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一種用于單晶硅生產(chǎn)中的摻雜裝置的制作方法

文檔序號(hào):12759170閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種用于單晶硅生產(chǎn)中的摻雜裝置,其特征在于:包括電機(jī)、電機(jī)架、端蓋、上軸承、罐體、內(nèi)罐體、下軸承、托環(huán)、孔板、鏈條、密封球、出料道、漏斗狀罐底和摻雜元素,所述端蓋安裝在所述罐體上端,所述電機(jī)通過(guò)所述電機(jī)架安裝在所述端蓋上表面中央,所述內(nèi)罐體通過(guò)所述上軸承和所述下軸承安裝在所述罐體內(nèi)且其上端與所述電機(jī)主軸相連,所述孔板安裝在所述內(nèi)罐體底部,所述密封球通過(guò)所述鏈條與所述孔板底部相連,所述漏斗狀罐底處于所述罐體底部且其與所述出料道相連,所述內(nèi)罐體中裝有所述摻雜元素。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅生產(chǎn)中的摻雜裝置,其特征在于:所述電機(jī)的主軸、內(nèi)罐體和出料道的中心線處于同一豎直直線上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅生產(chǎn)中的摻雜裝置,其特征在于:所述鏈條上端與所述孔板相連的位置偏置于呈圓形狀的所述孔板圓心。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅生產(chǎn)中的摻雜裝置,其特征在于:所述密封球的半徑是所述出料道直徑的1.5倍到2倍。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅生產(chǎn)中的摻雜裝置,其特征在于:所述托環(huán)安裝在所述罐體內(nèi)壁上,且其與所述孔板下底面相接觸。

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