本技術涉及有機金屬化學氣象沉積，具體而言，涉及一種密封組件和工業加工設備。

背景技術：

1、常規的有機金屬化學氣象沉積設備的密封槽的結構通常是矩形結構或者雙燕尾結構，對于矩形結構而言，當拆卸兩個被密封件的時候，密封件容易從密封槽中脫落，固定效果不好，對于雙燕尾結構而言，針對于相同規格的密封件，由于雙燕尾結構的密封槽的槽內間隙相對于單邊燕尾結構的槽內間隙比較大，而密封件較小，密封效果也不佳，如果更換大規格的密封件，那么由于槽口的寬度是相同的，這樣就會導致安裝密封件的時候安裝困難，密封件表面容易劃傷，從而降低使用壽命。

技術實現思路

1、本實用新型旨在解決現有技術或相關技術中存在的有機金屬化學氣象沉積設備的矩形結構或者雙燕尾結構的密封槽密封效果不好的技術問題。

2、本實用新型第一方面提供了一種密封組件。

3、本實用新型第二方面提供了一種工業加工設備。

4、本實用新型第一方面技術方案提供的密封組件，包括：密封件，密封件為圓柱體，密封件的底面直徑為r1；第一被密封件，第一被密封件上設置有密封槽，密封件能夠放置在密封槽內，用于密封第一被密封件和第二被密封件；密封槽包括第一側面、第二側面和槽底面，第一側面和槽底面垂直，第二側面和槽底面所夾的角大于等于70°，且小于等于80°，密封槽的最小寬度為w1，w1與r1的比值大于等于1，且小于等于1.1，密封槽的深度為h，h與r1的比值大于等于0.6，且小于等于0.8。

5、本實用新型的單邊燕尾結構的密封槽代替常規的雙燕尾結構的密封槽，縮小了密封槽的槽內間隙，這樣密封件可以盡可能的填滿密封槽，從而增加兩個被密封件之間的密封性。相對于矩形結構的密封槽而言，當拆卸其中一個被密封件的時候，由于單燕尾槽的存在，密封件不容易脫落。可理解地，本實用新型的密封結構尤其適用于需要經常開蓋的設備，例如有機金屬化學氣象沉積設備的蓋子與本體之間的密封，常規的矩形密封槽，在開蓋過程中，密封件容易與蓋子一起脫離密封槽，從而還需要重新裝配，本實用新型設計單邊燕尾結構，在蓋蓋子的過程中，密封件能夠向斜面的內側滑動，并卡合在斜面內，這樣當開啟蓋子的過程中，由于單燕尾槽的存在，不會與蓋子一起脫離密封槽，無需反復的裝配，同時相對于雙燕尾結構的密封槽，槽內間隙沒有那么大，可以提高第一被密封件與第二被密封件的密封效果。

6、需要說明的是，對于常規的雙燕尾結構的密封槽，根據有關標準，其槽口的寬度都是略小于密封件的直徑的，這是因為，雙燕尾結構的密封槽其本身槽內空間較大，如果槽口的寬度再設計的較大，那么就會使得槽內空間更大，這樣密封件放入密封槽后，大大地降低了密封效果，因此，通常情況下，槽口的寬度都是略小于密封件的直徑，但是這樣就存在一個問題，在安裝密封件的時候，需要把密封件強行的擠壓進去，這樣就容易損壞密封件，本實用新型將雙燕尾調整為單燕尾，同時擴大了槽口的間距，這樣就克服了槽內空間大，密封效果不好的問題，同時也克服了密封件容易損壞的問題。

7、在一些技術方案中，可選地，w1與r1的比值等于1.05。

8、在該技術方案中，密封槽的最小寬度稍大于密封件的底面直徑，這樣可以確保密封件能夠順利放入密封槽的同時，在拆卸兩個被密封件的時候，密封件還不容易從密封槽中脫落。

9、在一些技術方案中，可選地，h與r1的比值大于等于0.67，且小于等于0.73。

10、在該技術方案中，密封槽的深度與密封件的底面直徑的比值大于等于0.67，且小于等于0.73，例如0.7，這樣不會因為密封槽的深度過淺，密封件從中脫落，也不會因為密封槽的深度過深，密封件完全進入到密封槽內，導致失去密封效果。

11、在一些技術方案中，可選地，第二側面和槽底面所夾的角等于75°。

12、在該技術方案中，如果第二側面和槽底面所夾的角過大，則意味著密封槽的槽內間隙比較大，這樣密封件受壓后，容易完全進入到密封槽內，導致失去密封效果。如果第二側面和槽底面所夾的角過小，則意味著密封槽的槽內間隙比較小，這樣密封件很容易從密封槽內脫落，不利于安裝。

