1.一種金屬微型管材定向電鑄法,其特征在于:包括制備步驟:
步驟1):在基片上通過一次掩模光刻制備第一光刻膠層;
步驟2):在第一光刻膠層間隔部分電鑄制備第一微型管材圖形;
步驟3):在第一光刻膠層上進行二次掩模光刻制備第二光刻膠層;
步驟4):在第二光刻膠層間隔部分繼續電鑄制備第二微型管材圖形;
步驟5):在第二微型管材圖形上進行定向電鑄裝置制備加長微型管材。
2.根據權利要求1所述的一種金屬微型管材定向電鑄法,其特征在于:所述第一光刻膠層厚度與第二光刻膠層厚度之和大于500μm,所述第二光刻膠層厚度不大于第一光刻膠層的厚度;所述第一光刻膠層厚度與第一微型管材圖形的高度相同,所述第二光刻膠層厚度與第二微型管材圖形的高度相同。
3.根據權利要求1所述的一種金屬微型管材定向電鑄法,其特征在于:步驟1)中所述的第一光刻膠層,通過如下步驟制得:
步驟1):勻膠,通過勻膠機將負性光刻膠甩涂到基片上;
步驟2):曝光,負性光刻膠甩涂完畢后,利用熱板對負性光刻膠進行前烘熱處理,并在熱板上緩慢冷卻,最后將遮蓋有掩膜版的負性光刻膠基片進行紫外線曝光;
步驟3):顯影,對紫外線曝光后的負性光刻膠在熱板上進行后烘熱處理,然后通過超聲顯影制得光刻膠微結構,并在熱板上進行固化得到第一光刻膠層;
所述的第二光刻膠層,通過如下步驟制得:
步驟1):勻膠,通過勻膠機將負性光刻膠甩涂到第一光刻膠層上;
步驟2):曝光,負性光刻膠甩涂完畢后,利用熱板對負性光刻膠進行前烘熱處理,并在熱板上緩慢冷卻,最后將遮蓋有掩膜版的負性光刻膠基片再次進行紫外線曝光;
步驟3):顯影,對紫外線曝光后的負性光刻膠在熱板上進行后烘熱處理,然后通過超聲顯影制得光刻膠微結構,并在熱板上進行固化得到第二光刻膠層。
4.根據權利要求1所述的一種金屬微型管材定向電鑄法,其特征在于:步驟5)中所述的定向電鑄裝置,包括渡槽和電源,所述渡槽內設有金屬鍍液,所述鍍液內設有陽極,所述鍍液上方設有陰極,所述陰極上方設有步進電機,所述電源負極通過導線與陰極相連接,所述電源正極通過導線與陽極相連接。
5.根據權利要求1所述的一種金屬微型管材定向電鑄法,其特征在于:所述第一微型管材圖形和第二微型管材圖形,其截面為三角形、四邊形、圓形、異形中的一種或幾種。
6.根據權利要求1所述的一種金屬微型管材定向電鑄法,其特征在于:步驟5)中所述加長微型管材,管材壁厚為5μm~1000μm,長度為3mm~10mm,管材材料選自銅、鎳、鈦、鐵中的任意一種。
7.根據權利要求1所述的一種金屬微型管材定向電鑄法,其特征在于:步驟1)中所述基片,其材質選自304不銹鋼、45號鋼、鋁中的任意一種。
8.根據權利要求3所述的一種金屬微型管材定向電鑄法,其特征在于:所述負性光刻膠選自Su 875、AZ 10XT、AZ PLP60、AZ P4903系列光刻膠中的任意一種。
9.根據權利要求3所述的一種金屬微型管材定向電鑄法,其特征在于:
在一次掩模光刻制備光刻膠層的步驟中,步驟1)所述勻膠機的甩膠轉速為700~1000rpm、甩膠時間為30s;步驟2)中所述的前烘熱處理的條件為95~110℃、90s~200min;步驟3)中所述的后烘熱處理的條件為90~120℃、60s~40min;
在二次掩模光刻制備光刻膠層的步驟中,步驟1)所述勻膠機的甩膠轉速為1000~1100rpm、甩膠時間為30s;步驟2)中所述的前烘熱處理的條件為95~110℃、90s~90min;步驟3)中所述的后烘熱處理的條件為90~120℃、60s~30min。
10.根據權利要求4所述的一種金屬微型管材定向電鑄法,其特征在于:所述步進電機,其提拉速度為0.4μm/min~1.7μm/min;提拉時間為2014min~6823min。