，

所述密封蓋包括蓋體和設置在蓋體底面上的第二密封墊，該第二密封墊為環繞所述密封蓋的軸線的閉合環形結構。

相應地，本實用新型還提供一種蒸鍍準備裝置，包括手套箱和本實用新型提供的上述坩堝，所述手套箱包括箱體和手套，所述箱體上設置有入口、用于打開和關閉該入口的箱門、手套接口，所述手套與所述手套接口密封連接，所述坩堝能夠通過所述入口進入所述箱體內；所述箱體上設置有氣壓調節結構，所述氣壓調節結構用于調節所述箱體內的氣壓。

優選地，所述箱體上還設置有進氣口，該進氣口與惰性氣體源相連通。

相應地，本實用新型還提供一種蒸鍍設備，包括蒸鍍腔室，所述蒸鍍腔室與抽真空裝置連通，所述蒸鍍裝置還包括本實用新型提供的上述蒸鍍準備裝置。

可以看出，在進行蒸鍍之前向坩堝本體內填入待蒸鍍材料時，可以將坩堝和未拆包裝的待蒸鍍材料放入手套箱的箱體，操作人員通過手套伸入箱體中，將待蒸鍍材料放入坩堝本體內，從而防止與對身體有害的材料直接接觸；之后，利用箱體上的氣壓調節結構調節箱體內的氣壓，使其小于外界大氣壓；之后，將密封蓋與坩堝本體密封連接，以保證坩堝本體內的氣壓小于外界大氣壓，因此，將坩堝從手套箱取出而置于外界大氣環境中時，即使解除密封蓋與坩堝本體之間的密封連接，密封蓋依然也可以在外界大氣環境下保持對開口的密封，直至坩堝本體放入蒸鍍腔室后，蒸鍍腔室被抽真空至氣壓與坩堝本體內氣壓一致時，彈性件的彈力打開密封蓋；且手套箱內可以提前充入惰性氣體，從而使得從材料進入坩堝并將密封蓋密封所述開口到密封蓋打開的過程中，坩堝本體內的材料始終沒有與水汽、氧氣等接觸，進而防止材料變質，從而提高蒸鍍效果。

附圖說明

附圖是用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本實用新型，但并不構成對本實用新型的限制。在附圖中：

圖1是本實用新型實施例中提供的坩堝的結構示意圖；

圖2a是彈性件處于初始狀態時密封蓋的狀態示意圖；

圖2b是彈性件處于壓縮狀態時密封蓋的狀態示意圖；

圖3是密封蓋的仰視圖；

圖4是本實用新型實施例中手套箱的結構示意圖。

其中，附圖標記為：

10、坩堝；11、坩堝本體；111、底壁；112、側壁；112a、直立部；112b、水平延伸部；12、密封蓋；12a、蓋體；12b、第二密封墊；13、彈性件；13a、彈性件的一端；13b、彈性件的另一端；14、連接件；14a、卡勾；15、合頁；21、箱體；22、手套；211、箱門；212、手套接口；23、氣壓調節結構。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的具體實施方式僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。

作為本實用新型的第一個方面，提供一種坩堝10，如圖1所示，所述坩堝10包括坩堝本體11、密封蓋12和彈性件13。坩堝本體11的頂部形成有開口，坩堝本體11用于盛放待蒸鍍材料，蒸鍍時，坩堝本體11的材料受熱氣化而從開口向上進行蒸鍍；密封蓋12與坩堝本體11形成可拆卸的密封連接，以使密封蓋12能夠密封或打開所述開口，彈性件13設置在密封蓋12和坩堝本體11之間，且彈性件13在密封蓋12密封所述開口時處于壓縮狀態。

