測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置。根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)另外設(shè)置可限制用于調(diào)整構(gòu)成于拾放裝置中的多個(gè)拾取模塊之間的間距的輪盤的間距調(diào)整范圍的限制部件，從而可以輕易地改變拾取模塊之間的間距調(diào)整范圍。
【專利說(shuō)明】測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在測(cè)試分選機(jī)中用于拾取半導(dǎo)體元件之后移動(dòng)至所需位置的拾放裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]測(cè)試分選機(jī)是一種將通過(guò)預(yù)定制造工藝制造的半導(dǎo)體元件從客戶盤(⑶STOMERTRAY)裝載(LOADING)到測(cè)試盤(TEST TRAY)之后，使運(yùn)載于測(cè)試盤上的半導(dǎo)體元件能夠被測(cè)試器(TESTER)測(cè)試(TEST)，并根據(jù)測(cè)試結(jié)果而按等級(jí)對(duì)半導(dǎo)體元件進(jìn)行分類，從而由測(cè)試盤卸載(UNLOADING)到客戶盤的裝置，其已被不少公開文獻(xiàn)所公開。
[0003]測(cè)試分選機(jī)中不僅具備以上涉及的客戶盤或測(cè)試盤，而且還具備構(gòu)成于裝載部的對(duì)準(zhǔn)器(ALIGNER)或用于存放和運(yùn)載剩余半導(dǎo)體元件的緩沖器(BUFFER)，以及本申請(qǐng)的在先申請(qǐng)技術(shù)(韓國(guó)專利申請(qǐng)10-2006-0007763號(hào)，發(fā)明名稱:日丨厶巨徑晝己彳奚El丨厶巨翅善321豆S(測(cè)試分選機(jī)及測(cè)試分選機(jī)的裝載方法))中介紹的機(jī)動(dòng)型裝載臺(tái)、構(gòu)成于卸載部的分揀臺(tái)(SORTING TABLE)等用于運(yùn)載或排列半導(dǎo)體元件的多個(gè)運(yùn)載單元或排列單元。
[0004]本發(fā)明涉及一種為了在如上所述的不同單元(客戶盤、測(cè)試盤、對(duì)準(zhǔn)器、緩沖器、機(jī)動(dòng)型裝載臺(tái)、分揀臺(tái))中的任意兩個(gè)單元之間傳送半導(dǎo)體元件而從一側(cè)的單元拾取半導(dǎo)體元件之后向另一側(cè)的單元移動(dòng)半導(dǎo)體元件的拾放裝置(PICK AND PLACE APPARATUS)。通常，如果拾放裝置構(gòu)成于裝載部則被稱為裝載器或裝載手(LOADING HAND)，而如果構(gòu)成于卸載部則有時(shí)被稱為卸載器或卸載手(UNLOADING HAND)。
[0005]通常，由于客戶盤用于運(yùn)載而存放半導(dǎo)體元件，因此為了拾取盡量多的半導(dǎo)體元件，需要使拾取的半導(dǎo)體元件之間的間距達(dá)到最小，而為了確保運(yùn)載的半導(dǎo)體元件具有測(cè)試所需的間距，使半導(dǎo)體元件在測(cè)試盤上具有比在客戶盤上更寬的間距。即，比起客戶盤上的半導(dǎo)體元件之間的間距，測(cè)試盤上的半導(dǎo)體元件之間的間距更寬。因此，在將半導(dǎo)體元件從客戶盤裝載到測(cè)試盤或者從測(cè)試盤卸載到客戶盤時(shí)有必要調(diào)整半導(dǎo)體元件之間的間距。進(jìn)而，除了在客戶盤或測(cè)試盤以外，當(dāng)在對(duì)準(zhǔn)器或緩沖器、機(jī)動(dòng)型裝載臺(tái)、分揀臺(tái)等多種運(yùn)載單元之間移動(dòng)半導(dǎo)體元件時(shí)，也有必要根據(jù)需求調(diào)整半導(dǎo)體元件之間的間距。
[0006]然而，半導(dǎo)體元件的間距調(diào)整是通過(guò)拾放裝置完成的。即，通過(guò)拾放裝置從一側(cè)運(yùn)載單元拾取半導(dǎo)體元件之后，將半導(dǎo)體元件之間的間距調(diào)整為所需間距，然后將半導(dǎo)體元件移動(dòng)至另一側(cè)運(yùn)載單元而進(jìn)行運(yùn)載。
