本發(fā)明涉及金剛石線鋸生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高導(dǎo)熱性樹脂金剛石線鋸的制備方法。
背景技術(shù)：
將樹脂、金剛石微粉及填料涂覆在母線上，在一定溫度下樹脂發(fā)生交聯(lián)固化作用將金剛石微粉固定在母線表面，得到樹脂金剛石線鋸。樹脂金剛石線鋸具有制造工藝簡單、周期短、成本低、切割速度快等特點。在用樹脂金剛石線鋸切割硅錠時，切割的線速度可達到15～20米/秒，高速的往復(fù)切割在硅錠與金剛石線鋸之間產(chǎn)生大量的熱量，如果不把這些熱量及時帶走的話將嚴重影響硅片的切割質(zhì)量，同時長時間的高溫也會加速樹脂層的老化，使樹脂層脫落，并影響樹脂金剛石線鋸的使用壽命。因此，如何提高樹脂金剛石線鋸的導(dǎo)熱性成為提高晶硅片切割質(zhì)量、延長樹脂金剛石線鋸使用壽命的重點。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
針對樹脂金剛石線鋸在切割過程中產(chǎn)生的大量熱量無法及時排除，導(dǎo)致樹脂層老化、脫落，影響切割質(zhì)量的問題，本發(fā)明提供了一種高導(dǎo)熱性樹脂金剛石線鋸的制備方法，所得樹脂金剛石線鋸的導(dǎo)熱性高，能及時把硅錠切割過程中產(chǎn)生的熱量帶走，提高了樹脂金剛石線鋸的使用壽命和硅片的切割質(zhì)量。
為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：
設(shè)計一種高導(dǎo)熱性樹脂金剛石線鋸的制備方法，包括以下步驟：
(1)稱取一定量的樹脂；
(2)加入一定量的納米功能助劑、填料、溶劑和偶聯(lián)劑，攪拌均勻后，靜置15～60min，使樹脂完全溶解；
(3)加入一定量金剛石微粉，再次攪拌均勻，得到樹脂混合液；
(4)把所得樹脂混合液加入樹脂金剛石線鋸制線機依次進行涂覆、預(yù)固化、固化，即成。
根據(jù)上述的制備方法，所述樹脂為酚醛樹脂。
根據(jù)上述的制備方法，所述填料為碳化硅。
根據(jù)上述的制備方法，所述溶劑為二甲基甲酰胺或乙醇。
根據(jù)上述的制備方法，所述偶聯(lián)劑為硅烷偶聯(lián)劑。
根據(jù)上述的制備方法，所述金剛石微粉的粒度為5～50μm。
根據(jù)上述的制備方法，所述納米功能助劑是納米銀、納米銅、納米鐵、納米銀線、納米銅線和納米鐵線中的至少一種。
根據(jù)上述的制備方法，所述樹脂、納米功能助劑、填料、溶劑、偶聯(lián)劑和金剛石微粉之間的重量比為500～560：0.8～1.8：60～70：210～260：3～6：124～189。
根據(jù)上述的制備方法，所述樹脂、納米功能助劑、填料、溶劑、偶聯(lián)劑和金剛石微粉之間的重量比為550：1.1：68：250：6：124.9。
本發(fā)明具有以下積極有益效果：
本發(fā)明可有效提高樹脂金剛石線鋸的導(dǎo)熱性，制備出的線鋸對硅錠的切割效果更強，切割出的硅片成品率高，硅片翹曲度更低；同時切割的線耗能夠有效的降低。
具體實施方式
下面結(jié)合實施例來說明本發(fā)明的具體實施方式，但以下實施例只是用來詳細說明本發(fā)明，并不以任何方式限制本發(fā)明的范圍。在以下實施例中所涉及的儀器設(shè)備如無特別說明，均為常規(guī)儀器設(shè)備；所涉及的生化試劑如無特別說明，均為常規(guī)市售產(chǎn)品；所涉及的檢測方法或試驗方法，如無特別說明，則均為常規(guī)方法。
實施例1：
