技術總結
本發明涉及一種聚合物柔性薄膜的制備方法，具體涉及一種高精度聚合物柔性薄膜襯底的涂覆－超低溫磨削復合制備方法，屬于精密與超精密加工技術領域。一種聚合物柔性薄膜的制備方法，所述方法為在超平滑襯底上涂覆聚合物并使其固化，得到聚合物薄膜；使聚合物薄膜發生玻璃化；對已玻璃化的聚合物薄膜的表面進行磨削處理本發明所述方法實現了高精度聚合物柔性薄膜的機械加工，提高了聚合物薄膜的精度，并且使用機械加工的方法，不依賴于模板的精度，提高了加工效率。

技術研發人員：閆英;周平;張尚雄;葛琦;王惠萍;郭東明
受保護的技術使用者：大連理工大學
文檔號碼：201611160003
技術研發日：2016.12.15
技術公布日：2017.05.31