[0007]因此，拾放裝置中設(shè)置有用于調(diào)整拾取器之間的間距的間距調(diào)整裝置。
[0008]拾放裝置中調(diào)整半導(dǎo)體元件之間的間距的方式中有凸輪(CAM)方式(參見(jiàn)韓國(guó)公開專利10-2006-0062796號(hào)，【背景技術(shù)】I)和鏈環(huán)(LINK)方式(參見(jiàn)韓國(guó)授權(quán)專利10-0628553號(hào)，【背景技術(shù)】2)。
[0009]另外，由于在待測(cè)試的半導(dǎo)體元件的大小改變時(shí)半導(dǎo)體元件之間的間距也將改變，因此拾取器之間的間距也應(yīng)該改變。[0010]因此，如果根據(jù)采用凸輪方式的【背景技術(shù)】1，則使用伺服馬達(dá)而使傾斜地形成有間距調(diào)整用輪槽的輪盤可以移動(dòng)至任意位置，從而可以任意調(diào)整拾取器之間的間距。即，【背景技術(shù)】I中是在待測(cè)試的半導(dǎo)體元件的大小改變的情況下，通過(guò)改變伺服馬達(dá)的控制信號(hào)而改變半導(dǎo)體元件之間的間距(拾取器之間的間距)。[0011]然而，如果根據(jù)【背景技術(shù)】1，則由于輪槽之間的間距要始終不變，因此輪盤的大小要在上下方向上夠長(zhǎng)，由此產(chǎn)生拾放裝置整體變大的問(wèn)題。
[0012]而且，即使在按照采用鏈環(huán)方式的【背景技術(shù)】2的情況下，也伴隨著為了改變拾取器之間的間距而需要更替間距確定環(huán)的麻煩。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]本發(fā)明的目的在于提供一種可通過(guò)利用不同于所述【背景技術(shù)】I和2的輪而調(diào)整拾取器之間的間距的基于新的技術(shù)理念的拾放裝置相關(guān)技術(shù)。
[0014]為了達(dá)到如上所述的目的，根據(jù)本發(fā)明第一形態(tài)的測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置包括:N個(gè)拾取器，用于拾取半導(dǎo)體元件，并能夠水平移動(dòng)；一個(gè)以上的導(dǎo)軌，用于引導(dǎo)所述N個(gè)拾取器的水平移動(dòng)#個(gè)結(jié)合塊，分別將所述N個(gè)拾取器可水平移動(dòng)地結(jié)合于所述一個(gè)以上的導(dǎo)軌上；間距調(diào)整裝置，用于調(diào)整所述N個(gè)拾取器之間的間距；安裝架，用于設(shè)置所述一個(gè)以上的導(dǎo)軌以及間距調(diào)整裝置，其中，N ^ 2，且所述間距調(diào)整裝置包括:驅(qū)動(dòng)輪，包括具有互不相同的直徑的多個(gè)帶卷繞部，并能夠旋轉(zhuǎn)；從動(dòng)輪，聯(lián)動(dòng)于所述驅(qū)動(dòng)輪的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)，并具有與所述驅(qū)動(dòng)輪的多個(gè)帶卷繞部對(duì)應(yīng)的多個(gè)帶卷繞部；多個(gè)帶，將所述驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪的相對(duì)應(yīng)的帶卷繞部分別作為兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)來(lái)往區(qū)間而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；以及驅(qū)動(dòng)源，使所述驅(qū)動(dòng)輪正反向旋轉(zhuǎn)，其中，將所述拾取器中屬于第一群的L個(gè)拾取器和所述拾取器中屬于第二群的M個(gè)拾取器結(jié)合于所述多個(gè)帶上，以使所述L個(gè)拾取器和所述M個(gè)拾取器隨著所述驅(qū)動(dòng)輪的正向旋轉(zhuǎn)或反向旋轉(zhuǎn)而沿著相反方向移動(dòng)，而且，I ( L<N, I ( M<N, L+M=N。
[0015]所述多個(gè)帶卷繞部的直徑比為以2為公差遞增的等差數(shù)列。
