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一種Si?V發光的納米金剛石晶粒及其制備方法與流程

文檔序號:11147580閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種Si-V發光的納米金剛石晶粒,其特征在于,所述Si-V發光的納米金剛石晶粒按如下方法制備得到:

(1)對石英襯底進行納米金剛石溶液超聲振蕩預處理;

(2)采用熱絲化學氣相沉積法,在經過步驟(1)預處理的石英襯底上制備得到納米金剛石薄膜,再將其置于500~650℃的空氣中保溫10~50min,得到沉積于石英襯底上的Si-V發光的單顆粒層納米金剛石薄膜;

(3)通過超聲振蕩,將步驟(2)所得沉積于石英襯底上的Si-V發光的單顆粒層納米金剛石薄膜從石英襯底上剝離,并對剝離后的納米金剛石薄膜繼續進行超聲振蕩,將納米金剛石薄膜震碎,即制得Si-V發光的納米金剛石晶粒。

2.如權利要求1所述的Si-V發光的納米金剛石晶粒,其特征在于,所述步驟(1)的操作方法為:

將納米金剛石粉末以料液質量比1∶50~150分散于去離子水中,得到納米金剛石溶液,將石英襯底置于所得納米金剛石溶液中,使用功率為200W的超聲機超聲振蕩0.5~3h,之后將石英襯底依次置于去離子水、丙酮中,使用功率為200W的超聲機分別進行超聲清洗2min,最后干燥,備用。

3.如權利要求1所述的Si-V發光的納米金剛石晶粒,其特征在于,所述步驟(2)的操作方法為:

將經過步驟(1)預處理的石英襯底放入熱絲化學氣相沉積設備,以丙酮為碳源,采用氫氣A鼓泡方式將丙酮帶入到反應室中,氫氣B、丙酮的流量比為200:90,熱絲與石英襯底的距離為6~10mm,反應功率為1600~2000W,工作氣壓為1.63~2.63Kpa,薄膜生長時間為5~30min,在反應過程中不加偏壓,薄膜生長結束后,在不通氫氣B的條件下降溫冷卻至室溫,即在石英襯底上制備得到納米金剛石薄膜,再將其置于500~650℃的空氣中保溫10~50min,即制得沉積于石英襯底上的Si-V發光的單顆粒層納米金剛石薄膜。

4.如權利要求1所述的Si-V發光的納米金剛石晶粒,其特征在于,所述步驟(3)的操作方法為:

將步驟(2)所得沉積于石英襯底上的Si-V發光的單顆粒層納米金剛石薄膜浸沒于去離子水中,使用功率為200W的超聲機進行超聲振蕩0.5~1h,將納米金剛石薄膜從石英襯底上剝離;移除石英襯底,之后對含有納米金剛石薄膜的溶液繼續進行超聲震蕩10~12h,即制備得到Si-V發光的納米金剛石晶粒。

5.如權利要求1所述的Si-V發光的納米金剛石晶粒,其特征在于,制得的Si-V發光的納米金剛石晶粒尺寸在70~100nm,具有規則的晶型。

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