本實用新型涉及一種多晶硅電池片生產技術領域，特別涉及一種多晶硅鑄錠爐的升級改造，尤其是一種多晶硅鑄錠爐的進氣裝置。

背景技術：

多晶硅電池片的生產工序包括：坩堝噴涂→填料→鑄錠→切割成塊→線割成片→清洗干燥→檢測→包裝，其中，鑄造多晶硅錠是一道重要的工藝，多晶硅鑄錠的質量將直接影響太陽能電池的轉換效率和質量。

鑄造多晶硅錠，是將填料后的坩堝放置在鑄錠爐內，經過爐腔抽空、加熱、熔化、長晶、退火、冷卻后，完成硅錠的鑄造。現有技術中多晶硅鑄錠爐內設有頂部加熱器和側面加熱器，頂部加熱器和側面加熱器設為一體，通過頂部銅電極與爐體固定，頂部加熱器和側面加熱器提供熱量。

在多晶硅錠鑄造的整個過程中，為保證硅鑄錠生產過程中適當的壓力及周圍的氣氛一致，并及時帶走從硅原料中揮發出的雜質，需要持續從石英坩堝上方通過石墨蓋板中央的開孔通入保護氣體，并流經硅料表面。通過是直接在石墨蓋板上開進氣孔，然后通過進氣管將保護氣以直通的方式通入內腔以帶走雜質氣體，但直通的方式不能形成有效的回流，因而通常存在雜質氣體去除效果不好的狀況。

技術實現要素：

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種多晶硅鑄錠爐進氣裝置，以提高進氣效率并提高雜質排出效率。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種多晶硅鑄錠爐進氣裝置，所述鑄錠爐包括：爐體，所述爐體上設置有進氣管，所述爐體內設置有保溫護罩，所述保溫護罩內設置有坩堝、對應所述坩堝的石墨護罩、對應所述石墨護罩的頂部加熱器及側部加熱器以及位于所述石墨護罩底部的散熱平臺，所述頂部加熱器與側部加熱器由安裝在所述爐體頂部的外部加熱銅電極控制以實現對石墨護罩頂部及側部的外部加熱，所述保溫護罩及散熱平臺通過設置在所述爐體底部的石墨支柱來支撐，所述散熱平臺支撐所述石墨護罩；所述進氣管的出口處設置有高純度耐高溫材質制備的螺旋槳，通過進氣管的高速保護氣氣流沖擊螺旋槳后使螺旋槳旋轉，進而使得進入所述石墨護罩腔室內的保護氣形成有效的螺旋流動，并進一步帶動硅液流動而有效排出硅液內部雜質，廢氣通過設置在所述石墨護罩上的排氣孔導出至所述石墨護罩的腔室外部。

進一步的，所述進氣管通過所述石墨護罩的蓋板連通至所述石墨護罩內部空間，所述石墨護罩的側板與蓋板上設置有所述排氣孔，所述排氣孔排出的尾氣經設置的集氣罩集氣后通過排氣管排出至所述爐體外部，并導入至吸收器對尾氣進行處理。

進一步的，所述排氣管伸入所述吸收器內的吸收液內，且所述吸收器具有攪拌器用于攪拌吸收液；經吸收后的尾氣導入至尾氣回收罐。

通過上述技術方案，本實用新型提供的多晶硅鑄錠爐，其通過在進氣管的出口處設置高純度耐高溫材質制備的螺旋槳，通過進氣管的高速保護氣氣流沖擊螺旋槳后使螺旋槳旋轉，進而使得進入所述石墨護罩腔室內的保護氣形成有效的螺旋流動，并進一步帶動硅液流動而有效排出硅液內部雜質，廢氣通過設置在所述石墨護罩上的排氣孔導出至所述石墨護罩的腔室外部，從而有效提高了硅液中雜質的排出效率，確保了多晶硅的質量。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1為本實用新型實施例所公開的一種結構的多晶硅鑄錠爐結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例所公開的另一種結構的多晶硅鑄錠爐結構示意圖。

圖中數字表示：

11.爐體 12.保溫護罩 13.石墨支柱

14.散熱平臺 15.石墨護罩 16.頂部加熱器

17.側部加熱器 18.外部加熱銅電極 19.進氣管

20.坩堝 21.排氣孔 22.螺旋槳

23.集氣罩 24.排氣管 25.吸收器

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。

參考圖1，本實用新型提供的多晶硅鑄錠爐進氣裝置，鑄錠爐包括：爐體11，爐體11上設置有進氣管19，爐體11內設置有保溫護罩12，保溫護罩12內設置有坩堝20、對應坩堝20的石墨護罩15、對應石墨護罩15的頂部加熱器16及側部加熱器17以及位于石墨護罩15底部的散熱平臺14，頂部加熱器16與側部加熱器17由安裝在爐體11頂部的外部加熱銅電極18控制以實現對石墨護罩15頂部及側部的外部加熱，保溫護罩12及散熱平臺14通過設置在爐體11底部的石墨支柱13來支撐，散熱平臺14支撐石墨護罩15；進氣管19的出口處設置有高純度耐高溫材質制備的螺旋槳22，通過進氣管19的高速保護氣氣流沖擊螺旋槳22后使螺旋槳22旋轉，進而使得進入石墨護罩15腔室內的保護氣形成有效的螺旋流動，并進一步帶動硅液流動而有效排出硅液內部雜質，廢氣通過設置在石墨護罩15上的排氣孔導出至石墨護罩15的腔室外部，從而有效提高了硅液中雜質的排出效率，確保了多晶硅的質量。

參考圖2，進氣管19通過石墨護罩15的蓋板連通至石墨護罩15內部空間，石墨護罩15的側板與蓋板上設置有排氣孔21，排氣孔21排出的尾氣經設置的集氣罩23集氣后通過排氣管24排出至爐體11外部，并導入至吸收器25對尾氣進行處理；排氣管24伸入吸收器25內的吸收液內，且吸收器具有攪拌器用于攪拌吸收液；經吸收后的尾氣導入至尾氣回收罐。

對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。