[0016]而且，為了達(dá)到如上所述的目的，根據(jù)本發(fā)明第二形態(tài)的測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置包括:N個(gè)拾取器，用于拾取半導(dǎo)體元件；一個(gè)以上的導(dǎo)軌，用于引導(dǎo)所述N個(gè)拾取器中N-1個(gè)拾取器的水平移動(dòng)；N-1個(gè)結(jié)合塊，分別將所述N-1個(gè)拾取器可水平移動(dòng)地結(jié)合于所述一個(gè)以上的導(dǎo)軌上；間距調(diào)整裝置，用于調(diào)整所述N個(gè)拾取器之間的間距；安裝架，用于設(shè)置所述一個(gè)以上的導(dǎo)軌以及間距調(diào)整裝置，其中，N ^ 2，且所述間距調(diào)整裝置包括:驅(qū)動(dòng)輪，具有一個(gè)以上的帶卷繞部，并能夠旋轉(zhuǎn)；從動(dòng)輪，聯(lián)動(dòng)于所述驅(qū)動(dòng)輪的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)，并具有與所述驅(qū)動(dòng)輪的一個(gè)以上的帶卷繞部對(duì)應(yīng)的一個(gè)以上的帶卷繞部；一個(gè)以上的帶，將所述驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪的一個(gè)以上的帶卷繞部作為旋轉(zhuǎn)來(lái)往區(qū)間而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；驅(qū)動(dòng)源，使所述驅(qū)動(dòng)輪正反向旋轉(zhuǎn)，其中，將所述拾取器中屬于第一群的L個(gè)拾取器和所述拾取器中屬于第二群的M個(gè)拾取器結(jié)合于所述一個(gè)以上的帶上，以使所述L個(gè)拾取器和所述M個(gè)拾取器隨著所述驅(qū)動(dòng)輪的正向旋轉(zhuǎn)或反向旋轉(zhuǎn)而沿著相反方向移動(dòng)，并且所述拾取器中除了屬于第一群的拾取器和屬于第二群的拾取器以外的剩余的I個(gè)拾取器被固定于所述安裝架上，而且，I ( L〈N，0 ( M〈N，L+M+1=N。
[0017]所述驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪分別包括具有互不相同的直徑的多個(gè)帶卷繞部，并分別將驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪的相對(duì)應(yīng)的帶卷繞部作為兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)來(lái)往區(qū)間而設(shè)置多個(gè)帶。[0018]所述多個(gè)帶卷繞部的直徑比為以I為公差遞增的等差數(shù)列。
[0019]根據(jù)本發(fā)明，無(wú)需使用輪盤而只要利用帶和輪即可調(diào)整拾取器之間的間距，因此不僅可以輕易地將拾取器之間的間距改變?yōu)槿我馄谕g距，而且還具有可以減小裝置大小的效果。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1a為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置的概略性立體圖。
[0021]圖1b為圖1a所示測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置的示意性側(cè)剖面圖。
[0022]圖2為圖1所示測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置的工作狀態(tài)圖。
[0023]圖3a至圖3d為示意性地表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的擴(kuò)展例I的測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置的構(gòu)成的圖。
[0024]圖4為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的擴(kuò)展例2的測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0025]圖5為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置的概略性正面圖。