需要說明的是，所述“密封蓋12與坩堝本體11形成可拆卸的密封連接”是指，密封蓋12可以對開口進行密封，也可以打開；其中，密封蓋12可以設置為：一部分與坩堝本體11連接在一起、另一部分與坩堝本體11可拆卸地連接(即，能夠連接或分離)；密封蓋12也可以設置為與坩堝本體11相互獨立、并可以與所述坩堝可拆卸地連接，且在連接時，密封蓋12能夠密封所述開口。密封蓋12可以通過螺釘、卡扣等連接件與坩堝本體11可拆卸地連接，或者，密封蓋12與坩堝本體11之間通過卡合作用形成可拆卸的連接。

還需要說明的是，彈性件13應當滿足：當密封蓋12與坩堝本體11之間的密封連接解除(即，密封蓋12只是放置在坩堝本體11上，密封蓋12上最多一個位置與坩堝本體11相連)時，且無外力施加在所述密封蓋上時，彈性件的彈性回復力能夠將密封蓋彈開。

在向坩堝本體11填入待蒸鍍材料時，可以在氣壓小于外界大氣壓的環境中進行，以使得坩堝本體11內填入待蒸鍍材料后，并利用密封蓋12將所述開口密封，以使坩堝本體11內的氣壓保持小于外界大氣壓；之后，將坩堝10放入蒸鍍腔室中，并在放入蒸鍍腔室之前或對蒸鍍腔室抽真空(蒸鍍過程是在真空狀態下進行的)之前解除密封蓋12與坩堝本體11之間的密封連接，由于外界大氣壓大于坩堝本體11內的氣壓，因此，即使解除密封蓋12與坩堝本體11之間的密封連接，開口也是被密封蓋12所密封的，從而可以減少蒸鍍材料與外界空氣中水汽、氧氣等的接觸和減少對人體的損害。而當蒸鍍腔室內的氣壓減小至與坩堝本體11內氣壓一致時，彈性件13的彈性回復力將密封蓋12彈開，以保證后續蒸鍍的正常進行。

并且，為了進一步減少蒸鍍材料與外界空氣的接觸，上述氣壓小于外界大氣壓的環境可以為氣壓小于外界大氣壓的惰性氣體環境。具體地，可以為填充有惰性氣體的手套箱，且手套箱上設置有氣壓調節結構。利用手套箱向坩堝本體進行填料的過程將在下文進行描述，這里先不贅述。

本實用新型對彈性件13的結構以及密封蓋12與坩堝本體11之間連接形式不作具體限定。例如，彈性件13可以為直立的螺旋彈簧，坩堝本體11的側壁上設置安裝槽，螺旋彈簧設置在安裝槽中，且頂端露出，從而使得密封蓋12與坩堝本體11密封連接以密封所述開口時，螺旋彈簧處于壓縮狀態，密封蓋12與坩堝本體11之間的連接解除且密封蓋12上無其他外力施加時，螺旋彈簧產生向上的回復力，從而將密封蓋12頂起。

為了使密封蓋12對所述開口的密封效果更好，且便于密封蓋12在彈性件13的彈力作用下將所述開口打開，彈性件13包括扭力彈簧，結合圖1至圖2b所示，所述扭力彈簧的一端13a設置在坩堝本體11上，扭力彈簧的另一端13b設置在密封蓋12邊緣，密封蓋12邊緣的未設置扭力彈簧的部分通過連接件14與坩堝本體11可拆卸地連接，從而使得密封蓋12在連接件14和彈性件13的共同連接作用下，能夠與坩堝本體11密封連接，進而對所述開口進行密封。需要說明的是，所述扭力彈簧的初始狀態如圖2a所示，其兩端(13a和13b)之間呈一定角度，優選地，該角度在160°～180°之間，以使得扭力彈簧處于初始狀態時，密封蓋12與開口所在平面之間的夾角在160°～180°之間，優選為180°。因此，當密封蓋12與坩堝本體11密封連接時，扭力彈簧處于壓縮狀態，即，兩端(13a和13b)之間的夾角在0°左右；當密封蓋12與坩堝本體11之間的連接解除且密封蓋12不受其他外力時，扭力彈簧回復到初始狀態，以使得密封蓋12能夠充分打開，而不影響蒸鍍范圍。

