專(zhuān)利名稱(chēng)：固體電解電容器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及固體電解電容器及其制造方法。
背景技術(shù)：
伴隨電氣電子設(shè)備的小型薄型化，固體電解電容器需要小型大容量化，進(jìn)一步地，從高頻帶的電氣特性和能量損失等觀點(diǎn)出發(fā)，需要降低等效串聯(lián)電阻(以下，有時(shí)會(huì)表示為 ESR)。為了在層疊型固體電解電容器中實(shí)現(xiàn)低ESR，以往以來(lái)，提出有如下技術(shù)，S卩，將在閥作用(valve action)金屬的表面形成了氧化被膜的陽(yáng)極體分為陽(yáng)極部(陽(yáng)極引線(xiàn)部)和陰極部(陰極層形成部)，通過(guò)導(dǎo)電性膏或焊接僅僅對(duì)陽(yáng)極部進(jìn)行接合從而來(lái)制作層疊體，之后，在陰極部中形成導(dǎo)電性高分子的層(固體電解質(zhì)層)并分別進(jìn)行連接(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。專(zhuān)利文獻(xiàn)I JP專(zhuān)利第4458470號(hào)公報(bào)但是，在上述這樣的現(xiàn)有層疊型固體電解電容器中，未必可以說(shuō)充分響應(yīng)了低ESR化的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種等效串聯(lián)電阻(ESR)更小的固體電解電容器及其制造方法。在本發(fā)明的一個(gè)宗旨中，提供一種固體電解電容器，該固體電解電容器包括層疊體，其層疊多個(gè)包含閥作用金屬基體和電介質(zhì)被膜在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片，其中，上述閥作用金屬基體具有陰極層形成部，上述電介質(zhì)被膜至少在陰極層形成部中覆蓋閥作用金屬基體的表面，并且，包含在至少一個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中的閥作用金屬基體還具有陽(yáng)極引線(xiàn)部，相鄰的閥作用金屬基體相互被接合；固體電解質(zhì)層的連續(xù)層，其在閥作用金屬基體的陰極層形成部中，填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間的間隙，并且覆蓋層疊體的外表面；以及導(dǎo)電性基體，其配置在填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間的間隙的固體電解質(zhì)層內(nèi)。在專(zhuān)利文獻(xiàn)I (參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I的圖I)所述的層疊型固體電解電容器中，由于電介質(zhì)被覆閥作用金屬片(專(zhuān)利文獻(xiàn)I中所述的陽(yáng)極體)間的間隙僅僅由固體電解質(zhì)層(專(zhuān)利文獻(xiàn)I中所述的導(dǎo)電性高分子)來(lái)填充，所以該間隙中的導(dǎo)電性不是充分高，而ESR變高。相對(duì)于此，根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器，由于在填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間的間隙的固體電解質(zhì)層內(nèi)配置導(dǎo)電性基體，所以能夠在釋放蓄積在陰極部中的電荷時(shí)將導(dǎo)電性基體作為媒介。導(dǎo)電性基體比固體電解質(zhì)層的導(dǎo)電性高，由此，能夠減小陰極部中的電阻，于是，能夠提供ESR更小的固體電解電容器。進(jìn)一步地，本發(fā)明的固體電解電容器在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間沒(méi)有配置比較厚的陰極引出層，而是配置了厚度較薄的導(dǎo)電性基體，所以能夠提供一種不妨礙薄型化且每單位體積的靜電電容大的固體電解電容器。
在本發(fā)明的固體電解電容器的一個(gè)方式中，導(dǎo)電性基體可以具有至少一個(gè)開(kāi)口部，經(jīng)由該開(kāi)口部，相鄰的閥作用金屬基體在閥作用金屬基體的陰極層形成部中被相互接合，閥作用金屬基體的接合部與固體電解質(zhì)層以及導(dǎo)電性基體電絕緣。上述方式，特別地，適于二端子型的固體電解電容器。二端子型的固體電解電容器在一個(gè)端部側(cè)設(shè)置陽(yáng)極，在與該端部相反側(cè)的另一個(gè)端部側(cè)設(shè)置陰極，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，由于電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的層疊體僅僅在閥作用金屬基體的陽(yáng)極引線(xiàn)部中被接合，所以陰極層形成部側(cè)具有在固體電解電容器的厚度方向上易于擴(kuò)展的傾向。相對(duì)于此，根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器的上述方式，由于閥作用金屬基體在陰極層形成部中被相互接合，所以能夠有效防止陰極層形成部側(cè)的固體電解電容器的厚度方向的擴(kuò)展，能夠使每單位體積的靜電電容更大。
在本發(fā)明的固體電解電容器的一個(gè)方式中，可以對(duì)導(dǎo)電性基體實(shí)施用于防止氧化的表面處理。通過(guò)對(duì)相當(dāng)于陰極部的導(dǎo)電性基體預(yù)先實(shí)施表面處理，能夠有效防止在其表面形成氧化被膜(例如，在用戶(hù)使用的期間)，于是，能夠減少并期望防止在陰極部中形成由于氧化被膜而造成的靜電電容。于是，根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器的上述方式，能夠緩和并期望防止固體電解電容器的靜電電容的降低。在本發(fā)明的固體電解電容器的一個(gè)方式中，導(dǎo)電性基體可以具有多個(gè)開(kāi)口部，在該多個(gè)開(kāi)口部中填充固體電解質(zhì)層。如果固體電解質(zhì)層針對(duì)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的被覆性(或接觸性)低(例如，微觀觀察的情況下，電介質(zhì)被覆閥作用金屬片和固體電解質(zhì)層沒(méi)有充分接觸，在它們之間存在空氣等的情況)，則固體電解電容器的靜電電容降低。相對(duì)于此，根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器的上述方式，由于在導(dǎo)電性基體中存在多個(gè)開(kāi)口部，所以在由固體電解質(zhì)層填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間的間隙時(shí)，易于在該間隙中浸入固體電解質(zhì)層的原料溶液，能夠提高固體電解質(zhì)層針對(duì)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的被覆性。于是，根據(jù)本發(fā)明的固體電解電容器的上述方式，能夠使固體電解電容器的靜電電容更大。在本發(fā)明的另一個(gè)宗旨中，提供一種固體電解電容器的制造方法(以下，稱(chēng)為第一制造方法)，該固體電解電容器的制造方法包括一面層疊多個(gè)包含閥作用金屬基體和電介質(zhì)被膜在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片一面在相鄰的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間插入導(dǎo)電性基體的工序，其中，上述閥作用金屬基體具有陰極層形成部，上述電介質(zhì)被膜至少在陰極層形成部中覆蓋閥作用金屬基體的表面，并且，包含在至少一個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中的閥作用金屬基體還具有陽(yáng)極引線(xiàn)部；對(duì)在層疊的多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中相鄰的閥作用金屬基體彼此進(jìn)行接合，得到電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的層疊體的工序；以及在閥作用金屬基體的陰極層形成部中，填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間的間隙(更詳細(xì)來(lái)說(shuō)，電介質(zhì)被覆閥作用金屬片和導(dǎo)電性基體之間的間隙)，并且覆蓋層疊體的外表面，從而作為連續(xù)層來(lái)形成固體電解質(zhì)層的工序。在本發(fā)明的另一個(gè)宗旨中，提供一種固體電解電容器的制造方法(以下，稱(chēng)為第二制造方法)，該固體電解電容器的制造方法包括層疊多個(gè)包含閥作用金屬基體和電介質(zhì)被膜在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的工序，其中，上述閥作用金屬基體具有陰極層形成部，上述電介質(zhì)被膜至少在陰極層形成部中覆蓋閥作用金屬基體的表面，并且，包含在至少一個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中的閥作用金屬基體還具有陽(yáng)極引線(xiàn)部；對(duì)在層疊的多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中相鄰的閥作用金屬基體彼此進(jìn)行接合，得到電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的層疊體的工序；在導(dǎo)電性基體的表面形成固體電解質(zhì)層的工序；以及在層疊體的相鄰的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間插入在表面形成了固體電解質(zhì)層的導(dǎo)電性基體的工序。