[0026]圖6至圖8為示意性地表示根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置的擴(kuò)展例的圖。
[0027]符號(hào)說(shuō)明:
[0028]100、500:拾放裝置111、112、511、512:拾取器
[0029]121、122、521、522:導(dǎo)軌131、132、531:結(jié)合塊
[0030]140、540:間距調(diào)整裝置141、541:驅(qū)動(dòng)輪
[0031]141a、541a:帶卷繞部142、542:從動(dòng)輪
[0032]142a、542a:帶卷繞部143、543:同步帶
[0033]144a、144b:帶塊145:馬達(dá)
[0034]150,550:安裝架
【具體實(shí)施方式】
[0035]以下，參照【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】如上所述的根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，然而為了說(shuō)明的簡(jiǎn)潔性，盡量省略或縮減重復(fù)的說(shuō)明或?qū)Y(jié)構(gòu)的圖示。
[0036]<第一實(shí)施例>
[0037]圖1a是對(duì)根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置(以下簡(jiǎn)稱為“拾放裝置”)100的概略性立體圖。
[0038]如圖1a所示，根據(jù)第一實(shí)施例的拾放裝置100包括:兩個(gè)拾取器111、112 ;兩個(gè)導(dǎo)軌121、122 ;兩個(gè)結(jié)合塊131、132 ;間距調(diào)整裝置140 ;以及安裝架150。
[0039]兩個(gè)拾取器111、112是為了拾取半導(dǎo)體元件而配備的。這樣的兩個(gè)拾取器111、112被配備為可在水平方向上移動(dòng)。
[0040]兩個(gè)導(dǎo)軌121、122是為了引導(dǎo)兩個(gè)拾取器111、112的水平移動(dòng)而配備的。當(dāng)然，由于導(dǎo)軌的個(gè)數(shù)只要能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)構(gòu)成于拾放裝置上的拾取器的適當(dāng)引導(dǎo)即可，因此視具體實(shí)施的需要而配備一個(gè)以上就可能足夠。
[0041]兩個(gè)結(jié)合塊131、132分別將兩個(gè)拾取器111、112可水平移動(dòng)地結(jié)合于導(dǎo)軌121、122上。即，拾取器111、112將通過(guò)結(jié)合塊131、132而可水平移動(dòng)地結(jié)合于導(dǎo)軌121、122上。
[0042]間距調(diào)整裝置140用于調(diào)整兩個(gè)拾取器111、112彼此之間的間距。這種間距調(diào)整裝置140包括驅(qū)動(dòng)輪141、從動(dòng)輪142、同步帶143、帶塊(Belts Block) 144a、144b以及馬達(dá) 145。
[0043]驅(qū)動(dòng)輪141隨馬達(dá)145的工作而旋轉(zhuǎn)。這種驅(qū)動(dòng)輪141具有一個(gè)帶卷繞部141a。
[0044]從動(dòng)輪142與驅(qū)動(dòng)輪141相隔預(yù)定間距，并聯(lián)動(dòng)于驅(qū)動(dòng)輪141而旋轉(zhuǎn)。這種從動(dòng)輪142也具有對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)輪141的一個(gè)帶卷繞部141a的一個(gè)帶卷繞部142a。
[0045]同步帶143將驅(qū)動(dòng)輪141和從動(dòng)輪142的帶卷繞部141a、142a作為旋轉(zhuǎn)來(lái)往區(qū)間而旋轉(zhuǎn)。只要能夠控制拾取器111、112之間準(zhǔn)確的間距調(diào)整，這種同步帶143即可以用任何形態(tài)的帶替代。
[0046]帶塊144a、144b是為了將結(jié)合塊131、132結(jié)合于同步帶143的適當(dāng)位置而配備的。
