本發(fā)明涉及流量計的控制，尤其涉及一種基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法。

背景技術：

1、pvt法即氣氛熱化學蒸汽相沉積法，它是一種制備非常純凈且體積非常大的單晶硅材料的技術，其基本原理是在高溫、高壓和惰性氣氛的條件下通過化學反應和傳輸過程，從固態(tài)源沉積出單晶硅材料，目前，市面上采用pvt法的設備內均有用于監(jiān)控氣體流量的流量計，流量計是pvt設備的重要組成部分，是用來控制爐腔內的氣體的流進或補充，因此，就必須研制出一種適用于碳化硅生長的基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，經(jīng)檢索，未發(fā)現(xiàn)與本發(fā)明相同的技術方案。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明主要解決的技術問題是提供一種適用于碳化硅生長的基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，解決上述現(xiàn)有技術問題中的一個或者多個。

2、為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的一個技術方案是：一種基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，其創(chuàng)新點在于：包括

3、氣體流量數(shù)據(jù)采集模塊，該氣體流量數(shù)據(jù)采集模塊用于獲取由數(shù)字氣體流量計采集實時氣體流量值以及由模擬式氣體流量計采集的實時的氣體流量模擬信號；

4、氣體模擬信號降噪模塊，該氣體模擬信號降噪模塊用于將氣體流量模擬信號通過基于自動編碼器的降噪器以得到降噪后的氣體流量模擬信號；

5、氣體模擬信號特征提取模塊，該氣體模擬信號特征提取模塊用于將降噪后的氣體流量模擬信號作為過濾器的卷積神經(jīng)網(wǎng)絡模型后得到氣體流量模擬特征向量；

6、氣體數(shù)字信號特征提取模塊，該氣體數(shù)字信號特征提取模塊用于將實時的氣體流量值排列為輸入向量后通過多尺度鄰域特征提取模塊以得到多尺度氣體流量數(shù)字特征向量；

7、異模態(tài)氣體特征融合模塊，該異模態(tài)氣體特征融合模塊用于使用高斯密度圖來融合氣體流量模擬特征向量和多尺度氣體流量數(shù)字特征向量從而得到氣體融合高斯密度圖；

8、離散化模塊，該離散化模塊用于對氣體融合高斯密度圖中各個位置的高斯分布進行高斯離散化以得到氣體流量特征矩陣；

9、差分模塊，該差分模塊用于計算氣體流量特征矩陣；

10、控制結果生成模塊，該控制結果生成模塊用于將差分特征矩陣通過分類器以得到分類結果，所述分類結果用于表示是否增加氣體流量。

11、在一些實施方式中，控制結果生成模塊包括

12、分類單元，該分類單元用于使用所述分類器對所述校正后差分特征矩陣進行處理以得到所述分類結果；

13、補償單元，該補償單元用于基于差分特征矩陣通過分類器進行預分類得到的概率值，對差分特征矩陣進行特征補償以得到校正后差分特征矩陣；

14、所述補償單元用如下公式對差分特征矩陣進行特征補償來得到校正后差分特征矩陣，公式為：p1＝nn·pn-1·h-n·p，其中n是差分特征矩陣p通過分類器進行預分類獲得的概率值。

15、在一些實施方式中，氣體流量值包括第一氣體流量值、第二氣體流量值以及第三氣體流量值。

16、在一些實施方式中，氣體流量模擬信號包括第一氣體流量模擬信號、第二氣體流量模擬信號以及第三氣體流量模擬信號。

17、在一些實施方式中，氣體流量模擬特征向量包括第一氣體流量模擬特征向量、第二氣體流量模擬特征向量以及第三氣體流量模擬特征向量。

18、在一些實施方式中，氣體流量數(shù)字特征向量包括第一氣體流量數(shù)字特征向量、第二氣體流量數(shù)字特征向量以及第三氣體流量數(shù)字特征向量。

19、在一些實施方式中，氣體融合高斯密度圖為氮氣、第一氬氣和第二氬氣融合高斯密度圖。

20、在一些實施方式中，氣體流量特征矩陣包括氮氣、第一氬氣和第二氬氣的流量特征矩陣。

21、本發(fā)明的有益效果是：本技術方案可以精準監(jiān)控爐腔內的氣體流量，通過采集、分析后可以精準得到需要實時向爐腔內補充的氣體的流量值，本技術方案控制方案采集的實時信息準確，性能可靠。

技術特征：

1.一種基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，其特征在于：包括

2.根據(jù)權利要求1所述的一種基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，其特征在于：所述控制結果生成模塊包括

3.根據(jù)權利要求1所述的一種基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，其特征在于：所述氣體流量值包括第一氣體流量值、第二氣體流量值以及第三氣體流量值。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，其特征在于：所述氣體流量模擬信號包括第一氣體流量模擬信號、第二氣體流量模擬信號以及第三氣體流量模擬信號。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，其特征在于：所述氣體流量模擬特征向量包括第一氣體流量模擬特征向量、第二氣體流量模擬特征向量以及第三氣體流量模擬特征向量。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，其特征在于：所述氣體流量數(shù)字特征向量包括第一氣體流量數(shù)字特征向量、第二氣體流量數(shù)字特征向量以及第三氣體流量數(shù)字特征向量。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，其特征在于：所述氣體融合高斯密度圖為氮氣、第一氬氣和第二氬氣融合高斯密度圖。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種基于pvt法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，其特征在于：所述氣體流量特征矩陣包括氮氣、第一氬氣和第二氬氣的流量特征矩陣。

技術總結
本發(fā)明公開一種基于PVT法生長碳化硅設備用流量計的控制方法，包括氣體流量數(shù)據(jù)采集模塊，該氣體流量數(shù)據(jù)采集模塊用于獲取由數(shù)字氣體流量計采集實時氣體流量值；氣體模擬信號降噪模塊；氣體模擬信號特征提取模塊；氣體數(shù)字信號特征提取模塊；異模態(tài)氣體特征融合模塊；離散化模塊；差分模塊；控制結果生成模塊，該控制結果生成模塊用于將差分特征矩陣通過分類器以得到分類結果，所述分類結果用于表示是否增加氣體流量。本發(fā)明的有益效果是：本技術方案可以精準監(jiān)控爐腔內的氣體流量，通過采集、分析后可以精準得到需要實時向爐腔內補充氣體的流量值，本技術方案控制方案采集的實時信息準確，性能可靠。

技術研發(fā)人員：張新峰,杜陳,高欣
受保護的技術使用者：江蘇卓遠半導體有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/4/24