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一種芯片檢測裝置制造方法

文檔序號:6173407閱讀:161來源:國知局
一種芯片檢測裝置制造方法
【專利摘要】本發明提供一種芯片檢測裝置,主要包括主機、導線、控制機構、檢測機構、分析機構和顯示機構。特征是:所述主機、控制機構、檢測機構、分析機構和顯示機構由導線連接,所述檢測機構由外觀檢測裝置和性能檢測裝置夠成,所述控制機構連接在檢測機構和分析機構兩端。本發明可通過顯示機構準確無誤地觀察出芯片的外觀特征及性能,操作者能夠對芯片檢測方便準確地操作。
【專利說明】—種芯片檢測裝置

【技術領域】
[0001]本發明涉及電子檢測裝置,尤其是涉及一種芯片檢測裝置。

【背景技術】
[0002]目前,集成電路制造業飛速發展,芯片使用越來越廣泛,所以對芯片性能的測試頁越來越重要。


【發明內容】

[0003]本發明的目的是提供一種可通過顯示機構準確無誤地觀察出芯片的外觀特征及性能,操作者能夠對芯片檢測方便準確地操作的芯片檢測裝置。
[0004]本發明的技術方案是:一種芯片檢測裝置,主要包括主機、導線、控制機構、檢測機構、分析機構和顯示機構,其特征在于:所述主機、控制機構、檢測機構、分析機構和顯示機構由導線連接,所述檢測機構由外觀檢測裝所述外觀檢測裝置和性能檢測裝置為并聯連接置和性能檢測裝置夠成,所述控制機構連接在檢測機構和分析機構兩端。
[0005]進一步,所述外觀檢測裝置和性能檢測裝置為并聯連接。
[0006]本發明具有的優點和積極效果是:本發明可通過顯示機構準確無誤地觀察出芯片的外觀特征及性能,操作者能夠對芯片檢測方便準確地操作。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是本發明的結構示圖。
[0008]圖中:
[0009]1、主機2、檢測機構 201、外觀檢測機構
[0010]202、性能檢測機構3、控制機構 4、分析機構
[0011]5、顯示機構6、導線

【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖及【具體實施方式】對本發明作進一步說明。
[0013]如圖1所示,本發明提供一種芯片檢測裝置,主要包括主機1、導線6、控制機構3、檢測機構2、分析機構4和顯示機構5。所述主機1、控制機構3、檢測機構2、分析機構4和顯示機構5由導線6連接,所述檢測機構2由外觀檢測裝置201和性能檢測裝置202夠成,所述控制機構3連接在檢測機構2和分析機構4兩端。
[0014]進一步,所述外觀檢測裝置201和性能檢測裝置202為并聯連接。
[0015]本發明的工作過程:將被測芯片置于檢測機構2,通過顯示機構5觀察芯片外觀及性能特征。
[0016]本發明可通過顯示機構準確無誤地觀察出芯片的外觀特征及性能,操作者能夠對芯片檢測方便準確地操作。
[0017]以上實施方式對本發明進行了詳細說明,但所述內容僅為本發明的較佳實施例,不能被認為用于限定本發明的實施范圍。凡依本發明申請范圍所作的均等變化與改進等,均應仍歸屬于本發明的專利涵蓋范圍之內。
【權利要求】
1.一種芯片檢測裝置,主要包括主機、導線、控制機構、檢測機構、分析機構和顯示機構,其特征在于:所述主機、控制機構、檢測機構、分析機構和顯示機構由導線連接,所述檢測機構由外觀檢測裝置和性能檢測裝置夠成,所述控制機構連接在檢測機構和分析機構兩端。
2.根據權利要求1所述的一種芯片檢測裝置,其特征在于:所述外觀檢測裝置和性能檢測裝置為并聯連接。
【文檔編號】G01D21/02GK104422477SQ201310366111
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年8月21日 優先權日:2013年8月21日
【發明者】鄭洪慶 申請人:天津市尹彤電子檢測有限公司
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