具體地，如圖1所示，坩堝本體11包括底壁111和側壁112，坩堝本體11的側壁112包括直立部112a和水平延伸部112b，水平延伸部112b的一端與直立部112a的頂端相連，水平延伸部112b的另一端朝向坩堝本體11外部延伸。密封蓋12邊緣的未設置扭力彈簧的部分通過連接件14與坩堝本體11的水平延伸部112b可拆卸地連接。上述扭力彈簧的一端13a設置在坩堝本體11上具體為：扭力彈簧的一端13a設置水平延伸部112b上(如圖2a和圖2b所示)。進一步具體地，連接件14包括卡扣，卡扣的一端通過合頁15等鉸接件與密封蓋12鉸接，所述卡扣的另一端設置有用于與水平延伸部112b卡接的卡勾14a。其中，卡扣的數量可以為一個，也可以為多個。在本實用新型中，可以只設置一個卡扣，且卡扣與彈性件13的位置相對，從而簡化結構，同時保證當利用卡扣將密封蓋12與坩堝本體11連接時，能夠達到較好的密封效果。

當然，連接件14也可以為諸如螺釘等其他等連接件，其可以設置在密封蓋12上；也可以設置在水平延伸部112b上；或者，連接件13也可以為獨立的“U”型夾具，以將坩堝本體11的水平延伸部112b與密封蓋12夾持在一起。

為了在密封蓋12與坩堝本體11連接時，對開口的密封效果能夠進一步提高，水平延伸部112b上可以設置有第一密封墊，該第一密封墊為環繞坩堝本體11的軸線的閉合環形結構；和/或，如圖3所示，密封蓋12可以包括蓋體12a和設置在蓋體12a底面上的第二密封墊12b，該第二密封墊12b為環繞密封蓋12的軸線的閉合環形結構。應當理解的是，密封蓋12的軸線為沿其厚度方向的軸線。

作為本實用新型的第二個方面，提供一種蒸鍍準備裝置，以進行蒸鍍前的蒸鍍準備工作，所述蒸鍍準備裝置包括手套箱和上述坩堝10，如圖4所示，所述手套箱包括箱體21和手套22，箱體21上設置有入口、用于打開和關閉該入口的箱門211、手套接口212，手套22與手套接口212密封連接，坩堝10能夠通過所述入口進入箱體21內；箱體21上還設置有氣壓調節結構23，氣壓調節結構23用于調節箱體21內的氣壓。

在向上述坩堝10內填入待蒸鍍材料時，可以將上述坩堝10和未拆包裝的待蒸鍍材料放入手套箱的箱體21，操作人員通過手套22伸入箱體21中，將待蒸鍍材料放入坩堝本體11內，從而防止與對身體有害的材料直接接觸。之后，利用箱體21上的氣壓調節結構23調節箱體21內的氣壓，使其小于外界大氣壓，從而為坩堝本體11提供上文所述的“氣壓小于外界大氣壓的環境”。之后，將密封蓋12與坩堝本體11密封連接，以保證坩堝本體11內的氣壓小于外界大氣壓，因此，將坩堝10從手套箱取出而置于外界大氣環境中時，即使解除密封蓋12與坩堝本體11之間的密封連接，密封蓋12依然也可以在外界大氣環境下保持對開口的密封，直至坩堝本體11外的氣壓減小至與坩堝本體11內氣壓一致時，彈性件13的彈力打開密封蓋12。從材料進入坩堝本體11并將密封蓋12密封所述開口到密封蓋12打開的過程中，坩堝本體11內的氣壓較小，即氣體量較少，從而可以減少材料與水汽、氧氣等接觸而造成的變質，進而可以提高蒸鍍效果。

