本申請涉及SiC生產技術領域，具體為一種能夠加速冷卻的SiC生長坩堝平臺。

背景技術：

人造SiC通常是在坩堝中進行生產的，坩堝是通過石墨平臺進行支撐的，石墨平臺起到均熱作用，在SiC生長過程中，需要反復對坩堝進行加熱和冷卻，石墨平臺也需要經歷反復不斷的膨脹和收縮，石墨平臺的膨脹和收縮會導致坩堝的中心位置發生偏移，使得坩堝在使用過程中不穩定，容易晃動，一旦坩堝在使用過程中發生晃動，極易導致坩堝內的溫場不均勻，嚴重影響SiC的質量。

另外，現有技術中對坩堝的加熱方式使得坩堝受熱不均勻，這影響了SiC晶體的生長質量，也對能源造成了浪費。

此外，在加熱結束后，需要將坩堝取下來，但是由于坩堝溫度過高，需要進行自然冷卻降溫，這就會浪費時間，使得工作效率下降。

基于上述問題，設計發明一種新型的SiC生長坩堝平臺就顯得尤為必要。

技術實現要素：

為了克服現有技術中的缺陷，本申請提供了一種新型的SiC生長坩堝平臺，該裝置通過螺栓將兩塊石墨平臺連接在一起，并將坩堝固定于兩塊石墨平臺之間，當石墨受熱膨脹時，由于螺栓的固定，石墨平臺不會發生位置平移，從而保障了坩堝位置的穩定性。另外，在兩塊石墨平臺相對的一側，在每個石墨平臺上設有一個半圓，兩個半圓內側設置有加熱套，坩堝正好放置于該加熱套內，使得坩堝受熱均勻，避免了坩堝內由于局部過熱而對產品造成影響，也避免了坩堝內由于局部受不到熱，而對能源造成浪費。為了加速石墨及坩堝的溫度降低，在石墨塊和坩堝的底下設置風扇，當需要冷卻時，可以打開風扇，風扇吹風石墨塊和坩堝產生的熱量吹走，從而使得坩堝的溫度加速降下來。

一種能夠加速冷卻的SiC生長坩堝平臺，包括第一石墨平臺和第二石墨平臺，所述的第一石墨平臺和第二石墨平臺通過兩個螺栓連接在一起，兩根螺栓分別貫穿第一石墨平臺和第二石墨平臺的兩側，所述的第一石墨平臺和第二石墨平臺相對的一側，在每個平臺上分別設有半圓，兩半圓大小及相對位置為對應的，兩個半圓內側設置有加熱套，坩堝正好放置于該加熱套內；所述的第一石墨平臺和第二石墨平臺放置在不銹鋼底座上，且不銹鋼底座的底端固定有風扇，當需要冷卻時，開動風扇，吹走石墨塊和坩堝的熱量，使得石墨塊和坩堝冷卻下來；

在第二石墨平臺的一次為螺帽，在第一石墨平臺的一側為螺母；在螺帽與第二石墨平臺 之間設有彈簧；

所述的不銹鋼底座的側面設置有按鈕，用于風扇的開關；

由于兩個石墨平臺通過螺栓連接在一起，對石墨平臺起到了固定作用，而第二石墨平臺外側彈簧的設置，使得石墨平臺受熱膨脹時，會想著外側移動，而彈簧能緩沖這種壓力，而避免了螺帽對石墨平臺的擠壓，也避免了石墨平臺對坩堝的擠壓，避免了坩堝由于受壓過大而破碎；

加熱套的設置，使得坩堝受熱均勻，避免了坩堝內由于局部過熱而對產品造成影響，也避免了坩堝內由于局部受不到熱，而對能源造成浪費。

為了加速石墨及坩堝的溫度降低，在石墨塊和坩堝的底下設置風扇，當需要冷卻時，可以打開風扇，風扇吹風石墨塊和坩堝產生的熱量吹走，從而使得坩堝的溫度加速降下來。

綜上所述，本申請提供的SiC生長坩堝，具有穩定性好，通風散熱性能優良，結構簡單，使用方便等優點。

附圖說明

圖1為一種能夠加速冷卻的SiC生長坩堝平臺主視示意圖；

圖2為一種能夠加速冷卻的SiC生長坩堝平臺俯視示意圖；

圖3為圖1中A-A的剖視示意圖；

附圖標記

圖中1為第一石墨平臺，2為螺栓，3為第二石墨平臺，4為螺帽，5為彈簧，6為不銹鋼底座，7為按鈕，8為坩堝，9為加熱套，10為風扇。

具體實施例

實施例1

一種能夠加速冷卻的SiC生長坩堝平臺，包括第一石墨平臺1和第二石墨平臺3，所述的第一石墨平臺1和第二石墨平臺3通過兩個螺栓2連接在一起，兩根螺栓2分別貫穿第一石墨平臺1和第二石墨平臺3的兩側，所述的第一石墨平臺1和第二石墨平臺3相對的一側，在每個平臺上分別設有半圓，兩半圓大小及相對位置為對應的，兩個半圓內側設置有加熱套9，坩堝8正好放置于該加熱套內；所述的第一石墨平臺1和第二石墨平臺3放置在不銹鋼底座6上，且不銹鋼底座6的底端固定有風扇10，當需要冷卻時，開動風扇10，吹走石墨塊和坩堝的熱量，使得石墨塊和坩堝冷卻下來；

在第二石墨平臺3的一側為螺帽4，在第一石墨平臺1的一側為螺母；在螺帽4與第二石墨平臺3之間設有彈簧5；

所述的不銹鋼底座6的側面設置有按鈕7，用于風扇10的開關；

由于兩個石墨平臺通過螺栓連接在一起，對石墨平臺起到了固定作用，而第二石墨平臺外側彈簧的設置，使得石墨平臺受熱膨脹時，會想著外側移動，而彈簧能緩沖這種壓力，而避免了螺帽對石墨平臺的擠壓，也避免了石墨平臺對坩堝的擠壓，避免了坩堝由于受壓過大而破碎；

加熱套的設置，使得坩堝受熱均勻，避免了坩堝內由于局部過熱而對產品造成影響，也避免了坩堝內由于局部受不到熱，而對能源造成浪費。

為了加速石墨及坩堝的溫度降低，在石墨塊和坩堝的底下設置風扇，當需要冷卻時，可以打開風扇，風扇吹風石墨塊和坩堝產生的熱量吹走，從而使得坩堝的溫度加速降下來。

綜上所述，本申請提供的SiC生長坩堝，具有穩定性好，通風散熱性能優良，結構簡單，使用方便等優點。