在本發(fā)明的另一個(gè)宗旨中，提供一種固體電解電容器的制造方法(以下，稱(chēng)為第三制造方法)，該固體電解電容器的制造方法包括在導(dǎo)電性基體的表面形成固體電解質(zhì)層的工序；一面層疊多個(gè)包含閥作用金屬基體和電介質(zhì)被膜在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片，一面在相鄰的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間插入在表面形成了固體電解質(zhì)層的導(dǎo)電性基體的工序，其中，上述閥作用金屬基體具有陽(yáng)極引線(xiàn)部以及陰極層形成部，上述電介質(zhì)被膜至少在陰極層形成部中覆蓋閥作用金屬基體的表面；以及在閥作用金屬基體的陽(yáng)極引線(xiàn)部中對(duì)在層疊的多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中相鄰的閥作用金屬基體彼此進(jìn)行接合，得到電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的層疊體的工序。根據(jù)這些本發(fā)明的固體電解電容器的第一 第三制造方法，能夠制造本發(fā)明的上述固體電解電容器，起到與此相同的效果。 在本發(fā)明的固體電解電容器的第一以及第二制造方法中，導(dǎo)電性基體可以具有至少一個(gè)開(kāi)口部，經(jīng)由該開(kāi)口部，在閥作用金屬基體的陰極層形成部中相互接合相鄰的閥作用金屬基體，閥作用金屬基體的接合部與固體電解質(zhì)層以及導(dǎo)電性基體電絕緣。本發(fā)明的固體電解電容器的任一個(gè)制造方法都可以進(jìn)一步包括預(yù)先對(duì)導(dǎo)電性基體實(shí)施用于防止氧化的表面處理。此外，本發(fā)明的固體電解電容器的任一個(gè)制造方法都可以是，導(dǎo)電性基體具有多個(gè)開(kāi)口部，在該多個(gè)開(kāi)口部中填充固體電解質(zhì)層，從而形成固體電解質(zhì)層。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)在對(duì)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間的間隙進(jìn)行填充的固體電解質(zhì)層內(nèi)配置導(dǎo)電性基體，從而提供等效串聯(lián)電阻(ESR)更小的固體電解電容器。此外，根據(jù)本發(fā)明，也還提供相關(guān)的固體電解電容器的制造方法。


圖I是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的圖，(a)是固體電解電容器的概略剖面圖，(b)是由(a)的A-A線(xiàn)來(lái)假設(shè)切斷固體電解電容器后觀察到的概略頂視圖。圖2A是說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的第一制造方法的工序圖。圖2B是說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的第一制造方法的工序圖。圖2C是說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的第一制造方法的圖，(a)是由圖2B的B-B線(xiàn)來(lái)假設(shè)切斷層疊體后觀察到的概略頂視圖，(b)是(a)的改變例。圖2D是說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的第一制造方法的工序圖。圖3A是說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的第二制造方法的工序圖。圖3B是說(shuō)明本發(fā) 明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的第二制造方法的工序圖。圖3C是說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的第二制造方法的工序圖，(a)是導(dǎo)電性基體的概略剖面圖，(b)是導(dǎo)電性基體的概略頂視圖。圖3D是說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的第二制造方法的工序圖，(a)是層疊體的概略剖面圖，(b)是由(a)的C-C線(xiàn)來(lái)假設(shè)切斷層疊體后觀察到的概略頂視圖。圖4A是說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的第三制造方法的工序圖。圖4B是說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的第三制造方法的工序圖。圖4C是說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的第三制造方法的工序圖。圖5是本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器的概略剖面圖。符號(hào)說(shuō)明I、I’閥作用金屬基體Ia陽(yáng)極引線(xiàn)部Ib陰極層形成部Ic分隔部3電介質(zhì)被膜4、4’電介質(zhì)被覆閥作用金屬片5層疊體7固體電解質(zhì)層9導(dǎo)電性基體10 開(kāi)口部11陰極引出層Ila含碳層Ilb含銀層13絕緣部15陽(yáng)極端子17陰極端子19絕緣性樹(shù)脂20、22固體電解電容器X、Y、Y1、Y2、Y’ 接合部Z插入方向
具體實(shí)施例方式(實(shí)施方式I)
針對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器及其制造方法，以下參照附圖詳細(xì)說(shuō)明。如圖1(a)所示，本實(shí)施方式的固體電解電容器20概略包括如下部分而形成，SP 層疊多個(gè)包含閥作用金屬基體I和電介質(zhì)被膜3在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4 (在圖示的例子中，雖然示出6片電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4，但是不限定于此)，并在接合部X、Y中相互接合相鄰的閥作用金屬基體I而成的層疊體5 ;固體電解質(zhì)層7 ;和導(dǎo)電性基體9。更詳細(xì)來(lái)說(shuō)，閥作用金屬基體I具有陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia和陰極層形成部Ib (其中，本發(fā)明的固體電解電容器不限定于此，包含在至少一個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4中的閥作用金屬基體I除了陰極層形成部Ib外，還可以進(jìn)一步具有陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia)。閥作用金屬基體I至少在陰極層形成部Ib中由電介質(zhì)被膜3來(lái)覆蓋閥作用金屬基體I的表面。在本實(shí)施方式中，陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia和陰極層形成部Ib由形成在位于它們之間的分隔部Ic中的絕緣部13來(lái)區(qū)分。固體電解質(zhì)層7是在閥作用金屬基體I的陰極層形成部Ib中填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間的間隙、并且覆蓋層疊體5的外表面的連續(xù)層。導(dǎo)電性基體9配置在填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間的間隙的固體電解質(zhì)層7內(nèi)(換言之，由固體電解質(zhì)層7來(lái)填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和導(dǎo)電性基體9之間的間隙)。除此以外，本實(shí)施方式的固體電解電容器20還進(jìn)一步具備覆蓋固體電解質(zhì)層7的外表面的陰極引出層11 (含碳層Ila以及含銀層lib)、陽(yáng)極端子15、陰極端子17、絕緣性樹(shù)脂19，但是這些不是本發(fā)明所必需的。在本實(shí)施方式中，所有的閥作用金屬基體I都能夠假設(shè)被分為陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia和陰極層形成部lb、以及位于它們之間的分隔部lc。這些閥作用金屬基體I由接合部X、Y進(jìn)行接合。閥作用金屬基體I可以由電介質(zhì)被膜3來(lái)覆蓋該陰極層形成部Ib中的表面(包含接合部Y的表面在內(nèi))，陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia以及分隔部Ic中的表面可以由電介質(zhì)被膜3來(lái)覆蓋其全部或一部分，也可以不覆蓋。在層疊體5中，經(jīng)由接合部X、Y來(lái)對(duì)閥作用金屬基體I彼此進(jìn)行電接合。在圖示的例子中，一個(gè)接合部X存在于閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia中，另一個(gè)接合部Y存在于閥作用金屬基體的陰極層形成部Ib中。接合部X、Y的位置以及數(shù)目不特別限定，可以按照制造的固體電解電容器所要求的必要條件來(lái)適當(dāng)設(shè)定，優(yōu)選至少一個(gè)接合部存在于閥作用金屬基體的陰極層形成部Ib中。接合部X、Y的A-A線(xiàn)剖面可以具有圓形、橢圓形、矩形、正方形等任意的適當(dāng)形狀。