本申請(qǐng)涉及檢測(cè)設(shè)備，具體而言涉及一種膜厚量測(cè)設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、目前，膜厚量測(cè)設(shè)備的外壁上通常設(shè)置有開口，用以供待量測(cè)膜厚的晶圓進(jìn)出。

2、由于該開口長期處于打開狀態(tài)，因此，設(shè)備的外部的顆粒物容易通過該開口進(jìn)入膜厚量測(cè)設(shè)備內(nèi)部，致使膜厚量測(cè)設(shè)備內(nèi)部產(chǎn)生顆粒污染，進(jìn)而，可能會(huì)導(dǎo)致進(jìn)入膜厚量測(cè)設(shè)備內(nèi)部的晶圓表面形成顆粒，嚴(yán)重時(shí)甚至?xí)斐删A報(bào)廢。

3、因此需要進(jìn)行改進(jìn)，以至少部分地解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、在
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
部分中引入了一系列簡(jiǎn)化形式的概念，這將在具體實(shí)施方式部分中進(jìn)一步詳細(xì)說明。本實(shí)用新型的實(shí)用新型內(nèi)容部分并不意味著要試圖限定出所要求保護(hù)的技術(shù)方案的關(guān)鍵特征和必要技術(shù)特征，更不意味著試圖確定所要求保護(hù)的技術(shù)方案的保護(hù)范圍。

2、為了至少部分地解決上述問題，根據(jù)本實(shí)用新型的第一方面，提供了一種一種膜厚量測(cè)設(shè)備，其包括：

3、設(shè)備主體，所述設(shè)備主體包括外壁和膜厚量測(cè)器件，所述外壁圍合形成容納空間，且所述外壁上設(shè)置有與所述容納空間連通的開口，所述膜厚量測(cè)器件位于所述容納空間中；

4、接近傳感器，設(shè)置于所述外壁遠(yuǎn)離所述容納空間的一側(cè)，用于對(duì)接近所述開口的物體進(jìn)行檢測(cè)；

5、蓋板，所述蓋板的面積大于或等于所述開口的面積；

6、致動(dòng)器件，與所述蓋板連接，用于帶動(dòng)所述蓋板在第一位置和第二位置之間切換，所述蓋板處于所述第一位置時(shí)打開所述開口，所述蓋板處于所述第二位置時(shí)封閉所述開口；

7、控制器，與所述接近傳感器和所述致動(dòng)器件連接，用于根據(jù)所述接近傳感器的檢測(cè)結(jié)果，控制所述致動(dòng)器件帶動(dòng)所述蓋板在所述第一位置和所述第二位置之間切換。

8、示例性地，所述接近傳感器包括紅外發(fā)射器和紅外接收器，所述紅外發(fā)射器和所述紅外接收器分別設(shè)置于所述開口的兩側(cè)。

9、示例性地，所述接近傳感器為電容式接近傳感器、電感式接近傳感器或超聲波接近傳感器。

10、示例性地，所述蓋板設(shè)置于所述外壁朝向所述容納空間的一側(cè)、所述外壁遠(yuǎn)離所述容納空間的一側(cè)或所述外壁內(nèi)部。

11、示例性地，所述致動(dòng)器件包括供排氣組件和氣缸，所述氣缸與所述供排氣組件和所述蓋板連接。

12、示例性地，所述致動(dòng)器件包括電機(jī)和齒輪齒條傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述電機(jī)通過所述齒輪齒條傳動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述蓋板連接。

13、示例性地，所述致動(dòng)器件包括電機(jī)和滾珠絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述電機(jī)通過所述滾珠絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述蓋板連接。

14、示例性地，所述致動(dòng)器件包括直線電機(jī)。

15、示例性地，所述控制器為單片機(jī)。

16、根據(jù)本實(shí)用新型的膜厚量測(cè)設(shè)備，可通過接近傳感器檢測(cè)待量測(cè)膜厚的物體是否通過開口進(jìn)出設(shè)備主體的容納空間，進(jìn)而，可以在待量測(cè)膜厚的物體(例如晶圓)需要通過開口進(jìn)入容納空間進(jìn)行量測(cè)時(shí)，控制致動(dòng)器件帶動(dòng)蓋板移動(dòng)至第一位置，以打開開口供待量測(cè)膜厚的物體進(jìn)入；在待量測(cè)膜厚的物體通過開口離開容納空間后，也即膜厚量測(cè)設(shè)備不進(jìn)行膜厚量測(cè)時(shí)，控制致動(dòng)器件帶動(dòng)蓋板移動(dòng)至第二位置，以封閉開口，避免設(shè)備主體外部的顆粒物進(jìn)入容納空間中。從而，本實(shí)用新型的膜厚量測(cè)設(shè)備可以顯著降低設(shè)備主體內(nèi)的顆粒污染，避免進(jìn)入設(shè)備主體內(nèi)部的待量測(cè)膜厚的物體的表面形成顆粒。

技術(shù)特征：

1.一種膜厚量測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜厚量測(cè)設(shè)備，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜厚量測(cè)設(shè)備，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜厚量測(cè)設(shè)備，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜厚量測(cè)設(shè)備，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜厚量測(cè)設(shè)備，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜厚量測(cè)設(shè)備，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜厚量測(cè)設(shè)備，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜厚量測(cè)設(shè)備，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開了一種膜厚量測(cè)設(shè)備，其包括：設(shè)備主體，設(shè)備主體包括外壁和膜厚量測(cè)器件，外壁圍合形成容納空間，且外壁上設(shè)置有與容納空間連通的開口，膜厚量測(cè)器件位于容納空間中；接近傳感器，設(shè)置于外壁遠(yuǎn)離容納空間的一側(cè)，用于對(duì)接近開口的物體進(jìn)行檢測(cè)；蓋板，蓋板的面積大于或等于開口的面積；致動(dòng)器件，與蓋板連接，用于帶動(dòng)蓋板在第一位置和第二位置之間切換，蓋板處于第一位置時(shí)打開開口，蓋板處于第二位置時(shí)封閉開口；控制器，與接近傳感器和致動(dòng)器件連接，用于根據(jù)接近傳感器的檢測(cè)結(jié)果，控制致動(dòng)器件帶動(dòng)蓋板在第一位置和第二位置之間切換。根據(jù)本申請(qǐng)的膜厚量測(cè)設(shè)備可以顯著降低設(shè)備主體內(nèi)的顆粒污染。

技術(shù)研發(fā)人員：王朝輝,徐康,闞保國,陳伏宏
受保護(hù)的技術(shù)使用者：榮芯半導(dǎo)體（淮安）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240725
技術(shù)公布日：2025/4/28