[0047]馬達(dá)145是作為使驅(qū)動(dòng)輪141正反向旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)源而配備的。
[0048]另外，用于將第一拾取器111結(jié)合于導(dǎo)軌121、122上的第一結(jié)合塊131結(jié)合于同步帶143的上側(cè)位置，而用于將第二拾取器112結(jié)合于導(dǎo)軌121、122上的第二結(jié)合塊132則結(jié)合于同步帶143的下側(cè)位置。即，第一拾取器111和第二拾取器112分別通過(guò)第一結(jié)合塊131和第二結(jié)合塊132而結(jié)合于同步帶143上。因此，借助于驅(qū)動(dòng)輪141的正向旋轉(zhuǎn)或反向旋轉(zhuǎn)，第一拾取器111和第二拾取器112朝相反方向移動(dòng)。
[0049]作為參考，圖1b是對(duì)圖1a的拾放裝置100的示意性側(cè)剖面圖，其表示從側(cè)面觀察的各構(gòu)成要素的結(jié)合結(jié)構(gòu)。如圖1b所示，第一結(jié)合塊131和拾取器111將安裝架150置于中間，并通過(guò)沿著拾取器111的移動(dòng)方向延伸的形成于安裝架150內(nèi)的通孔150a、150b而借助于螺栓B相互結(jié)合。并且，結(jié)合于同步帶143適當(dāng)位置的帶塊144a結(jié)合于結(jié)合塊131。以下為了說(shuō)明的簡(jiǎn)潔性而省略如上所述的結(jié)合結(jié)構(gòu)。
[0050]另外，圖2表示如上所述的拾放裝置100的工作狀態(tài)。
[0051]如圖2所示，由于當(dāng)驅(qū)動(dòng)輪141正向旋轉(zhuǎn)時(shí)第一拾取器111與第二拾取器112將沿著相互遠(yuǎn)離的方向移動(dòng)，因此第一拾取器111與第二拾取器112之間的間距得到調(diào)整。當(dāng)然，如果驅(qū)動(dòng)輪141反向旋轉(zhuǎn)，則由圖2的狀態(tài)轉(zhuǎn)換為圖1的狀態(tài)。而且，在想改變第一拾取器111與第二拾取器112之間的調(diào)整間距時(shí)，只要通過(guò)控制馬達(dá)145的正反旋轉(zhuǎn)量而調(diào)整驅(qū)動(dòng)輪141的旋轉(zhuǎn)量即可輕易地改變第一拾取器111與第二拾取器112之間的調(diào)整間距。
[0052]<第一實(shí)施例的擴(kuò)展例1>
[0053]圖3a及圖3b為具有四個(gè)拾取器311?314的示例，是對(duì)根據(jù)第一實(shí)施例的擴(kuò)展例I的拾放裝置300的概略性正面圖，圖3c是對(duì)應(yīng)用于圖3a的拾放裝置300的驅(qū)動(dòng)輪341的概略性立體圖。
[0054]在如圖3a及圖3b所示的擴(kuò)展例I中，驅(qū)動(dòng)輪341上具有兩個(gè)帶卷繞部341a、341b(如圖3c所示)。并且，兩個(gè)帶卷繞部341a、341b具有不同的直徑。此時(shí)，帶卷繞部的直徑比為1:3。即，如圖3d所示，如果假設(shè)具有等間距a的第一拾取器至第四拾取器311?314以位于第二拾取器312與第三拾取器313中間的假想中心線C為基準(zhǔn)而縮短或者擴(kuò)大彼此之間的間距，則從假想中心線至第二拾取器312和第三拾取器313的距離將是a/2，而從假想中心線至第一拾取器311和第四拾取器314的距離則是3a/2。因此，只有驅(qū)動(dòng)輪341的第一帶卷繞部341a與第二帶卷繞部341b的直徑比成為1:3時(shí),才能在調(diào)整間距時(shí)使各拾取器311?314之間維持相同的間距。
[0055]在此，如果將具有相同移動(dòng)方向的拾取器311與312以及313與314綁定為群，則屬于第一群的第一拾取器311及第二拾取器312的移動(dòng)方向與屬于第二群的第三拾取器313及第四拾取器314的移動(dòng)方向相反。
[0056]當(dāng)然，從動(dòng)輪342也具有分別對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)輪所具有的兩個(gè)帶卷繞部341a、341b的兩個(gè)帶卷繞部342a、342b。