導(dǎo)電性基體9在閥作用金屬基體I的陰極層形成部Ib中設(shè)置在填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間的間隙的固體電解質(zhì)層7內(nèi)。閥作用金屬基體I在陰極層形成部Ib中由電介質(zhì)被膜3覆蓋，由此，閥作用金屬基體I與固體電解質(zhì)層7以及導(dǎo)電性基體9電絕緣。特別，在接合部Y的周?chē)鐖D1(b)所示，由電介質(zhì)被膜3來(lái)覆蓋接合部Y的表面，由此，閥作用金屬基體I的接合部Y與固體電解質(zhì)層7以及導(dǎo)電性基體9電絕緣(在圖示的例子中，接合部Y的A-A線(xiàn)剖面具有圓形，并且導(dǎo)電性基體9具有處于與其同心的同心軸上的圓形的開(kāi)口部，但是并不限定于此)。由于本實(shí)施方式的固體電解電容器20在填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間的間隙的固體電解質(zhì)層7內(nèi)配置有導(dǎo)電性基體9，所以能夠?qū)崿F(xiàn)低ESR。進(jìn)一步地，本實(shí)施方式的固體電解電容器20在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間的電荷釋放媒介中，不使用比較厚的陰極引出層，而是使用厚度較薄的導(dǎo)電性基體，所以能夠有效利用這部分的空間，每單位體積的靜電電容大。下面，作為本實(shí)施方式中的固體電解電容器的制造方法，說(shuō)明三種不同的制造方法。在第一以及第二制造方法中，說(shuō)明圖I所示的固體電解電容器20的制造方法，在第三制造方法中，說(shuō)明圖I所示的固體電解電容器20的改變例(不具有接合部Y的情況)的制造方法。(第一制造方法)參照?qǐng)D2A 圖2D來(lái)說(shuō)明固體電解電容器的第一制造方法。在這些圖中，針對(duì)固體電解電容器20,對(duì)與上述相同的部件附加相同的符號(hào)。首先，準(zhǔn)備包含閥作用金屬基體I、和至少在陰極層形成部Ib中覆蓋閥作用金屬基體I的表面的電介質(zhì)被膜3在內(nèi)的電介質(zhì)被膜閥作用金屬片4。具體來(lái)說(shuō)，電介質(zhì)被覆閥 作用金屬片4按照以下方式來(lái)制作。閥作用金屬基體I實(shí)質(zhì)上由表現(xiàn)所謂閥作用的金屬材料構(gòu)成。相關(guān)的金屬材料例如從由鋁、鉭、鈮、鈦、鋯、以及這些2種以上的合金構(gòu)成的組中進(jìn)行選擇，優(yōu)選是鋁或包含鋁在內(nèi)的合金。閥作用金屬基體I具有片狀(或平板狀、例如箔等)的形式。閥作用金屬基體I的厚度沒(méi)有特別限定，例如是50 200 μ m,優(yōu)選是90 130 μ m。閥作用金屬基體I的寬度以及長(zhǎng)度可以按照制造的固體電解電容器的尺寸來(lái)適當(dāng)選擇。特別地，閥作用金屬基體I優(yōu)選在其表面具有凹凸，例如更優(yōu)選其表層部是多孔質(zhì)。這是因?yàn)椋y作用金屬基體I由于在固體電解電容器中作為陽(yáng)極來(lái)發(fā)揮作用，所以即使是相同的占有面積，閥作用金屬基體I的表面積即實(shí)效面積越大，電容器的靜電電容就越大。在表面具有凹凸或者表層部是多孔質(zhì)的閥作用金屬基體I能夠通過(guò)預(yù)先附加粗糙面化處理來(lái)得到。粗糙面化處理一般通過(guò)蝕刻處理來(lái)實(shí)施。蝕刻處理的條件例如蝕刻液、蝕刻的溫度以及時(shí)間等能夠按照使用的閥作用金屬基體的金屬材料、所希望的電氣特性(包含實(shí)效面積在內(nèi))等來(lái)適當(dāng)選擇。例如，可以在蝕刻液中使用鹽酸等。在相關(guān)的閥作用金屬基體I的表面形成電介質(zhì)被膜3。電介質(zhì)被膜3可以是通過(guò)將閥作用金屬基體I的至少陰極層形成部Ib浸潰在電解液中來(lái)附加陽(yáng)極氧化處理(也稱(chēng)為化學(xué)合成處理，以下相同)而形成的氧化被膜。陽(yáng)極氧化處理的條件例如電解液、陽(yáng)極氧化的溫度、時(shí)間、電流密度、以及電壓等可以按照使用的閥作用金屬基體的金屬材料、所希望的電氣特性等來(lái)適當(dāng)選擇。例如，在電解液中可以使用包含從由硼酸、磷酸、己二酸、它們的鈉鹽、以及銨鹽構(gòu)成的組中選擇出的至少一種物質(zhì)在內(nèi)的水溶液等。如以上，制作包含閥作用金屬基體I、覆蓋閥作用金屬基體I的至少陰極層形成部Ib的表面的電介質(zhì)被膜3在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4。電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4的厚度、寬度、以及長(zhǎng)度與使用的閥作用金屬基體I的厚度、寬度、以及長(zhǎng)度大致相等(通常，電介質(zhì)被膜的厚度是納米級(jí)，是與閥作用金屬基體I的尺寸相比可以忽視的程度)，可以按照制造的固體電解電容器的尺寸來(lái)適當(dāng)選擇。另外，關(guān)于電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4，在通過(guò)蝕刻處理對(duì)閥作用金屬基體進(jìn)行粗糙面化后，通過(guò)陽(yáng)極氧化來(lái)形成電介質(zhì)被膜(氧化被膜)后得到的部件即是面向固體電解電容器在市場(chǎng)上銷(xiāo)售的部件。作為電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4，可以切斷這樣的市場(chǎng)銷(xiāo)售的部件來(lái)使用。
對(duì)于如上述制作的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4，按照覆蓋閥作用金屬基體I的分隔部Ic (可以由電介質(zhì)被膜覆蓋，也可以不覆蓋)的方式來(lái)形成絕緣部13，從而來(lái)區(qū)分陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia和陰極層形成部lb。絕緣部13能夠由絕緣性樹(shù)脂來(lái)形成。作為具體例子，列舉聚苯砜(PPS :polyphenylesulfone)、聚醚諷(PES :polyethersulfone)、氰酸酯(cyanate ester)樹(shù)脂、氟樹(shù)脂(四氟乙烯(tetrafluoroethylene)、四氟乙烯-全氟代燒基乙烯基醚共聚物(tetrafluoroethylene-perfluoro alkyl vinyl ether copolymer)等)、低分子量聚酸亞胺、以及它們的衍生物及前驅(qū)體等，特別列舉低分子量聚酰亞胺、聚醚砜、氟樹(shù)脂、以及它們的前驅(qū)體。另外，只要閥作用金屬基體的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia在與固體電解質(zhì)層7以及陰極引出層11電絕緣的狀態(tài)下從外部露出，絕緣部13就可以按照任意的適當(dāng)定時(shí)來(lái)形成，并可以分為幾個(gè)階段來(lái)形成。并且，如圖2A所示，一面在相鄰的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間插入導(dǎo)電性基體9，一面依次層疊多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4。導(dǎo)電性基體9在閥作用金屬基體I的陰極層形成部Ib的位置插入電介質(zhì)金屬片4間即可，可以與絕緣部13接觸，也可以不與絕緣部13接觸。導(dǎo)電性基體9在與接合部Y對(duì)應(yīng)的位置具有(接合用的)開(kāi)口部。導(dǎo)電性基體9只要具有比固體電解質(zhì)層高的導(dǎo)電性即可，例如實(shí)質(zhì)上由金屬材料或包含金屬材料在內(nèi)的復(fù)合材料構(gòu)成。導(dǎo)電性基體9的形態(tài)不僅僅是一片的片狀，也可以是網(wǎng)眼狀、織布狀、或非織布狀。在金屬材料中能夠使用具有比固體電解質(zhì)層高的導(dǎo)電性的任意的適當(dāng)金屬。不會(huì)在電容器的使用環(huán)境下在表面實(shí)質(zhì)上形成顯示出介電性的氧化被膜的金屬(例如金等)能夠維持原樣來(lái)使用。會(huì)在電容器的使用環(huán)境下在表面形成顯示出介電性的氧化被膜的金屬(例如鋁等)如后述，優(yōu)選預(yù)先實(shí)施防止在表面形成顯示出介電性的氧化被膜的處理后使用。預(yù)先實(shí)施了相關(guān)處理的導(dǎo)電性基體可以是包含金屬材料在內(nèi)的復(fù)合材料，例如由碳覆蓋表面的金屬箔，優(yōu)選是由碳覆蓋表面的鋁箔。導(dǎo)電性基體9的形態(tài)是片狀(或者平板狀，例如箔等)，至少在與接合部Y對(duì)應(yīng)的位置具有(接合用的)開(kāi)口部。導(dǎo)電性基體9可以與接合部Y不同地，另外還具有多個(gè)(非接合用的)開(kāi)口部(對(duì)此后述)。導(dǎo)電性基體9的厚度是實(shí)現(xiàn)低ESR的適當(dāng)厚度即可，例如是5 110 μ m,優(yōu)選是10 30 μ m。導(dǎo)電性基體9的寬度以及長(zhǎng)度可以按照制造的固體電解電容器的尺寸來(lái)適當(dāng)選擇，雖然可以比陰極形成部Ib小，但是優(yōu)選具有與其相同或相近的外形。導(dǎo)電性基體9優(yōu)選預(yù)先實(shí)施用于防止氧化的表面處理。作為相關(guān)的表面處理，例如列舉在導(dǎo)電性基體9的表面涂敷碳膏并使其干燥后形成含碳層、以及在導(dǎo)電性基體9的表面通過(guò)強(qiáng)化水晶(whisker)來(lái)使碳固結(jié)。根據(jù)越是沒(méi)有進(jìn)行粗糙面化處理，就越是得到較高的電氣傳導(dǎo)性的觀點(diǎn)，導(dǎo)電性基體9優(yōu)選與閥作用金屬基體I不同。層疊的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間的間隙，更詳細(xì)來(lái)說(shuō)是電介質(zhì)被膜3和導(dǎo)電性基體9間的間隙是在后述的工序中形成固體電解質(zhì)層7的導(dǎo)電性高分子的原料溶液能夠浸入的大小即可。
