1.一種大容量負壓氬氣循環(huán)凈化系統(tǒng),包括真空壓力表(1),其特征在于:所述真空壓力表(1)安裝在氬氣循環(huán)凈化機體(23)上,所述氬氣循環(huán)凈化機體(23)上設(shè)有真空處理室(3)、氬氣預(yù)處理室(6)和凈化室(11),且真空處理室(3)的內(nèi)部設(shè)有抽真控系統(tǒng)(15)、緩沖罐(16)和真空增壓裝置(17),所述真空處理室(3)上設(shè)有標牌(2),所述氬氣預(yù)處理室(6)的內(nèi)部設(shè)有氬氣預(yù)處理系統(tǒng)(18)和壓縮機(19),所述凈化室(11)的內(nèi)部設(shè)有凈化循環(huán)系統(tǒng)(20),且凈化室(11)上設(shè)有PLC+觸摸屏電控器(14)和凈化提示器(13),所述抽真控系統(tǒng)(15)、緩沖罐(16)、真空增壓裝置(17)、氬氣預(yù)處理系統(tǒng)(18)、壓縮機(19)和凈化循環(huán)系統(tǒng)(20)均按順序通過輸氣管連接,且凈化循環(huán)系統(tǒng)(20)通過輸出閥(22)與用氣點(21)連接,所述氬氣循環(huán)凈化機體(23)的右側(cè)設(shè)有總控制室(5),且總控制室(5)上設(shè)有儀控系統(tǒng)顯示屏(8)、總啟動開關(guān)(10)、工作指示燈(9)和操作盤(7),所述氬氣循環(huán)凈化機體(23)和儀控系統(tǒng)顯示屏(8)均安裝在萬向自鎖輪(4)的上方,且儀控系統(tǒng)顯示屏(8)的輸出端與氬氣循環(huán)凈化機體(23)的輸入端電性連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大容量負壓氬氣循環(huán)凈化系統(tǒng),其特征在于:所述抽真控系統(tǒng)(15)由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大容量負壓氬氣循環(huán)凈化系統(tǒng),其特征在于:所述凈化循環(huán)系統(tǒng)(20)上設(shè)有分子篩吸附劑、脫水吸附器和再生吸附器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大容量負壓氬氣循環(huán)凈化系統(tǒng),其特征在于:所述抽真控系統(tǒng)(15)與用氣點(21)構(gòu)成一條回路。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種大容量負壓氬氣循環(huán)凈化系統(tǒng),其特征在于:所述抽真控系統(tǒng)(15)與用氣點(21)構(gòu)成的回路由電磁閥(12)控制。