本實用新型涉及一種坩堝,尤其是一種可調式石墨坩堝。
背景技術:
石墨坩堝應用在多晶硅定向凝固設備的熱場中,對圓形石英坩堝進行支撐防護。石墨坩堝的作用是支撐石英坩堝在高溫軟化時變形量不超過設定值。由于圓形石英坩堝成型時有拔模斜度,導致石英坩堝開口直徑大,底部直徑小,如果使用直筒型的石墨坩堝,則石英坩堝底部不能得到石墨坩堝的有效支撐。
目前,多晶硅行業定向凝固中主要采用兩種石墨坩堝。第一種是采用整體石墨環式坩堝,此類石墨坩堝的不足之處是:(1)安裝不方便;(2)使用成本較高;(3)環狀石墨在感應爐內會受到電磁場的感應,感應生熱,使熱場發生較大變化。第二種是采用分瓣石墨板式坩堝,此類石墨坩堝的不足之處是:(1)石墨護板之間有縫隙,相鄰護板無法相互支撐,坩堝破裂時會發生危險;(2)安裝不方便,石墨護板之間有間隙要求,調整不方便;(3)分瓣式石墨坩堝在感應爐內也會受到電磁場的感應,相鄰護板間產生電火花,對石英坩堝有一定危害。上述兩種石墨坩堝存在的共性不足之處是:石墨坩堝與石英坩堝之間存在間隙,無法緊密貼合對石英坩堝進行有效支撐。
技術實現要素:
本實用新型旨在提供一種可調式石墨坩堝,它有效解決了整體式石墨坩堝受感應發熱的問題、不方便拆卸的問題及分瓣式石墨坩堝護板存在的相鄰護板無法相互支撐、護板間隙不方便調整、易產生電火花的問題,以及石墨坩堝與石英坩堝之間存在間隙,無法緊密貼合對石英坩堝進行有效支撐的問題,其采用的技術方案如下:
一種可調式石墨坩堝,其特征在于,包括:環形石墨卡箍、筒體和石墨底板,所述石墨底板的頂面開設有環形卡槽,所述筒體為中空的頂部直徑大底部直徑小的圓臺形,所述筒體由若干塊石墨護板依次拼合組成,所述石墨護板底部放置于環形卡槽中,所述筒體的內壁面與具有拔模斜度的石英坩堝的外壁面緊密貼合,所述石墨卡箍箍于筒體頂部。
圓臺的定義為:用一個平行于圓錐底面的平面去截圓錐,底面與截面之間的部分叫做圓臺或以直角梯形垂直于底邊的腰所在直線為旋轉軸,其余各邊旋轉而形成的曲面所圍成的幾何體叫做圓臺。
在上述技術方案基礎上,相鄰石墨護板之間緊密貼合。
本實用新型具有如下優點:有效解決了整體式石墨坩堝受感應發熱的問題、不方便拆卸的問題及分瓣式石墨坩堝護板存在的相鄰護板無法相互支撐、護板間隙不方便調整、易產生電火花的問題,以及石墨坩堝與石英坩堝之間存在間隙,無法緊密貼合對石英坩堝進行有效支撐的問題。
附圖說明
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一種實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據提供的附圖引伸獲得其它的實施附圖。
圖1是本實用新型的立體結構示意圖。
圖2是本實用新型的剖面結構示意圖。
具體實施方式
下面結合附圖和實例對本實用新型作進一步說明:
下面詳細描述本實用新型的實施例,所述實施例的示例在附圖中示出,其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的,僅用于解釋本實用新型,而不能理解為對本實用新型的限制。
如圖1和圖2所示,一種可調式石墨坩堝,其特征在于,包括:環形石墨卡箍1、筒體2和石墨底板3,所述石墨底板3的頂面開設有環形卡槽30,所述筒體2為中空的頂部直徑大底部直徑小的圓臺形,所述筒體2由若干塊石墨護板20依次拼合組成,所述石墨護板20底部放置于環形卡槽30中,所述筒體2的內壁面與具有拔模斜度的石英坩堝4的外壁面緊密貼合,所述石墨卡箍1箍于筒體2頂部。
在上述技術方案基礎上,優選相鄰石墨護板20之間緊密貼合。
所述石墨護板20可為四塊。
使用時組裝順序為:將石英坩堝放置在石墨底板上,然后將石墨護板圍繞石英坩堝并安裝在石墨底板的卡槽里,再將石墨卡箍安裝到石墨護板上,將所有的石墨護板固定,組裝完成。
石墨坩堝組裝好后,將需要熔煉的多晶硅塊料放入石英坩堝內,整體置入定向提純爐內,開始熔煉。
上面以舉例方式對本實用新型進行了說明,但本實用新型不限于上述具體實施例,凡基于本實用新型所做的任何改動或變型均屬于本實用新型要求保護的范圍。
需要指出的是,權利要求書中記載的附圖符號單純用于輔助實用新型的理解,不對權利范圍的解釋產生影響,不得根據記載的附圖符號縮窄解釋權利范圍。