技術(shù)總結(jié)
一種乙硅烷精餾裝置，包括第一精餾塔和第二精餾塔，其特征在于，第一精餾塔設(shè)有第一精餾段、第一反應(yīng)段和第一提餾段，第一精餾段頂部設(shè)有排氣口，第一提餾段下方與第一再沸器連接，第一精餾段內(nèi)部設(shè)有多個第一冷凝器；第二精餾塔設(shè)有第二精餾段、第二反應(yīng)段和第二提餾段，第二提餾段下方與第二再沸器連接，第二精餾段內(nèi)部設(shè)有一個第二冷凝器，第二精餾塔的出料口與乙硅烷存儲罐連接；第一精餾塔的出料口通過2根導(dǎo)管分別與第二反應(yīng)段、乙硅烷存儲罐連接。本實用新型的有益之處在于：混合氣體在第一精餾塔中進行精餾后，在第二精餾塔中可以對氨氣進行二次精餾，保證乙硅烷的純度，并且可以根據(jù)氨氣的實際含量選擇要不要對氨氣進行二次精餾。

技術(shù)研發(fā)人員：徐昕;鄭春寧;何波
受保護的技術(shù)使用者：南京亞格泰新能源材料有限公司
文檔號碼：201621036191
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.30
技術(shù)公布日：2017.06.06