一種高導(dǎo)熱性樹脂金剛石線鋸的制備方法，包括以下步驟：精確稱取酚醛樹脂500g，分別加入納米銀1.2g、碳化硅60g、二甲基酰胺260g、硅烷偶聯(lián)劑3g，攪拌均勻后靜置15min，之后加入金剛石微粉175.8g，再次攪拌均勻；把配置好的樹脂混合液倒入樹脂金剛石線鋸制線機進行金剛石線鋸的常規(guī)制備。制線機的操作參數(shù)為：樹脂混合液上料速度20ml/min，固化爐溫度530℃，收線及放線速度為1.2m/min。
實施例2：
一種高導(dǎo)熱性樹脂金剛石線鋸的制備方法，包括以下步驟：精確稱取酚醛樹脂520g，分別加入納米銅1.5g、碳化硅60g、二甲基酰胺260g、硅烷偶聯(lián)劑3g，攪拌均勻后靜置45min，之后加入金剛石微粉155.5g，再次攪拌均勻；把配置好的樹脂混合液倒入樹脂金剛石線鋸制線機進行金剛石線鋸的常規(guī)制備。制線機的操作參數(shù)為：樹脂混合液上料速度20ml/min，固化爐溫度530℃，收線及放線速度為1.2m/min。
實施例3：
一種高導(dǎo)熱性樹脂金剛石線鋸的制備方法，包括以下步驟：精確稱取酚醛樹脂500g，分別加入納米鐵1.8g、碳化硅65g、二甲基酰胺240g、硅烷偶聯(lián)劑5g，攪拌均勻后靜置30min，之后加入金剛石微粉188.2g，再次攪拌均勻；把配置好的樹脂混合液倒入樹脂金剛石線鋸制線機進行金剛石線鋸的常規(guī)制備。制線機的操作參數(shù)為：樹脂混合液上料速度20ml/min，固化爐溫度530℃，收線及放線速度為1.2m/min。
實施例4：
一種高導(dǎo)熱性樹脂金剛石線鋸的制備方法，包括以下步驟：精確稱取酚醛樹脂550g，分別加入納米銀線1.1g、碳化硅68g、二甲基酰胺250g、硅烷偶聯(lián)劑6g，攪拌均勻后靜置50min，之后加入金剛石微粉124.9g，再次攪拌均勻；把配置好的樹脂混合液倒入樹脂金剛石線鋸制線機進行金剛石線鋸的常規(guī)制備。制線機的操作參數(shù)為：樹脂混合液上料速度20ml/min，固化爐溫度530℃，收線及放線速度為1.2m/min。
實施例5：
一種高導(dǎo)熱性樹脂金剛石線鋸的制備方法，包括以下步驟：精確稱取酚醛樹脂560g，分別加入納米銅線0.8g、碳化硅70g、二甲基酰胺210g、硅烷偶聯(lián)劑5g，攪拌均勻后靜置30min，之后加入金剛石微粉154.2g，再次攪拌均勻；把配置好的樹脂混合液倒入樹脂金剛石線鋸制線機進行金剛石線鋸的常規(guī)制備。制線機的操作參數(shù)為：樹脂混合液上料速度20ml/min，固化爐溫度530℃，收線及放線速度為1.2m/min。
對比例1：
精確稱取酚醛樹脂500g，分別加入碳化硅60g、二甲基酰胺260g、硅烷偶聯(lián)劑3g，攪拌均勻后靜置15min，之后加入金剛石微粉177g，再次攪拌均勻；把配置好的樹脂混合液倒入樹脂金剛石線鋸制線機進行金剛石線鋸的常規(guī)制備。制線機的操作參數(shù)為：樹脂混合液上料速度20ml/min，固化爐溫度530℃，收線及放線速度為1.2m/min。
用以上實施方式制備的樹脂金剛石線鋸進行切割硅錠實驗，結(jié)果見表1，切割后的硅片成品率都有很大的提高；而硅片的翹曲度下降很大，樹脂金剛石線鋸的線耗也有很大的降低。
表1不同實施例制備的金剛石線鋸對硅錠切割效果
上面結(jié)合實施例對本發(fā)明作了詳細的說明，但是，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠理解，在不脫離本發(fā)明宗旨的前提下，還可以對上述實施例中的各個具體參數(shù)進行變更，形成多個具體的實施例，均為本發(fā)明的常見變化范圍，在此不再一一詳述。