1.一種真空電鍍機(jī)，其特征在于：包括有：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鍍機(jī)，其特征在于：所述電鍍自適應(yīng)電場(chǎng)電極控制組件（12）包括有：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空電鍍機(jī)，其特征在于：所述外徑連接線圈（121）和內(nèi)徑連接線圈（122）的間隙處環(huán)繞等分設(shè)置有多組微型橫向電磁導(dǎo)軌（124），多組所述微型橫向電磁導(dǎo)軌（124）的底部均滑動(dòng)連接有位置光纖傳感器滑動(dòng)塊（125），所述位置光纖傳感器滑動(dòng)塊（125）的底部安裝設(shè)置微調(diào)驅(qū)動(dòng)器（126），所述微調(diào)驅(qū)動(dòng)器（126）的側(cè)端設(shè)置陰電極接觸件（127）。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鍍機(jī)，其特征在于：所述傳動(dòng)控制組件（9）包括有：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空電鍍機(jī)，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)控制電機(jī)（91）的輸出端連接設(shè)置錐形驅(qū)動(dòng)齒輪（98），所述錐形驅(qū)動(dòng)齒輪（98）的底端和錐形齒牙邊（95）形成嚙合連接，所述內(nèi)轉(zhuǎn)環(huán)（94）的內(nèi)部安裝設(shè)置連接定位塊（99），所述連接定位塊（99）的底部緊固連接有線管連接端（97），所述線管連接端（97）的底部和電極控制線管（120）的頂部形成連接設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鍍機(jī)，其特征在于：所述真空控制組件（7）包括有：
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空電鍍機(jī)，其特征在于：所述雙級(jí)真空泵（71）和低溫吸附泵（72）架設(shè)安裝在真空電鍍罐體（2）頂部的承載架體表面上，所述雙級(jí)真空泵（71）由初級(jí)真空泵和次級(jí)真空泵組成，使得初級(jí)真空泵先將真空電鍍罐體（2）內(nèi)的氣壓降低到一定程度，次級(jí)真空泵進(jìn)一步提高真空度并維持在高精度水平，所述雙級(jí)真空泵（71）和安裝在真空電鍍罐體（2）內(nèi)壁表面上的高精度壓力傳感器形成信號(hào)連接，使得高精度壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空度的變化，并將數(shù)據(jù)反饋給控制處理器（5），控制處理器（5）根據(jù)壓力反饋信息，自動(dòng)調(diào)整雙級(jí)真空泵（71）的轉(zhuǎn)速和啟停時(shí)間的工作參數(shù)，確保真空度始終穩(wěn)定在設(shè)定的工藝要求范圍內(nèi)，所述低溫吸附泵（72）用于通過(guò)低溫表面對(duì)氣體分子的吸附作用，去除真空電鍍罐體（2）內(nèi)部的大部分雜質(zhì)氣體。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鍍機(jī)，其特征在于：所述真空電鍍罐體（2）的外壁側(cè)端連通有閉環(huán)式氣體循環(huán)管路（8），所述真空電鍍罐體（2）的外壁表面連通有循環(huán)連接閥管（6），所述閉環(huán)式氣體循環(huán)管路（8）的底端和循環(huán)連接閥管（6）的內(nèi)部側(cè)端通過(guò)連接管形成連通，所述循環(huán)連接閥管（6）的外部側(cè)端通過(guò)連接導(dǎo)送管和雙級(jí)真空泵（71）的底部輸出端連通設(shè)置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鍍機(jī)，其特征在于：所述真空電鍍罐體（2）的外壁表面上分別連通有電鍍液排送管（3）和電鍍液導(dǎo)送進(jìn)管（10），所述電鍍液導(dǎo)送進(jìn)管（10）通過(guò)內(nèi)置在真空電鍍罐體（2）內(nèi)部腔體的管路和鍍液噴頭（17）形成連通。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空電鍍機(jī)，其特征在于：所述支撐底進(jìn)入支架（1）的底部?jī)?nèi)部安裝有推動(dòng)車(chē)（4），所述推動(dòng)車(chē)（4）用于使得晶圓掛具（15）從真空電鍍罐體（2）的底部開(kāi)啟口進(jìn)入，并形成調(diào)節(jié)更換。