在通過(guò)上述蝕刻處理等對(duì)閥作用金屬基體I的表面進(jìn)行粗糙面化(凹凸形成)(優(yōu)選表層部是多孔質(zhì))的情況下，只要僅僅交替重合電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和導(dǎo)電性基體9，就自然形成間隙。此外，如圖2A所示，在絕緣部13位于多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間的情況下，通過(guò)絕緣部13在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間自然形成間隙。進(jìn)一步地，在該情況下，能夠利用絕緣部13相互固定多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4 (在后面工序中在形成接合部之前臨時(shí)固定)。更詳細(xì)來(lái)說(shuō)，能夠分別在多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4的每一個(gè)上另行涂敷絕緣性樹(shù)脂，使它們重合，并通過(guò)加熱等來(lái)固化或硬化絕緣性樹(shù)脂，從而形成絕緣部13，并通過(guò)該絕緣部13來(lái)相互固定多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4。此外，如果按照包含導(dǎo)電性基體9的前端的方式來(lái)涂敷絕緣性樹(shù)脂，并形成絕緣部13，則能夠通過(guò)絕緣部13在該前端部固定導(dǎo)電性基體9。在本實(shí)施方式中，層疊的多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4實(shí)質(zhì)上具有大致相等的 長(zhǎng)度，這些閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部la、陰極層形成部lb、以及分隔部Ic分別具有大致相等的長(zhǎng)度。下面，如圖2B所示，由接合部X、Y來(lái)接合在層疊的多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4中相鄰的閥作用金屬基體I彼此，得到電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4的層疊體5。更詳細(xì)來(lái)說(shuō)，對(duì)層疊的多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4附加任意的適當(dāng)處理，使規(guī)定區(qū)域的閥作用金屬基體I熔融，由此，由來(lái)于相鄰的閥作用金屬基體I的熔融金屬彼此直接接觸，通過(guò)表面張力等一體化，之后，在熔融金屬一體化的狀態(tài)下固化，由此，形成接合部X、Y。在該規(guī)定區(qū)域中，雖然電介質(zhì)被膜3可以預(yù)先開(kāi)口(即，閥作用金屬基體I露出)，但是并不限定于此。雖然用于形成上述接合部的處理只要能使閥作用金屬基體熔融就不特別限定，例如可以是加熱等，但是，優(yōu)選通過(guò)能夠?qū)ο噜彽拈y作用金屬基體I彼此進(jìn)行電氣并且機(jī)械接合的焊接來(lái)進(jìn)行。焊接例如能夠單獨(dú)實(shí)施電阻焊接、激光焊接、超聲波焊接等的任意一種，或者兼用它們中的2種以上來(lái)實(shí)施。在本實(shí)施方式中，形成2個(gè)接合部Χ、Υ。在形成2個(gè)以上的接合部的情況下，可以適當(dāng)配置其形成部位，但是優(yōu)選在這些部位中采用大致均等的力來(lái)接合閥作用金屬基體1，從而來(lái)配置。接合部X形成在閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia中。在陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia中形成接合部的情況下，如圖2C(a)以及(b)所示，優(yōu)選在將陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia的寬度進(jìn)行二等分的線(xiàn)(圖中由點(diǎn)劃線(xiàn)表示)上或其附近形成接合部X，這是因?yàn)槟軌驅(qū)⒔o電介質(zhì)被覆閥作用金屬片整體的應(yīng)力均等化，并能夠制作在電氣且機(jī)械方面更穩(wěn)定的固體電解電容器。具體來(lái)說(shuō)，該接合部X的面積雖然取決于陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia和陰極層形成部Ib之間的面積比，但是陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia的面積優(yōu)選為O. I %以上，更優(yōu)選為1%以上。接合部X的面積如果是陽(yáng)極弓丨線(xiàn)部Ia的面積的O. 1%以上，則能夠得到必要且充分的機(jī)械接合強(qiáng)度和電氣傳導(dǎo)性(導(dǎo)通)。在陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia中形成2個(gè)以上的接合部的情況下，這些接合部的各個(gè)面積為，陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia的面積優(yōu)選為O. I %以上，更優(yōu)選為1%以上。另一方面，接合部Y形成在閥作用金屬基體I的陰極層形成部Ib中。在陰極層形成部Ib中形成接合部Y的情況下，例如如圖2C(a)所示，可以在對(duì)陰極層形成部Ib的寬度進(jìn)行二等分的線(xiàn)(圖中由點(diǎn)劃線(xiàn)表示)上或其附近形成接合部Y，相關(guān)的接合部的配置適于通過(guò)電阻焊接來(lái)形成接合部的情況。在本實(shí)施方式中，在多個(gè)接合部X、Y中利用大致均等的力對(duì)閥作用金屬基體I進(jìn)行接合，其中，如圖2B以及圖2C所示，接合部Y相對(duì)陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia從陰極層形成部Ib的長(zhǎng)度方向中央部向遠(yuǎn)端側(cè)偏移而配置。或者，作為本實(shí)施方式的改變例，例如，如圖2C(b)所示，可以將一對(duì)接合部Yl以及Y2形成在與陰極層形成部Ib的中心C大致呈點(diǎn)對(duì)稱(chēng)的位置，相關(guān)的接合部的配置適于通過(guò)激光焊接來(lái)形成接合部的情況。這些配置任一個(gè)都能夠?qū)?duì)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片整體的應(yīng)力均等化，能夠制作在電氣和機(jī)械方面更穩(wěn)定的固體電解電容器，并且，能夠防止等效串聯(lián)電阻(ESR)的增大，因此優(yōu)選。在陰極層形成部Ib中形成接 合部的情況下，與在相關(guān)部分未形成接合部的情況相t匕，損失與接合部相當(dāng)?shù)牟糠值撵o電電容。特別是，如果與通過(guò)蝕刻還對(duì)接合部進(jìn)行粗糙面化從而增大實(shí)效面積的情況相比較，由于通過(guò)形成接合部從而不出現(xiàn)凹凸(多孔質(zhì)部分消除)，所以即使是相同的接合面積也會(huì)損失更多的靜電電容。于是，接合部的面積更優(yōu)選是一面確保電連接一面使其極力小。具體來(lái)說(shuō)，該接合部Y的面積優(yōu)選是陰極層形成部Ib的面積的I %以上，更優(yōu)選是5 %以上，以及優(yōu)選是30%以下，更優(yōu)選是20%以下。如果接合部Y的面積是陰極層形成部Ib的面積的1%以上，則能夠在電氣且機(jī)械方面穩(wěn)定地對(duì)相鄰的閥作用金屬基體I彼此進(jìn)行接合，于是，能夠在確保電連接的同時(shí)，避免在后面的工序中在形成作為陰極層的固體電解質(zhì)層時(shí)接合部分離的情況出現(xiàn)。另一方面，如果接合部Y的面積是陰極層形成部Ib的面積的30%以下，則不會(huì)過(guò)度損失固體電解電容器的靜電電容，于是，可以不必為了補(bǔ)償靜電電容的損失部分而增加電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4的層疊片數(shù)。在陰極層形成部Ib中形成2個(gè)以上的接合部(例如，圖2C(b)所示的接合部Yl以及Y2)的情況下，這些接合部的每一個(gè)的面積優(yōu)選是陰極層形成部Ib的面積的I %以上，更優(yōu)選是5%以上，以及這些接合部的總計(jì)面積優(yōu)選是陰極層形成部Ib的面積的30%以下，更優(yōu)選是20%以下。關(guān)于接合部Y的位置、數(shù)目以及大小的上述說(shuō)明，作為關(guān)于與接合部Y對(duì)應(yīng)設(shè)置的導(dǎo)電性基體9的開(kāi)口部的說(shuō)明，原封不動(dòng)是適合的。導(dǎo)電性基體9的開(kāi)口部的形狀按照接合部Y的形狀來(lái)決定，可以具有圓形、橢圓形、矩形、正方形等任意的適當(dāng)形狀。接合后，在由電介質(zhì)被膜3來(lái)覆蓋閥作用金屬基體I的接合部的表面的情況下，雖然由此閥作用金屬基體I的接合部與固體電解質(zhì)層7 (這是在后面的工序中形成的)以及導(dǎo)電性基體9電絕緣，但是在閥作用金屬基體I在接合部的表面露出的情況下，另外實(shí)施用于使該接合部與固體電解質(zhì)層7以及導(dǎo)電性基體9電絕緣的操作。例如，接合后，有時(shí)閥作用金屬基體I在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4的側(cè)面和層疊體5的兩主面(即上表面以及下表面)、以及電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間的間隙露出。特別地，由于在閥作用金屬基體I的陰極層形成部Ib中，如果露出的閥作用金屬基體I和固體電解質(zhì)層7及/或?qū)щ娦曰w9相接觸，則固體電解電容器有可能短路，所以?xún)?yōu)選在層疊體5的形成后至少對(duì)陰極層形成部Ib附加陽(yáng)極氧化處理，以便由電介質(zhì)被膜覆蓋露出的閥作用金屬基體I的陰極層形成部lb，使露出的閥作用金屬基體I的陰極層形成部Ib與固體電解質(zhì)層7以及導(dǎo)電性基體9絕緣。相關(guān)的追加的陽(yáng)極氧化處理的條件可以與上述陽(yáng)極氧化處理的條件相同。如以上，對(duì)在層疊的多個(gè)上述電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4中相鄰的閥作用金屬基體I彼此進(jìn)行接合后得到層疊體5。
