本實用新型涉及鍍鋁設備技術領域，特別是一種新型鍍鋁機。

背景技術：

鍍鋁機是在真空條件下，利用電子束加熱蒸材料，使之氣化蒸發后凝結在晶片表面上成膜的設備。其原理為：由電子槍產生的電子束在電場的作用下獲得功能打在晶片上，當加速電壓足夠高時，所產生的熱能使膜材加熱氣化。鍍鋁機一般由真空系統、蒸發系統和高壓發生裝置組成，但是現有技術中的鍍鋁機真空效果不是很好，常常會影響鍍鋁效果，因此，需要對其進行改進。

技術實現要素：

本實用新型的目的是為了解決上述問題，設計了一種新型鍍鋁機。

實現上述目的本實用新型的技術方案為，一種新型鍍鋁機，包括底座，所述底座上設有油擴散泵，所述底座上還設有真空罩，所述油擴散泵與真空罩之間連接有連接管，所述真空罩內設有行星盤旋轉驅動裝置，所述行星盤旋轉驅動裝置上設有蒸發底板，所述蒸發底板上設有一組電極，所述一組電極之間連接有蒸發舟，所述蒸發舟上設有被蒸發材料，所述真空罩上端設有放置框架，所述放置框架上設有膜厚檢測裝置，所述真空罩側表面且位于放置框架相對應處設有開口，所述開口處設有閥門，所述真空罩上設有高壓變壓器及大功率電子管。

所述油擴散泵的底部安裝有加熱盤。

所述放置框架下方設有烘烤加熱裝置。

所述電極外側下端設有電極外圈。

所述電極外圈為陶瓷外圈。

利用本實用新型的技術方案制作的新型鍍鋁機，采用油擴散泵和膜厚檢測裝置，解決了上述背景技術中所提出的問題，油擴散泵底部安裝加熱盤，提高了加熱溫度，真空效果更好，同時電極外圈減少了減少了電極與蒸發底板之間的導電現象，大大提高了鍍鋁質量，同時可隨時監測膜厚，更加智能化。

附圖說明

圖1是本實用新型所述新型鍍鋁機的結構示意圖；

圖中，1、底座；2、油擴散泵；3、真空罩；4、連接管；5、行星盤旋轉驅動裝置；6、蒸發底板；7、電極；8、蒸發舟；9、被蒸發材料；10、放置框架；11、膜厚檢測裝置；12、開口；13、閥門；14、高壓變壓器；15、大功率電子管；16、加熱盤；17、烘烤加熱裝置；18、電極外圈。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型進行具體描述，如圖1所示，一種新型鍍鋁機，包括底座1，所述底座1上設有油擴散泵2，所述底座1上還設有真空罩3，所述油擴散泵2與真空罩3之間連接有連接管4，所述真空罩3內設有行星盤旋轉驅動裝置5，所述行星盤旋轉驅動裝置5上設有蒸發底板6，所述蒸發底板6上設有一組電極7，所述一組電極7之間連接有蒸發舟8，所述蒸發舟8上設有被蒸發材料9，所述真空罩3上端設有放置框架10，所述放置框架10上設有膜厚檢測裝置11，所述真空罩3側表面且位于放置框架10相對應處設有開口12，所述開口12處設有閥門13，所述真空罩3上設有高壓變壓器14及大功率電子管15；所述油擴散泵2的底部安裝有加熱盤16；所述放置框架10下方設有烘烤加熱裝置17；所述電極7外側下端設有電極外圈18；所述電極外圈18為陶瓷外圈。

本實施方案的特點為，底座1上設有油擴散泵2，底座1上還設有真空罩3，油擴散泵2與真空罩3之間連接有連接管4，真空罩3內設有行星盤旋轉驅動裝置5，行星盤旋轉驅動裝置5上設有蒸發底板6，蒸發底板6上設有一組電極7，一組電極7之間連接有蒸發舟8，蒸發舟8上設有被蒸發材料9，真空罩3上端設有放置框架10，放置框架10上設有膜厚檢測裝置11，真空罩3側表面且位于放置框架10相對應處設有開口12，開口12處設有閥門13，真空罩3上設有高壓變壓器14及大功率電子管15，采用油擴散泵和膜厚檢測裝置，解決了上述背景技術中所提出的問題，油擴散泵底部安裝加熱盤，提高了加熱溫度，真空效果更好，同時電極外圈減少了減少了電極與蒸發底板之間的導電現象，大大提高了鍍鋁質量，同時可隨時監測膜厚，更加智能化。

在本實施方案中，首先將需要鍍鋁材料從開口12處放置到放置框架10上，然后關上閥門13，之后啟動油擴散泵2，由于油擴散泵2底部設有加熱盤16，故可以保證加熱溫度保持在240℃以上，使得油擴散泵2對真空罩3的抽真空效果更好，將被蒸發材料9放置在蒸發舟8上，然后行星盤旋轉驅動裝置5上的蒸發區域開始工作，此過程中電極外圈18設有陶瓷電機外圈，使得電極7與蒸發底板6之間的導電現象減少，提高了鍍鋁效果，然后高壓變壓器14、大功率電子管15及烘烤加熱裝置17工作，對鍍鋁薄膜表面進行烘干處理，同時設有膜厚檢測裝置11，可以隨時監測鍍鋁的膜厚程度。

上述技術方案僅體現了本實用新型技術方案的優選技術方案，本技術領域的技術人員對其中某些部分所可能做出的一些變動均體現了本實用新型的原理，屬于本實用新型的保護范圍之內。