技術特征：

1.一種電子束圖像角度校正方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，

5.一種電子束圖像角度校正裝置，其特征在于，所述裝置包括：

6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，

7.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，

8.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，

9.一種電子設備，其特征在于，包括：

10.一種存儲有計算機指令的非瞬時計算機可讀存儲介質，其特征在于，所述計算機指令用于使計算機執行根據權利要求1-4中任一項所述的方法。

技術總結
本公開提供了一種電子束圖像角度校正方法、裝置、電子設備及存儲介質，其中，所述方法包括：將待測樣品放置于運動平臺上；獲取所述待測樣品在當前位置的第一電子束圖像；確定運動坐標系，所述運動坐標系的X軸和Y軸分別與電子束圖像的相鄰兩條矩形邊平行，原點與電子束圖像的中心重合；將所述待測樣品沿所述運動坐標系的X軸方向移動預設距離，以獲取所述待測樣品的第二電子束圖像；將所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像進行傅里葉變換，以確定所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像之間的偏移量；根據所述偏移量，確定所述第一電子束圖像和所述第二電子束圖像之間的角度偏差值；根據所述角度偏差值，對所述電子束圖像進行角度校正。

技術研發人員：陸晨豪,沈思聰,普晨旭
受保護的技術使用者：寧波伯銳鍶電子束科技有限公司
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28