技術總結
本實用新型一種制備純硅芯包層摻氟的超低損耗光纖預制棒的設備涉及的是一種采用氣相沉積法獲得的粉末體，在包層中進行摻氟來制備純硅芯包層摻氟的超低損耗光纖預制棒的設備。所述的設備包括靶棒、沉積室、外包層噴燈、中包層噴燈、輔助噴燈、芯層噴燈、吊桿、排氣管、上部沉積腔體和石墨加熱電阻爐；沉積室上部設置有上部沉積腔體，上部沉積腔體內裝有吊桿，吊桿設置有掛鉤，吊桿與提升機構相連，靶棒懸掛在與提升機構相連的吊桿的掛鉤上，在沉積室下部一側依次裝有外包層噴燈、中包層噴燈、輔助噴燈、芯層噴燈；石墨燒結爐包括石英吊桿、密封組件、蓋板、石英爐芯管、石墨爐芯管、氣體管路、靶棒、粉末體、石墨加熱體和氣體質量流量控制器。

技術研發人員：吳椿烽;沈一春;錢宜剛
受保護的技術使用者：中天科技精密材料有限公司;江蘇中天科技股份有限公司
文檔號碼：201620461105
技術研發日：2016.05.19
技術公布日：2016.12.14