[0057]<第一實(shí)施例的擴(kuò)展例2>
[0058]圖4為具有8個(gè)拾取器411?418的示例，是對(duì)根據(jù)第一實(shí)施例的擴(kuò)展例2的拾放裝置400的概略性結(jié)構(gòu)圖。
[0059]在如圖4所示的擴(kuò)展例2中，驅(qū)動(dòng)輪441上具有四個(gè)帶卷繞部441a?441d。當(dāng)然，如果與擴(kuò)展例I類似地，以位于第四拾取器414與第五拾取器415中間的假想中心線C為基準(zhǔn)而計(jì)算各拾取器411?418之間的距離，則驅(qū)動(dòng)輪441與從動(dòng)輪442上具有的四個(gè)帶卷繞部441a?441d/442a?442d具有1:3:5:7的直徑比。
[0060]S卩，如同本發(fā)明的第一實(shí)施例擴(kuò)展的情況，如果拾取器均被設(shè)置為水平移動(dòng)，則將驅(qū)動(dòng)輪與從動(dòng)輪的帶卷繞部的直徑比構(gòu)成為以2為公差遞增的等差數(shù)列。
[0061]在此，如果考慮裝置的小型化，則對(duì)于直徑最小的帶卷繞部而言，其直徑越小越好，但是有必要考慮同步帶的曲率半徑等而確定。
[0062]<第二實(shí)施例>
[0063]圖5為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的拾放裝置500的概略性正面圖。
[0064]如圖5所示，根據(jù)第二實(shí)施例的拾放裝置500包括:兩個(gè)拾取器511、512 ;兩個(gè)導(dǎo)軌521、522 ;結(jié)合塊531、532 ;間距調(diào)整裝置540 ;以及安裝架550。
[0065]兩個(gè)拾取器511、512是為了拾取半導(dǎo)體元件而配備的。這樣的兩個(gè)拾取器511、512中的第一拾取器511被配備為可在水平方向上移動(dòng)。
[0066]兩個(gè)導(dǎo)軌521、522是為了引導(dǎo)第一拾取器511的水平移動(dòng)而配備的。
[0067]結(jié)合塊531將第一拾取器511可水平移動(dòng)地結(jié)合于導(dǎo)軌521、522上。
[0068]間距調(diào)整裝置540用于調(diào)整第一拾取器511與第二拾取器512之間的間距。這種間距調(diào)整裝置540包括驅(qū)動(dòng)輪541、從動(dòng)輪542、同步帶543、以及馬達(dá)(未圖示)。
[0069]驅(qū)動(dòng)輪541隨馬達(dá)的工作而旋轉(zhuǎn)。這種驅(qū)動(dòng)輪541具有一個(gè)帶卷繞部541a。
[0070]從動(dòng)輪542與驅(qū)動(dòng)輪541相隔預(yù)定間距，并聯(lián)動(dòng)于驅(qū)動(dòng)輪541而旋轉(zhuǎn)。這種從動(dòng)輪542也具有對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)輪541的一個(gè)帶卷繞部541a的一個(gè)帶卷繞部542a。
[0071]同步帶543將驅(qū)動(dòng)輪541和從動(dòng)輪542的帶卷繞部541a、542a作為旋轉(zhuǎn)來(lái)往區(qū)間而旋轉(zhuǎn)。
[0072]馬達(dá)使驅(qū)動(dòng)輪541正反向旋轉(zhuǎn)。
[0073]另外，用于將第一拾取器511結(jié)合于導(dǎo)軌521、522上的結(jié)合塊531結(jié)合于同步帶543的上側(cè)位置，而第二拾取器512則固定于安裝架550。
[0074]因此，當(dāng)驅(qū)動(dòng)輪541旋轉(zhuǎn)時(shí)，只有第一拾取器511沿著水平方向移動(dòng)，從而使第一拾取器511與第二拾取器512之間的間距得到調(diào)整。[0075]<第二實(shí)施例的擴(kuò)展例1>
[0076]圖6為具有3個(gè)拾取器611~613的示例，是對(duì)根據(jù)第二實(shí)施例的擴(kuò)展例I的拾放裝置600的概略性結(jié)構(gòu)圖。