13、在一些技術方案中，可選地，密封槽的形狀為直棱柱，直棱柱的底面為直角梯形，直角梯形的下底、高、腰長的和為m1，密封件的底面周長為m2，m1與m2的比值大于等于1，且小于等于1.11，例如1.06。

14、在該技術方案中，因為在密封槽內有一個15°的傾斜角，通過限定m1與m2的比值，這樣密封件就能夠固定在密封槽的內側斜面上，不會自然脫落。

15、在一些技術方案中，可選地，密封件包括以下之一或其組合：氟橡膠密封件、丁晴密封件、氯乙烯密封件和全氟醚密封件。

16、在該技術方案中，氟橡膠密封件、丁晴密封件、氯乙烯密封件或全氟醚密封件均具備較好的形變能力，且不容易腐蝕，密封效果好。其中，密封件可以是橡膠圈。

17、在一些技術方案中，可選地，r1大于等于3cm。

18、本實用新型第二方面提供了一種工業加工設備，包括：如本實用新型第一方面任一項技術方案的密封組件。

19、由于本實用新型的工業加工設備包括本實用新型第一方面任一項技術方案的密封組件。因此，具有第一方面任一項技術方案的密封組件的全部有益效果。

20、在一些技術方案中，可選地，工業加工設備還包括：本體；上蓋，蓋合于本體上；密封槽設于本體與上蓋接觸的面上，密封件放置在密封槽內，用于密封本體和上蓋。

21、在該技術方案中，由于上蓋需要經常打開，通過本實用新型的密封組件，在打開上蓋時，密封件不會從密封槽內脫離。

22、在一些技術方案中，可選地，密封槽的形狀為方形或多邊形。

23、在該技術方案中，當密封槽的形狀為方形或多邊形的時候，也即本體為方形或多邊形，密封件的數量為多個，其個數與密封槽的邊數相同。當然，密封槽的形狀也可以為圓形，當密封槽的形狀為圓形的時候，本體為圓形，這樣密封件通過彎折能夠形成與密封槽形狀匹配的圓形。

24、在一些技術方案中，可選地，工業加工設備包括以下之一或其組合：有機金屬化學氣象沉積設備、真空設備和壓力設備。

25、在一些技術方案中，可選地，本體的厚度為d，r1與d的比值大于等于1/4，且小于等于1/2。

26、在該技術方案中，控制本體的厚度與密封件直徑的比值，可以確保兩個被密封件之間具備較好的密封效果。

27、本實用新型的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

技術特征：

1.一種密封組件，其特征在于，包括：

2.?根據權利要求1所述的密封組件，其特征在于，

3.根據權利要求1所述的密封組件，其特征在于，

4.根據權利要求1所述的密封組件，其特征在于，所述密封件包括以下之一或其組合：氟橡膠密封件、丁晴密封件、氯乙烯密封件和全氟醚密封件。

5.根據權利要求1所述的密封組件，其特征在于，

6.一種工業加工設備，其特征在于，包括：

7.根據權利要求6所述的工業加工設備，其特征在于，還包括：

8.根據權利要求7所述的工業加工設備，其特征在于，

9.根據權利要求6所述的工業加工設備，其特征在于，所述工業加工設備包括以下之一或其組合：

10.根據權利要求7所述的工業加工設備，其特征在于，所述本體的厚度為d，所述r1與所述d的比值大于等于1/4，且小于等于1/2。

技術總結
本技術提供了密封組件和工業加工設備，涉及有機金屬化學氣象沉積技術領域，旨在解決矩形或者雙燕尾的密封槽密封效果不好的問題。本技術的密封組件包括圓柱體密封件，密封件的底面直徑為R1；第一被密封件上設置有密封槽，密封件能夠放置在密封槽內密封第一被密封件和第二被密封件；密封槽包括第一側面、第二側面和槽底面，第一側面和槽底面垂直，第二側面和槽底面所夾的角大于等于70°且小于等于80°，密封槽的最小寬度為W1，W1與R1的比值大于等于1且小于等于1.1，密封槽的深度為H，H與R1的比值大于等于0.6且小于等于0.8。本技術的單燕尾密封槽代替常規的雙燕尾密封槽，增加兩個被密封件之間的密封性。

技術研發人員：聶海鵬,張天明,陳浩
受保護的技術使用者：北京中科重儀半導體科技有限公司
技術研發日：20240903
技術公布日：2025/4/24