下面，如圖2D所示，在閥作用金屬基體I的陰極層形成部Ib中，填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間的間隙，并且覆蓋層疊體5的外表面，從而作為連續(xù)層來(lái)形成固體電解質(zhì)層7。閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia沒(méi)有通過(guò)固體電解質(zhì)層7填充以及覆蓋，而是就這么露出而保留下來(lái)。在保持閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia側(cè)而將閥作用金屬基體I吊起的狀態(tài)下，將由電介質(zhì)被膜3覆蓋的陰極層形成部Ib與導(dǎo)電性基體9 一起(此時(shí)導(dǎo)電性基體9在垂直方向上與接合部Y相互聯(lián)系并停止，并且，在導(dǎo)電性基體9在其前端部由絕緣部13固定的情況下是通過(guò)絕緣部13，由此，照原樣保持在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間)浸潰到導(dǎo)電性高分子的原料溶液中，直到例如絕緣部13跟前為止，在陰極層形成部Ib中，在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間的間隙(更詳細(xì)來(lái)說(shuō)，電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和導(dǎo)電性基體9之間的間隙)以及層疊體5的外表面產(chǎn)生導(dǎo)電性高分子的連續(xù)層，由此能夠形成相關(guān)的固體電解質(zhì)層7。另外，在微觀觀察的情況下，雖然不可避免會(huì)存在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間的間隙沒(méi)有由固體電解質(zhì)層7完全填充的部分、和沒(méi)有覆蓋層疊體5的外表面的部分，但是 只要固體電解電容器的電氣以及機(jī)械特性處于能容許的級(jí)別，即使在固體電解質(zhì)層7中存在這樣的部分也沒(méi)有問(wèn)題。相對(duì)于此，在導(dǎo)電性基體9在與接合部Y對(duì)應(yīng)的部位以外具有多個(gè)(非接合用的)開(kāi)口部時(shí)，能夠提高固體電解質(zhì)層7針對(duì)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4的被覆性(或接觸性)。這是由于，如果使用相關(guān)的導(dǎo)電性基體9，則導(dǎo)電性高分子的原料溶液易于浸入電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4的間隙，從而能夠充分對(duì)該間隙提供固體電解質(zhì)層7的原料溶液。作為具有多個(gè)開(kāi)口部導(dǎo)電性基體9，例如能夠使用金屬網(wǎng)眼片、金屬纖維、在碳纖維表面涂上金屬后得到構(gòu)件等。作為形成固體電解質(zhì)層7的導(dǎo)電性高分子，例如列舉包含由具有噻吩骨架的化合物、具有多環(huán)狀硫化物骨架的化合物、具有吡咯骨架的化合物、具有呋喃骨架的化合物、具有苯胺骨架的化合物等示出的構(gòu)造作為重復(fù)單位的物質(zhì)等，但是并不限定于此。在導(dǎo)電性高分子的原料溶液中，可以使用任意的適當(dāng)溶液。例如，可以使用包含單體的溶液、包含聚合氧化劑以及按照需要包含另外使用的摻雜劑的溶液這2種，可以按照需要依次重復(fù)地將由電介質(zhì)被膜3覆蓋的陰極層形成部Ib浸潰在這些溶液中。但是，本發(fā)明并不限定于此，例如，在使用單體、聚合氧化劑的情況下，可以使用包含摻雜劑在內(nèi)的一種溶液，并將由電介質(zhì)被膜3覆蓋的陰極層形成部Ib浸潰在其中。之后，如圖I所示，形成覆蓋固體電解質(zhì)層7的外表面的陰極引出層11。一般，按照覆蓋固體電解質(zhì)層7的外表面的方式，涂敷碳膏并使碳膏干燥后形成含碳層11a，然后，按照覆蓋含碳層Ila的外表面的方式，涂敷銀膏并使銀膏干燥后形成含銀層11b，由此可以形成陰極引出層11。其結(jié)果，閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia在通過(guò)絕緣部13與固體電解質(zhì)層7以及陰極引出層11電絕緣的狀態(tài)下，從固體電解質(zhì)層7以及陰極引出層11的外部露出。下面，將閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia與陽(yáng)極端子15連接，另一方面，將陰極引出層11與陰極端子17連接。能夠在陽(yáng)極端子15以及陰極端子17中使用例如引線(xiàn)框(lead frame)等。在露出這些陽(yáng)極端子15以及陰極端子17中的一部分的狀態(tài)下，由環(huán)氧樹(shù)脂等絕緣性樹(shù) 脂19密封。由以上，得到圖I所示的固體電解電容器20。根據(jù)相關(guān)的固體電解電容器的第一制造方法，能夠相對(duì)層疊體5，一次將固體電解質(zhì)層7作為連續(xù)層填充或者覆蓋。(第二制造方法)針對(duì)固體電解電容器的第二制造方法，參照?qǐng)D3A 3D進(jìn)行說(shuō)明。在這些圖中，針對(duì)固體電解電容器20，對(duì)與上述相同的部件附加相同的符號(hào)。以下，以與上述第一制造方法不同的點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，特別地，只要沒(méi)有預(yù)先說(shuō)明，與第一制造方法相同的說(shuō)明就是適合的。首先，與第一制造方法相同，準(zhǔn)備包含閥作用金屬基體I、和至少在陰極層形成部Ib中覆蓋閥作用金屬基體I的表面的電介質(zhì)被膜3在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4。對(duì)于該電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4，按照覆覆蓋閥作用金屬基體I的分隔部Ic (可以由電介質(zhì)被膜覆蓋，也可以不覆蓋)的方式來(lái)形成絕緣部13，從而區(qū)分陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia和陰極層形成部Ib。并且，如圖3A所示，層疊多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4。本制造方法在層疊時(shí)在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間未插入導(dǎo)電性基體9，在這一點(diǎn)上，本制造方法與第一制造方法不同。下面，如圖3B所示，由接合部X、Y對(duì)在層疊的多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4中相鄰的閥作用金屬基體I彼此進(jìn)行接合，得到電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4的層疊體5。接合后，在閥作用金屬基體I的接合部的表面由電介質(zhì)被膜3覆蓋的情況下，由此，閥作用金屬基體I的接合部與固體電解質(zhì)層7以及導(dǎo)電性基體9 (這些在后面的工序中形成并配置)電絕緣，但是，在閥作用金屬基體I在接合部的表面露出的情況下，實(shí)施用于使該接合部與固體電解質(zhì)層7以及導(dǎo)電性基體9電絕緣的操作。該接合以及絕緣操作能夠與第一制造方法中的接合相同地來(lái)實(shí)施。另外，如圖3C(a)所示，在導(dǎo)電性基體9的表面形成固體電解質(zhì)層7。使用的導(dǎo)電性基體9，例如如圖3C(b)所示，在與接合部Y對(duì)應(yīng)的位置具有槽狀的開(kāi)口部10。該槽狀的開(kāi)口部10的開(kāi)口方向(或在圖中由開(kāi)口部10的引出線(xiàn)前端的箭頭表示的切口端的位置)按照后述的插入方向Z來(lái)決定。將導(dǎo)電性基體9的整體浸潰到導(dǎo)電性高分子的原料溶液中，并在導(dǎo)電性基體9的外表面生成導(dǎo)電性高分子的連續(xù)層，由此能夠形成相關(guān)的固體電解質(zhì)層7。并且，如圖3D (a)所示，在層疊體5中相鄰的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間，插入在表面形成了固體電解質(zhì)層7的導(dǎo)電性基體9。在相對(duì)圖3D(a)所示的剖面呈水平的方向上，具體來(lái)說(shuō)，在圖3D (b)所示的導(dǎo)電性基體9的槽狀的開(kāi)口部10中，插入接合部Y，從而按照插入方向Z的方向來(lái)插入導(dǎo)電性基體9。另外，插入方向不限于此，槽狀的開(kāi)口部10的開(kāi)口方向可以適當(dāng)變更，并且，插入方向也可以適當(dāng)變更，例如可以在導(dǎo)電性基體9的插入過(guò)程中使其旋轉(zhuǎn)。