[0077]在本擴(kuò)展例I中，位于第一拾取器611與第三拾取器613之間的第二拾取器612被固定，而只有第一拾取器611和第三拾取器613隨著驅(qū)動(dòng)輪641的旋轉(zhuǎn)而以第二拾取器612為基準(zhǔn)而向彼此靠近或遠(yuǎn)離的方向移動(dòng)，從而使第一拾取器611至第三拾取器613之間的間距得到調(diào)整。
[0078]<第二實(shí)施例的擴(kuò)展例2>
[0079]圖7為具有五個(gè)拾取器711~715的示例，是對(duì)根據(jù)第二實(shí)施例的擴(kuò)展例2的拾放裝置700的概略性結(jié)構(gòu)圖。
[0080]在本擴(kuò)展例2中，以位于中間的第三拾取器713為基準(zhǔn)，第一拾取器711及第二拾取器712與第四拾取器714及第五拾取器715向彼此靠近或遠(yuǎn)離的方向水平移動(dòng)，從而調(diào)整拾取器711~715之間的間距。
[0081]此時(shí)，由于相鄰的拾取器711~715之間形成間距為a的等間距，且第三拾取器713被固定，因此分別配備于驅(qū)動(dòng)輪741和從動(dòng)輪742上的具有不同直徑的帶卷繞部741a、741b/742a、742b的直徑比應(yīng)成為1:2。進(jìn)而，具有七個(gè)拾取器或九個(gè)拾取器等情況下，位于中間的拾取器被固定，此時(shí)帶卷繞部的直徑比將成為1:2:3:…之類以I為公差遞增的等差數(shù)列。
[0082]即，對(duì)于一個(gè)拾取器被固定于安裝架的第二實(shí)施例，如果具有奇數(shù)個(gè)拾取器則可能得到更好的應(yīng)用。
[0083]當(dāng)然，如圖8所示，當(dāng)具有偶數(shù)個(gè)拾取器811~818時(shí)第二實(shí)施例也可以得到很好的應(yīng)用，此時(shí)，驅(qū)動(dòng)輪841和從動(dòng)輪842的帶卷繞部的直徑比也是成為以I為公差遞增的等差數(shù)列。
[0084]另外，如果根據(jù)如上所述的第二實(shí)施例，則由于一個(gè)拾取器將被固定于安裝架，因此具有比拾取器的總數(shù)N少一個(gè)的(N-1)個(gè)結(jié)合塊。因此，只有(N-1)個(gè)拾取器結(jié)合于同步帶側(cè)。
[0085]作為參考，如果對(duì)驅(qū)動(dòng)輪的直徑比進(jìn)行多種改變，則在有些情況下各拾取器之間的間距不是等間距，在這種情況下本發(fā)明也可以得到很好的應(yīng)用。
[0086]如上所述，已通過(guò)參照附圖的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了具體說(shuō)明，然而上述實(shí)施例只是列舉本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例來(lái)說(shuō)明的，因此不能理解為本發(fā)明僅僅局限于上述實(shí)施例，而要通過(guò)權(quán)利要求書及其等價(jià)概念來(lái)理解本發(fā)明的權(quán)利范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置，其特征在于，包括: N個(gè)拾取器，用于拾取半導(dǎo)體元件，并能夠水平移動(dòng)； 一個(gè)以上的導(dǎo)軌，用于引導(dǎo)所述N個(gè)拾取器的水平移動(dòng)； N個(gè)結(jié)合塊，分別將所述N個(gè)拾取器可水平移動(dòng)地結(jié)合于所述一個(gè)以上的導(dǎo)軌上； 間距調(diào)整裝置，用于調(diào)整所述N個(gè)拾取器之間的間距； 安裝架，用于設(shè)置所述一個(gè)以上的導(dǎo)軌以及間距調(diào)整裝置， 其中，N > 2，且所述間距調(diào)整裝置包括: 驅(qū)動(dòng)輪，包括具有互不相同的直徑的多個(gè)帶卷繞部，并能夠旋轉(zhuǎn)； 從動(dòng)輪，聯(lián)動(dòng)于所述驅(qū)動(dòng)輪的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)，并具有與所述驅(qū)動(dòng)輪的多個(gè)帶卷繞部對(duì)應(yīng)的多個(gè)帶卷繞部； 