1.一種制備純硅芯包層摻氟的超低損耗光纖預(yù)制棒的設(shè)備，其特征在于：包括靶棒、沉積室、外包層噴燈、中包層噴燈、輔助噴燈、芯層噴燈、吊桿、排氣管、上部沉積腔體和石墨加熱電阻爐；沉積室上部設(shè)置有上部沉積腔體，上部沉積腔體內(nèi)裝有吊桿，吊桿設(shè)置有掛鉤，吊桿與提升機構(gòu)相連，靶棒懸掛在與提升機構(gòu)相連的吊桿的掛鉤上，在沉積室下部一側(cè)依次裝有外包層噴燈、中包層噴燈、輔助噴燈、芯層噴燈，在沉積室上部一側(cè)設(shè)置有排氣管，用于排除沉積室內(nèi)廢氣；
石墨燒結(jié)爐包括石英吊桿、密封組件、蓋板、石英爐芯管、石墨爐芯管、氣體管路、靶棒、粉末體、石墨加熱體和氣體質(zhì)量流量控制器；粉末體通過靶棒與石英吊桿相連接，燒結(jié)過程中，石英吊桿上下移動，并自轉(zhuǎn)；氣體管路上安裝有氣體質(zhì)量流量控制器；粉末體置于石英爐芯管，由上而下通過由石墨加熱體產(chǎn)生的高溫區(qū)，石英爐芯管在石墨爐芯管內(nèi)，石墨加熱體圍繞在石墨爐芯管外，通過蓋板進行密封石英爐芯管，石英吊桿穿過密封組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備純硅芯包層摻氟的超低損耗光纖預(yù)制棒的設(shè)備，其特征在于：密封組件內(nèi)設(shè)置4層隔離，每層中由密封組件氣體管路通入N2進行氣封。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備純硅芯包層摻氟的超低損耗光纖預(yù)制棒的設(shè)備，其特征在于：在摻F燒結(jié)過程中，由氣體質(zhì)量流量控制器控制He和含氟化合物混合氣，通入石英爐芯管的氣體管路位于石墨加熱體中上部區(qū)域。