除此以外，在陰極層形成部Ib中，作為連續(xù)層來(lái)形成對(duì)層疊的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和導(dǎo)電性基體9之間的間隙以及層疊體5的外表面進(jìn)行覆蓋的固體電解質(zhì)層7。在保持閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia側(cè)而將閥作用金屬基體I吊起的狀態(tài)下，將由電介質(zhì)被膜3覆蓋的陰極層形成部Ib與導(dǎo)電性基體9以及在其表面預(yù)先形成的固體電解質(zhì)層7—起(此時(shí)導(dǎo)電性基體9以及在其表面預(yù)先形成的固體電解質(zhì)層7在垂直方向上與接合部Y相互聯(lián)系并停止，由此，就這樣保持在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間)浸潰到導(dǎo)電性高分子的原料溶液中，直到例如絕緣部13跟前為止，在陰極層形成部Ib中，在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和導(dǎo)電性基體9之間的間隙以及層疊體5的外表面生成導(dǎo)電性高分子的連續(xù)層，由此能夠形成相關(guān)的固體電解質(zhì)層7。電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和導(dǎo)電性基體9之間的間隙中的固體電解質(zhì)層7的全部或一部分在參照?qǐng)D3C說(shuō)明的前面的工序中預(yù)先形成在導(dǎo)電性基體9的表面由此，固體電解質(zhì)層7在閥作用金屬基體I的陰極層形成部Ib中成為填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和導(dǎo)電性基體9之間的間隙、并且覆蓋層疊體5的外表面的連續(xù)層。閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia沒(méi)有通過(guò)固體電解質(zhì)層7填充以及覆蓋，而是按照露出的原樣保留下來(lái)。之后，與第一制造方法相同，形成覆蓋固體電解質(zhì)層7的外表面的陰極引出層11，然后，將閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia與陽(yáng)極端子15連接，另一方面，將陰極引出層11與陰極端子17連接，由環(huán)氧樹(shù)脂等絕緣性樹(shù)脂19密封。由以上，得到圖I所示的固體電解電容器20。根據(jù)相關(guān)的固體電解電容器的第二制造方法，能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)高電容化和低ESR化。(第三制造方法)針對(duì)固體電解電容器的第三制造方法，參照?qǐng)D4A 4C進(jìn)行說(shuō)明。在這些圖中，針對(duì)固體電解電容器20，對(duì)與上述相同的部件附加相同的符號(hào)。以下，以與第一制造方法不同的點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，特別地，只要沒(méi)有預(yù)先說(shuō)明，與第一制造方法相同的說(shuō)明就是適合的。在該第三制造方法中，說(shuō)明圖I所示的固體電解電容器20的改變例，即與固體電解電容器20僅在不具有接合部Y這一點(diǎn)上不同的固體電解電容器的制造方法。首先，與第一制造方法相同，如圖4A所示，準(zhǔn)備包含閥作用金屬基體I、和至少在陰極層形成部Ib中覆蓋閥作用金屬基體I的表面的電介質(zhì)被膜3在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4。對(duì)于該電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4，按照覆蓋閥作用金屬基體I的分隔部Ic (可以由電介質(zhì)被膜覆蓋，也可以不覆蓋)的方式來(lái)形成絕緣部13，從而區(qū)分陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia和陰極層形成部lb。另外，如同圖4A所示，在導(dǎo)電性基體9的表面形成固體電解質(zhì)層7。使用的導(dǎo)電性基體9，在與接合部Y對(duì)應(yīng)的位置不具有開(kāi)口部，在這一點(diǎn)上與第一制造方法不同。與第二制造方法相同，將導(dǎo)電性基體9的整體浸潰到導(dǎo)電性高分子的原料溶液中，并在導(dǎo)電性基體9的外表面生成導(dǎo)電性高分子的連續(xù)層，由此能夠形成相關(guān)的固體電解質(zhì)層7。并且，如圖4B所示，一面依次層疊多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4，一面在相鄰的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間，插入在表面形成了固體電解質(zhì)層7的導(dǎo)電性基體9 (例如，如圖4A中箭頭所示，重復(fù)在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4之上放置在表面形成了固體電解質(zhì)層7的導(dǎo)電性基體9的操作)。除此以外，與第二制造方法相同，在陰極層形成部Ib中，作為連續(xù)層來(lái)形成對(duì)層疊的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和導(dǎo)電性基體9之間的間隙以及層疊體5的外表面進(jìn)行覆蓋的固體電解質(zhì)層7。在保持閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia側(cè)而將閥作用金屬基體I吊起的狀態(tài)下，將由電介質(zhì)被膜3覆蓋的陰極層形成部Ib與導(dǎo)電性基體9以及在其表面預(yù)先形成的固體電解質(zhì)層7—起(此時(shí)導(dǎo)電性基體9以及在其表面形成的固體電解質(zhì)層7在垂直方向上與接合部Y相互關(guān)系并停止，并且，在導(dǎo)電性基體9在其前端部由絕緣部13固定的情況下是通過(guò)絕緣部13，由此，就這樣保持在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4間)浸潰到導(dǎo)電性高分子的原料溶液中，直到 例如絕緣部13跟前為止，在陰極層形成部Ib中，在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和導(dǎo)電性基體9之間的間隙以及層疊體5的外表面生成導(dǎo)電性高分子的連續(xù)層，由此能夠形成相關(guān)的固體電解質(zhì)層7。電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和導(dǎo)電性基體9之間的間隙中的固體電解質(zhì)層7的全部或一部分在參照?qǐng)D4A說(shuō)明的前面的工序中預(yù)先形成在導(dǎo)電性基體9的表面。由此，固體電解質(zhì)層7在閥作用金屬基體I的陰極層形成部Ib中成為填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和導(dǎo)電性基體9之間的間隙、并且覆蓋層疊體5的外表面的連續(xù)層。閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia沒(méi)有通過(guò)固體電解質(zhì)層7填充以及覆蓋，而是按照露出的原樣保留下來(lái)。下面，如圖4C所示，由陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia中的接合部X對(duì)在層疊的多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4中相鄰的閥作用金屬基體I彼此進(jìn)行接合，得到電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4的層疊體5。該接合能夠與第一制造方法中的接合相同地來(lái)實(shí)施。之后，與第一制造方法相同，形成覆蓋固體電解質(zhì)層7的外表面的陰極引出層11，然后，將閥作用金屬基體I的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia與陽(yáng)極端子15連接，另一方面，將陰極引出層11與陰極端子17連接，由環(huán)氧樹(shù)脂等絕緣性樹(shù)脂19密封。由以上，得到圖I所示的固體電解電容器20的改變例(不具有接合部Y)。根據(jù)相關(guān)的固體電解電容器的第三制造方法，能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)高電容化和低ESR化。(實(shí)施方式2)針對(duì)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式中的固體電解電容器及其制造方法，以下參照附圖詳細(xì)說(shuō)明。在圖5中，對(duì)與實(shí)施方式I中說(shuō)明相同的部件附加相同的符號(hào)，以下，以與實(shí)施方式I不同的點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，特別地，只要沒(méi)有預(yù)先說(shuō)明，與實(shí)施方式I相同的說(shuō)明就是適合的。如圖5所示，本實(shí)施方式的固體電解電容器22概略包括如下部分而形成，即層疊多個(gè)包含閥作用金屬基體I和電介質(zhì)被膜3在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4以及包含閥作用金屬基體I’和電介質(zhì)被膜3在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4’(在圖示的例子中，雖然示出總計(jì)7片電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4以及4’，但是不限定于此)，并由接合部Y’相互接合相鄰的閥作用金屬基體I而成的層疊體5 ;固體電解質(zhì)層7 ;和導(dǎo)電性基體9。