技術總結
本實用新型公開了一種大容量負壓氬氣循環凈化系統，包括真空壓力表，所述真空壓力表安裝在氬氣循環凈化機體上，所述氬氣循環凈化機體上設有真空處理室、氬氣預處理室和凈化室，且真空處理室的內部設有抽真控系統、緩沖罐和真空增壓裝置，所述真空處理室上設有標牌，所述氬氣預處理室的內部設有氬氣預處理系統和壓縮機，所述凈化室的內部設有凈化循環系統。本實用新型的回收廢氬氣容量大，且廢氬氣輸出壓力低于一個大氣壓的情況下，快速回收，循環，通過凈化系統，將氬氣中雜質除掉，凈化后的氬氣滿足工藝要求。且主要運行參數指標集成于儀控系統中，通過儀控系統監測、控制系統運行狀態，實現整套系統自動化操作。

技術研發人員：黃寶福
受保護的技術使用者：北京北氧特氣工程技術有限公司
文檔號碼：201620659881
技術研發日：2016.06.29
技術公布日：2017.04.26