在實際應用中，利用氣壓調節結構23調節箱體21內的氣壓時，可以結合彈性件13由其壓縮狀態回復至初始狀態時的彈力來調節箱體21內的氣壓，以保證當密封蓋12與坩堝本體11之間的連接解除并置于外界大氣環境中時，外界大氣與坩堝本體11內之間的差壓能夠使密封蓋12保持與坩堝本體11之間的密封接觸，而不被彈性件13彈起。

為了進一步減少因材料與水汽、氧氣接觸而變質，箱體21上還可以設置進氣口(未示出)，該進氣口與惰性氣體源相連通，以向箱體21內通入惰性氣體，從而使得待蒸鍍材料從拆包裝到開始蒸鍍，均是處于惰性氣體環境中的，防止變質。

作為本實用新型的第三個方面，提供一種蒸鍍設備，包括蒸鍍腔室和上述蒸鍍準備裝置，所述蒸鍍腔室與抽真空裝置連通。在進行蒸鍍之前，利用抽真空裝置對蒸鍍腔室進行抽真空，以在真空環境中進行蒸鍍。

利用蒸鍍設備進行蒸鍍時，具體可以包括：

步驟一、將上述坩堝10放入手套箱的箱體21內。

步驟二、通過所述手套箱的手套22將待蒸鍍材料放入坩堝本體11內。可以理解的是，待蒸鍍材料先是在帶包裝的情況下放入箱體21內，在此過程中，待蒸鍍材料不會與操作人員直接接觸；之后，操作人員可以通過手套將裝有待蒸鍍材料的密封袋打開，將待蒸鍍材料裝入坩堝本體11內，該過程中待蒸鍍材料也不會與操作人員直接接觸。

步驟三、調節箱體21內的氣壓，以使其小于外界大氣壓。

步驟四、將密封蓋12與坩堝本體11密封連接。

步驟五、將坩堝10從所述手套箱移至所述蒸鍍腔室內，并在坩堝10移出所述手套箱后、進入所述蒸鍍腔室前解除密封蓋12與坩堝本體11之間的密封連接，解除密封蓋12與坩堝本體11之間的密封連接是指，使得密封蓋12的最多一個連接位置與坩堝本體11相連，其他位置均不再連接，從而使得一旦密封蓋12一旦受到一個向上的、且大于自身重力的壓力時，即可打開密封蓋12。如上文所述，彈性件13包括扭力彈簧，扭力彈簧的另一端13b設置在密封蓋12的邊緣，密封蓋12邊緣的未設置扭力彈簧的部分通過卡扣與坩堝本體11可拆卸的連接，此時，步驟四即閉合卡扣，以使密封蓋12密封坩堝本體11的開口；步驟五中的“解除密封蓋12與坩堝本體11之間的密封連接”，即打開卡扣。

步驟六、對所述蒸鍍腔室進行抽真空。

步驟七、加熱所述蒸鍍腔室內的坩堝，以進行蒸鍍。

其中，在步驟三中調節箱體21內的氣壓時，結合彈性件13由其壓縮狀態回復至初始狀態時的彈力來調節箱體內的氣壓，以保證當密封蓋12與坩堝本體11之間的連接解除并置于外界大氣環境中時(即步驟五中)，外界大氣與坩堝本體11內之間的差壓能夠使密封蓋12保持與坩堝本體11之間的密封接觸，而不被彈性件彈起。

為了進一步減少待蒸鍍材料與空氣中水份和氧氣等接觸而造成的變質，在步驟一之前還可以包括：向手套箱的箱體21內充入惰性氣體，從而使得待蒸鍍材料再蒸鍍之前始終處于惰性氣體環境中，而不會接觸水汽、氧氣等，防止材料變質。

以上為對本實用新型提供的坩堝、蒸鍍準備裝置、蒸鍍設備的描述，可以看出，在進行蒸鍍之前向坩堝本體內填入待蒸鍍材料時，材料進入坩堝并將密封蓋密封所述開口到密封蓋打開的過程中，坩堝本體內的材料始終沒有與水汽、氧氣等接觸，進而防止材料變質，從而提高蒸鍍效果。

可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領域內的普通技術人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。