在本實(shí)施方式中，在多個(gè)閥作用金屬基體I以及I’(進(jìn)而是電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4以及4’)之中，只有一個(gè)閥作用金屬基體I比較長(zhǎng)，并具有陽(yáng)極引線(xiàn)部la、陰極層形成部Ib以及它們之間的分隔部lc。該陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia沒(méi)有被固體電解質(zhì)層7覆蓋，而是在通過(guò)絕緣部13而與固體電解質(zhì)層7以及陰極引出層11電絕緣的狀態(tài)下露出。剩余的閥作用金屬基體I’具有實(shí)質(zhì)上大致相等的長(zhǎng)度，其整體形成陰極層形成部，除了配置在固體電解質(zhì)層7內(nèi)這一點(diǎn)外，與實(shí)施方式I中的陰極層形成部Ib相同的說(shuō)明是適合的。具有陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia的長(zhǎng)的閥作用金屬基體I至少在陰極層形成部Ib中由電介質(zhì)被膜3覆蓋其表面，從而構(gòu)成電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4。剩余的短的閥作用金屬基體I’由電介質(zhì)被膜3覆蓋其整個(gè)表面，從而構(gòu)成電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4’。電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4夾在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4’之間(更詳細(xì)來(lái)說(shuō)，配置在層疊體5的中央)(在圖示的例子中，I片長(zhǎng)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4在其上下由各3片短的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4’相夾)，但是本實(shí)施方式不限定于此。另外，具有陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia的長(zhǎng)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4配置在層疊體5的中央，從而能夠?qū)⒔o電介質(zhì)被覆閥作用金屬片整體的應(yīng)力均等化，接合性會(huì)穩(wěn)定。接合部Y’與實(shí)施方式I中的接合部Y相同地得到。其中，在本實(shí)施方式中，接合部由于只有接合部Y’這一個(gè)，所以，由于如果在將閥作用金屬基體I的陰極層形成部Ib的寬度進(jìn)行二等分的線(xiàn)上或其附近、并且在陰極層形成部Ib的長(zhǎng)度方向中央部形成接合部Y’，則接合性在電氣且機(jī)械方面會(huì)穩(wěn)定，所以?xún)?yōu)選。相關(guān)的固體電解電容器22除以下2點(diǎn)以外，能夠與針對(duì)實(shí)施方式I所述的上述第 一以及第二制造方法相同地來(lái)進(jìn)行制造，其中，該2點(diǎn)是制作一個(gè)長(zhǎng)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4和剩余的短的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4’，并將它們適當(dāng)層疊后由接合部Y’進(jìn)行接合這一點(diǎn)；以及通過(guò)固體電解質(zhì)層7來(lái)填充并覆蓋接合的層疊體，進(jìn)一步地，在形成覆蓋固體電解質(zhì)層7的外表面的陰極引出層11后，按照一個(gè)長(zhǎng)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia在隔著絕緣部13與固體電解質(zhì)層7以及陰極引出層11電絕緣的狀態(tài)下向外部露出的方式，形成絕緣部13，并沿著絕緣部13使陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia彎曲這一點(diǎn)。本實(shí)施方式的固體電解電容器22起到與實(shí)施方式I的固體電解電容器相同的效果。除此以外，在本實(shí)施方式的固體電解電容器22中，在多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4以及4’之中，僅僅在一個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片4中設(shè)置陽(yáng)極引線(xiàn)部la。陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia對(duì)靜電電容的形成沒(méi)有幫助。即，根據(jù)本實(shí)施方式，由于能夠使對(duì)靜電電容的形成沒(méi)有幫助的陽(yáng)極引線(xiàn)部Ia所占的區(qū)域比實(shí)施方式I的固體電解電容器小，所以能夠制造每單位體積的靜電電容更大的固體電解電容器。(實(shí)施例)根據(jù)例示本發(fā)明的固體電解電容器的制造方法的目的，以下示出幾個(gè)實(shí)施例，但是本發(fā)明不限定于此。(實(shí)施例I)本實(shí)施例通過(guò)參照?qǐng)D2A 2D來(lái)說(shuō)明的上述第一制造方法來(lái)制作實(shí)施方式I中的圖I所示的固體電解電容器20。作為電介質(zhì)被覆閥作用金屬片，準(zhǔn)備6片在兩主面(上表面以及下表面)形成了氧化被膜的鋁(在氧化被膜形成前通過(guò)蝕刻處理進(jìn)行粗糙面化)的箔片。這些電介質(zhì)被覆閥作用金屬片分別具有長(zhǎng)度12mm、寬度3. 5mm以及厚度100 μ m。另外，這些電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的側(cè)面沒(méi)有被氧化被膜覆蓋。針對(duì)這些電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的每一個(gè)，在其兩主面上以距一端為6. 4mm的位置作為中心的長(zhǎng)度O. SmmX寬度3. 5mm的區(qū)域(分隔部)中涂敷聚酰亞胺樹(shù)脂(宇部興產(chǎn)株式會(huì)社制)，之后，在180°C下干燥I小時(shí)使聚酰亞胺樹(shù)脂硬化。聚酰亞胺樹(shù)脂成為絕緣部。從沒(méi)有被聚酰亞胺樹(shù)脂覆蓋的一端開(kāi)始到6_位置為止的區(qū)域(長(zhǎng)度6_X寬度3. 5mm)是陰極層形成部。
另外，作為導(dǎo)電性基體，準(zhǔn)備5片長(zhǎng)度7mm、寬度3. 7mm、以及厚度30 μ m的鋁箔。一面層疊準(zhǔn)備的6片電介質(zhì)被覆閥作用金屬片，一面在6片電介質(zhì)被覆閥作用金屬片之間一片一片地插入導(dǎo)電性基體。此時(shí)，使電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的一端(陰極層形成部側(cè)的端部)相互一致，使導(dǎo)電性基體的另一端在電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的分隔部稍稍重疊，并且，使對(duì)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片以及導(dǎo)電性基體的每一個(gè)的寬度進(jìn)行二等分的線(xiàn)完全重疊，按照上述方式交替累積這些電介質(zhì)被覆閥作用金屬片以及導(dǎo)電性基體。
從層疊體的上表面觀察，按照通過(guò)對(duì)層疊體的寬度進(jìn)行二等分的線(xiàn)上的方式，在距上述一端為2mm以及9. 4mm的位置通過(guò)電阻焊接來(lái)接合。在電阻焊接中，能夠使用直徑Imm的圓形的電極。參照?qǐng)D1，前者的位置中的接合與接合部Y對(duì)應(yīng)，后者的位置中的接合與接合部X對(duì)應(yīng)。這些接合部的A-A線(xiàn)剖面的面積是O. 5mm2。下面，對(duì)該層疊體附加陽(yáng)極氧化處理。具體來(lái)說(shuō)，將構(gòu)成層疊體的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片之中由電介質(zhì)被膜覆蓋的陰極層形成部(在插入了導(dǎo)電性基體的狀態(tài)下照原樣保持)浸潰到65°C的9質(zhì)量％己二酸銨水溶液中，施加10分鐘3. 5V的電壓，之后，進(jìn)行水洗干燥。由此，電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的側(cè)面以及接合部的鋁露出部由氧化被膜覆蓋，在陰極層形成部中，鋁(閥作用金屬基體)的整個(gè)表面由氧化被膜確實(shí)地進(jìn)行覆蓋。然后，將該層疊體的陰極層形成部(長(zhǎng)度6mm以及寬度3. 5mm的區(qū)域)浸潰到包含3，4_乙烯二氧噻吩的異丙醇溶液(溶液I)中，之后，拿出來(lái)進(jìn)行放置(不進(jìn)行干燥)。下面，同樣地，浸潰到包含過(guò)硫酸銨的水溶液(溶液2)中，之后，拿出來(lái)進(jìn)行干燥。由此，對(duì)
