技術(shù)特征：

1.藍寶石退火爐運行狀態(tài)監(jiān)測控制方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍寶石退火爐運行狀態(tài)監(jiān)測控制方法，其特征在于，s1包括如下具體步驟：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的藍寶石退火爐運行狀態(tài)監(jiān)測控制方法，其特征在于，所述時鐘補償策略包括：提取每個單位紋波頻譜特征匹配結(jié)果，當(dāng)未監(jiān)測到紋波特征異常標(biāo)記或紋波異常特征標(biāo)記的單位紋波頻譜不連續(xù)時，執(zhí)行第一時鐘補償策略；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的藍寶石退火爐運行狀態(tài)監(jiān)測控制方法，其特征在于，所述第一時鐘補償策略具體為：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的藍寶石退火爐運行狀態(tài)監(jiān)測控制方法，其特征在于，所述第二時鐘補償策略具體為：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的藍寶石退火爐運行狀態(tài)監(jiān)測控制方法，其特征在于，s3包括如下具體步驟：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的藍寶石退火爐運行狀態(tài)監(jiān)測控制方法，其特征在于，s4中，所述藍寶石的基底接觸應(yīng)力場的重構(gòu)具體為：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的藍寶石退火爐運行狀態(tài)監(jiān)測控制方法，其特征在于，s4中，所述次輪監(jiān)測模型包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的藍寶石退火爐運行狀態(tài)監(jiān)測控制方法，其特征在于，所述黃色搶救協(xié)議包括：開啟圍繞退火爐中支撐架均勻布置的環(huán)狀多點噴嘴，將注入氣體總流量設(shè)置為爐腔有效容積的0.15倍，同時將支撐架頂部與退火爐底部的氣體流量比設(shè)定為3：1，抑制熱氣流上升導(dǎo)致的濃度梯度，維持環(huán)狀多點噴嘴出口壓力在0.2-0.3mpa的范圍內(nèi)向退火爐中均勻的分層注入ar與氫氣的混合氣體；其中，所述環(huán)狀多點噴嘴共12組，覆蓋退火爐基底支撐架軸向全范圍。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及在線監(jiān)測與控制技術(shù)領(lǐng)域，是藍寶石退火爐運行狀態(tài)監(jiān)測控制方法，具體方法包括：對電源紋波數(shù)據(jù)與進行特征匹配處理，獲取時鐘偏移補償值，通過時鐘偏移補償值將電源紋波數(shù)據(jù)與溫控器數(shù)據(jù)進行時間戳同步；計算獲取分布式溫控器的移殘余時鐘偏移，建立首輪監(jiān)測模型，對退火爐的運行狀態(tài)進行首輪評估；對藍寶石的基底接觸應(yīng)力場進行重構(gòu)處理，對退火爐的運行狀態(tài)進行次輪評估；根據(jù)首輪評估結(jié)果和次輪評估結(jié)果動態(tài)調(diào)整退火爐的控制參數(shù)。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中因退火爐老化導(dǎo)致的電源波動、時鐘漂移及熱應(yīng)力監(jiān)測失效的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭東,肖迪,徐軍,高翔,劉奔,宋百樂,趙俊竹
受保護的技術(shù)使用者：青島華芯晶電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/4/24