本實(shí)用新型涉及一種工藝爐，尤其涉及一種運(yùn)用于濕法制作碳化硅寶石顆粒的工藝爐，屬于晶體硅制作類領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

目前，在碳化硅寶石顆粒制作中，市場(chǎng)上的濕法工藝爐在強(qiáng)堿的條件下使用壽命有限，并且控制溫度的精度隨時(shí)間推移在下降，維護(hù)和維修都是問(wèn)題。

在強(qiáng)堿的環(huán)境下400多度處理碳化硅寶石顆粒，低溫時(shí)的堿塊在高溫時(shí)變成液體，有較強(qiáng)的揮發(fā)性，同時(shí)溫度波動(dòng)盡量小以保證寶石顆粒處理的一致性。濕法工藝爐在強(qiáng)堿的條件下使用壽命很有問(wèn)題（腐蝕性），并且控制溫度的精度也在下降（保溫性）。

為此，如何提供一種高壽命的碳化硅寶石顆粒濕法工藝爐，是本實(shí)用新型研究的目的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為克服現(xiàn)有技術(shù)不足，本實(shí)用新型提供一種碳化硅寶石顆粒濕法工藝爐，采用坩堝和電爐的分層結(jié)構(gòu)處理，保證了控制溫度的精度和操作的方便性，提高了工藝爐的使用壽命。

為解決現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：

一種碳化硅寶石顆粒濕法工藝爐，包括上蓋板、上保溫箱、下保溫箱和控制箱；所述的上保溫箱設(shè)置在下保溫箱之上，所述的下保溫箱內(nèi)部底端設(shè)置有電爐，所述的電爐上設(shè)置隔離托盤；所述的上保溫箱為中空結(jié)構(gòu)，所述的中空結(jié)構(gòu)設(shè)置有石墨坩堝；所述的上保溫箱上設(shè)置有測(cè)溫支架；所述的上保溫箱上端的中空口設(shè)置有上蓋板；所述的電爐通過(guò)導(dǎo)管連接控制箱。

所述的導(dǎo)線外圍材質(zhì)為陶瓷管。

所述的電爐功率采用1KW。

所述的隔離托盤設(shè)置有6mm圓邊，采用不銹鋼材質(zhì)。

所述的上保溫箱和下保溫箱采用碳化硅晶體生長(zhǎng)爐的軟氈材料。

本實(shí)用新型的有益效果是：溫度控制穩(wěn)定、腐蝕氣體處理、操作方便并且運(yùn)行成本低。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)拆解示意圖。

其中：上蓋板1、上保溫箱2、下保溫箱3、控制箱4、電爐5、隔離托盤6、石墨坩堝7、測(cè)溫支架8、導(dǎo)管9。

具體實(shí)施方式

為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠更加理解本實(shí)用新型技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖1對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步分析。

一種碳化硅寶石顆粒濕法工藝爐，包括上蓋板1、上保溫箱2、下保溫箱3和控制箱4；上保溫箱2設(shè)置在下保溫箱3之上，下保溫箱3內(nèi)部底端設(shè)置有電爐5，電爐5功率采用1KW，其特性為均勻爐絲、不易打火并且壽命長(zhǎng)；因長(zhǎng)時(shí)間加熱會(huì)有強(qiáng)堿滲出，故此電爐5上要設(shè)置隔離托盤6，隔離托盤6設(shè)置有6mm圓邊，采用不銹鋼材質(zhì)；上保溫箱2為中空結(jié)構(gòu)，中空結(jié)構(gòu)設(shè)置有石墨坩堝7；上保溫箱2上設(shè)置有測(cè)溫支架8；上保溫箱2上端的中空口設(shè)置有上蓋板1；電爐5通過(guò)導(dǎo)管9連接控制箱4，導(dǎo)線9外圍材質(zhì)為陶瓷管；上保溫箱2和下保溫箱3采用碳化硅晶體生長(zhǎng)爐的軟氈材料。

控制箱4儀表的PI調(diào)節(jié)控制SSR固態(tài)繼電器，直接輸出控制電爐5。

上蓋板1有風(fēng)機(jī)吸走絕大部分的強(qiáng)堿揮發(fā)物，窗外有弱酸桶來(lái)中和此處的強(qiáng)堿揮發(fā)物來(lái)保護(hù)工作環(huán)境。

本實(shí)用新型所述的工藝爐自制腐蝕爐控制電路；保溫層和電爐的匹配以達(dá)到好的控溫效果；坩堝和電爐的分層結(jié)構(gòu)；溫度控制穩(wěn)定；腐蝕氣體處理；操作方便并且運(yùn)行成本低，器件通配性好。

以上對(duì)本申請(qǐng)所提供的技術(shù)方案進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了實(shí)施例對(duì)本申請(qǐng)的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本申請(qǐng)的方法及其核心思想；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本申請(qǐng)的思想，在具體實(shí)施方式及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說(shuō)明書(shū)內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本申請(qǐng)的限制。