3,4-乙烯二氧噻吩進(jìn)行氧化聚合，形成由聚乙烯二氧噻吩構(gòu)成的固體電解質(zhì)層。將從浸潰到溶液I中開(kāi)始到浸潰到溶液2中并進(jìn)行干燥的操作重復(fù)20次。用50°C的溫水將得到的層疊體洗凈后，在100°C下進(jìn)行干燥。由此，作為填充層疊體的陰極層形成部的間隙、并覆蓋層疊體的外表面的連續(xù)層而形成由聚乙烯二氧噻吩構(gòu)成的固體電解質(zhì)層。之后，按照覆蓋固體電解質(zhì)層7的外表面的方式涂敷碳膏并使其干燥，從而形成含碳層11a，然后，按照覆蓋含碳層Ila的外表面的方式涂敷銀膏并使其干燥，從而形成含銀層11b，由此，形成陰極引出層11。將陽(yáng)極引線(xiàn)框(陽(yáng)極端子)與層疊體的閥作用金屬基體的陽(yáng)極引線(xiàn)部連接，另一方面，將陰極引線(xiàn)框(陰極端子)與陰極引出層的表面連接，然后，按照露出這些陽(yáng)極引線(xiàn)框以及陰極引線(xiàn)框中的至少一部分的方式由環(huán)氧樹(shù)脂來(lái)密封層疊體。由以上，制作圖I所示的固體電解電容器20。(實(shí)施例2)本實(shí)施例是使用實(shí)施了用于防止氧化的表面處理后的導(dǎo)電性基體的例子。在本實(shí)施例中，除了使用由碳層覆蓋表面的鋁箔(“卜一 Y >力一(注冊(cè)商標(biāo))，東洋鋁株式會(huì)社制)作為導(dǎo)電性基體這一點(diǎn)外，與實(shí)施例I相同地來(lái)制作固體電解電容器。(比較例I)該比較例I是相對(duì)實(shí)施例I及2的比較例，是關(guān)于現(xiàn)有技術(shù)的層疊型固體電解電容器的例子。在該比較例中，除了沒(méi)有使用導(dǎo)電性基體這一點(diǎn)外，與實(shí)施例I相同地來(lái)制作固體電解電容器。
以上，針對(duì)在實(shí)施例I及2以及比較例I中制作的固體電解電容器，通過(guò)模擬來(lái)研究元件體積、靜電電容、ESR、電容體積效率(=靜電電容/元件體積)。結(jié)果在表I中示出。(表 I)
權(quán)利要求
1.一種固體電解電容器，該固體電解電容器包括 層疊體，其層疊多個(gè)包含閥作用金屬基體和電介質(zhì)被膜在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片，并且，包含在至少一個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中的閥作用金屬基體還具有陽(yáng)極引線(xiàn)部，相鄰的閥作用金屬基體相互被接合而成，其中，上述閥作用金屬基體具有陰極層形成部，上述電介質(zhì)被膜至少在陰極層形成部中覆蓋閥作用金屬基體的表面； 固體電解質(zhì)層的連續(xù)層，其在閥作用金屬基體的陰極層形成部中，填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間的間隙，并且覆蓋層疊體的外表面；以及 導(dǎo)電性基體，其配置在填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間的間隙的固體電解質(zhì)層內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的固體電解電容器，其特征在于， 導(dǎo)電性基體具有至少一個(gè)開(kāi)口部，經(jīng)由該開(kāi)口部，相鄰的閥作用金屬基體在閥作用金屬基體的陰極層形成部中被相互接合，閥作用金屬基體的接合部與固體電解質(zhì)層以及導(dǎo)電性基體電絕緣。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的固體電解電容器，其特征在于， 對(duì)導(dǎo)電性基體實(shí)施了用于防止氧化的表面處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任一項(xiàng)所述的固體電解電容器，其特征在于， 導(dǎo)電性基體具有多個(gè)開(kāi)口部，在該多個(gè)開(kāi)口部中填充有固體電解質(zhì)層。
5.一種固體電解電容器的制造方法，該固體電解電容器的制造方法包括 一邊層疊多個(gè)包含閥作用金屬基體和電介質(zhì)被膜在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片，一邊在相鄰的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間插入導(dǎo)電性基體的工序，其中，上述閥作用金屬基體具有陰極層形成部，上述電介質(zhì)被膜至少在陰極層形成部中覆蓋閥作用金屬基體的表面，并且，包含在至少一個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中的閥作用金屬基體還具有陽(yáng)極引線(xiàn)部; 對(duì)在層疊的多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中相鄰的閥作用金屬基體彼此進(jìn)行接合，得到電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的層疊體的工序；以及 在閥作用金屬基體的陰極層形成部中，填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間的間隙，并且覆蓋層疊體的外表面，從而作為連續(xù)層來(lái)形成固體電解質(zhì)層的工序。
6.一種固體電解電容器的制造方法，該固體電解電容器的制造方法包括 層疊多個(gè)包含閥作用金屬基體和電介質(zhì)被膜在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的工序，其中，上述閥作用金屬基體具有陰極層形成部，上述電介質(zhì)被膜至少在陰極層形成部中覆蓋閥作用金屬基體的表面，并且，包含在至少一個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中的閥作用金屬基體還具有陽(yáng)極引線(xiàn)部； 對(duì)在層疊的多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中相鄰的閥作用金屬基體彼此進(jìn)行接合，得到電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的層疊體的工序； 在導(dǎo)電性基體的表面形成固體電解質(zhì)層的工序；以及 在層疊體的相鄰的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間插入在表面形成了固體電解質(zhì)層的導(dǎo)電性基體的工序。
7.一種固體電解電容器的制造方法，該固體電解電容器的制造方法包括 在導(dǎo)電性基體的表面形成固體電解質(zhì)層的工序； 一邊層疊多個(gè)包含閥作用金屬基體和電介質(zhì)被膜在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片，一邊在相鄰的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片間插入在表面形成了固體電解質(zhì)層的導(dǎo)電性基體的工序，其中，上述閥作用金屬基體具有陽(yáng)極引線(xiàn)部以及陰極層形成部，上述電介質(zhì)被膜至少在陰極層形成部中覆蓋閥作用金屬基體的表面；以及 在閥作用金屬基體的陽(yáng)極引線(xiàn)部中對(duì)在層疊的多個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片中相鄰的閥作用金屬基體彼此進(jìn)行接合，得到電介質(zhì)被覆閥作用金屬片的層疊體的工序。
8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于， 導(dǎo)電性基體具有至少一個(gè)開(kāi)口部，經(jīng)由該開(kāi)口部，在閥作用金屬基體的陰極層形成部中相互接合相鄰的閥作用金屬基體，閥作用金屬基體的接合部與固體電解質(zhì)層以及導(dǎo)電性基體電絕緣。
9.根據(jù)權(quán)利要求5 8中任一項(xiàng)所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于， 該固體電解電容器的制造方法進(jìn)一步包括預(yù)先對(duì)導(dǎo)電性基體實(shí)施用于防止氧化的表面處理。
10.根據(jù)權(quán)利要求5 9中任一項(xiàng)所述的固體電解電容器的制造方法，其特征在于， 導(dǎo)電性基體具有多個(gè)開(kāi)口部，在該多個(gè)開(kāi)口部中填充固體電解質(zhì)層，從而形成固體電解質(zhì)層。
全文摘要
本發(fā)明提供一種等效串聯(lián)電阻(ESR)更小的固體電解電容器。在固體電解電容器(20)中，設(shè)置層疊體(5)，其層疊多個(gè)包含閥作用金屬基體(1)和電介質(zhì)被膜(3)在內(nèi)的電介質(zhì)被覆閥作用金屬片(4)，并且，包含在至少一個(gè)電介質(zhì)被覆閥作用金屬片(4)中的閥作用金屬基體(1)還具有陽(yáng)極引線(xiàn)部(1a)，相鄰的閥作用金屬基體(1)相互被接合而成，其中，閥作用金屬基體(1)具有陰極層形成部(1b)，電介質(zhì)被膜(3)至少在陰極層形成部(1b)中覆蓋閥作用金屬基體(1)的表面；固體電解質(zhì)層(7)的連續(xù)層，其在閥作用金屬基體(1)的陰極層形成部(1b)中，填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片(4)間的間隙，并且覆蓋層疊體(5)的外表面；以及導(dǎo)電性基體(9)，其配置在填充電介質(zhì)被覆閥作用金屬片(4)間的間隙的固體電解質(zhì)層(7)內(nèi)。
文檔編號(hào)H01G9/15GK102623194SQ201210005510
公開(kāi)日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2012年1月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月28日
發(fā)明者上野太郎, 松下惠美, 藤本耕治, 越戶(hù)義弘, 黑見(jiàn)仁 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所