多個(gè)帶，將所述驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪的相對(duì)應(yīng)的帶卷繞部分別作為兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)來(lái)往區(qū)間而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)； 驅(qū)動(dòng)源，使所述驅(qū)動(dòng)輪正反向旋轉(zhuǎn)， 其中，將所述拾取器中屬于第一群的L個(gè)拾取器和所述拾取器中屬于第二群的M個(gè)拾取器結(jié)合于所述多個(gè)帶上，以使所述L個(gè)拾取器和所述M個(gè)拾取器隨著所述驅(qū)動(dòng)輪的正向旋轉(zhuǎn)或反向旋轉(zhuǎn)而沿著相反方向移動(dòng)，而且，I ( L〈N, I≤M〈N, L+M=N。
2.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置，其特征在于，所述多個(gè)帶卷繞部的直徑比為以2為公差遞增的等差數(shù)列。
3.—種測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置，其特征在于，包括: N個(gè)拾取器，用于拾取半導(dǎo)體元件； 一個(gè)以上的導(dǎo)軌，用于引導(dǎo)所述N個(gè)拾取器中N-1個(gè)拾取器的水平移動(dòng)； N-1個(gè)結(jié)合塊，分別將所述N-1個(gè)拾取器可水平移動(dòng)地結(jié)合于所述一個(gè)以上的導(dǎo)軌； 間距調(diào)整裝置，用于調(diào)整所述N個(gè)拾取器之間的間距； 安裝架，用于設(shè)置所述一個(gè)以上的導(dǎo)軌以及間距調(diào)整裝置， 其中，N > 2，且所述間距調(diào)整裝置包括: 驅(qū)動(dòng)輪，具有一個(gè)以上的帶卷繞部，并能夠旋轉(zhuǎn)； 從動(dòng)輪，聯(lián)動(dòng)于所述驅(qū)動(dòng)輪的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)，并具有與所述驅(qū)動(dòng)輪的一個(gè)以上的帶卷繞部對(duì)應(yīng)的一個(gè)以上的帶卷繞部； 一個(gè)以上的帶，將所述驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪的一個(gè)以上的帶卷繞部作為旋轉(zhuǎn)來(lái)往區(qū)間而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)； 驅(qū)動(dòng)源，使所述驅(qū)動(dòng)輪正反向旋轉(zhuǎn)， 其中，將所述拾取器中屬于第一群的L個(gè)拾取器和所述拾取器中屬于第二群的M個(gè)拾取器結(jié)合于所述一個(gè)以上的帶上，以使所述L個(gè)拾取器和所述M個(gè)拾取器隨著所述驅(qū)動(dòng)輪的正向旋轉(zhuǎn)或反向旋轉(zhuǎn)而沿著相反方向移動(dòng)， 并且，所述拾取器中除了屬于第一群的拾取器和屬于第二群的拾取器以外的剩余的I個(gè)拾取器被固定于所述安裝架上，而且，I ( L〈N，0 ( M〈N，L+M+1=N。
4.如權(quán)利要求3所述的測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪分別包括具有互不相同的直徑的多個(gè)帶卷繞部， 并分別將驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪的相對(duì)應(yīng)的帶卷繞部作為兩側(cè)的旋轉(zhuǎn)來(lái)往區(qū)間而設(shè)置多個(gè)帶。
5.如權(quán)利要求4所述的測(cè)試分選機(jī)用拾放裝置，其特征在于，所述多個(gè)帶卷繞部的直徑比為以I為公差遞增的 等差數(shù)列。
【文檔編號(hào)】B07C5/34GK103658054SQ201310361753
【公開日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年8月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月24日
【發(fā)明者】李鎮(zhèn)福, 劉永旻 申請(qǐng)人:泰克元有限公司