專利名稱：有機(jī)el元件的制造方法及其制造裝置、有機(jī)el元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種構(gòu) 成為基材上形成具有電極層和有機(jī)層的有機(jī)EL膜并從上述有機(jī)層發(fā)射光的有機(jī)EL元件的制造方法及其制造裝置、有機(jī)EL元件。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，有機(jī)EL(場(chǎng)致發(fā)光)元件作為使用于下一代的低消耗電力的發(fā)光顯示裝置的元件而受到關(guān)注。有機(jī)EL元件基本上具有有機(jī)層以及一對(duì)電極，該有機(jī)層包括由有機(jī)發(fā)光材料構(gòu)成的發(fā)光層。上述有機(jī)EL元件因有機(jī)發(fā)光材料而得到各種顏色的發(fā)光，并且為自發(fā)光元件，因此作為電視機(jī)(TV)等顯示器用途而受到關(guān)注。這種有機(jī)EL元件由基材和有機(jī)EL膜構(gòu)成，該有機(jī)EL膜以有機(jī)層夾在具有極性相互相反的電極的兩個(gè)電極層夾持之間的方式構(gòu)成(夾層結(jié)構(gòu))。夾在電極層之間的有機(jī)層被支承在基材上，在基材上依次層疊陽(yáng)極層、有機(jī)層、陰極層，由此形成有機(jī)EL元件。在這種有機(jī)EL元件的制造方法中，作為在形成于基材的陽(yáng)極層上成膜(形成)有機(jī)層和陰極層的方法，通常可知真空蒸鍍法、涂布法，但是，其中，由于尤其能夠提高用于形成有機(jī)層的材料(有機(jī)層形成材料)的純度，容易得到高壽命，因此主要使用真空蒸鍍法。在上述真空蒸鍍法中，通過(guò)使用蒸鍍裝置對(duì)基材進(jìn)行蒸鍍來(lái)形成有機(jī)層和陰極層，其中，該蒸鍍裝置具備真空室以及與有機(jī)層和陰極層分別對(duì)應(yīng)地配置在該真空室內(nèi)的蒸鍍?cè)础＞唧w地說(shuō)，通過(guò)配置于各蒸鍍?cè)吹募訜岵繉?duì)有機(jī)層形成材料和陰極層形成材料進(jìn)行加熱而使其氣化，從各蒸鍍?cè)磭姵鰵饣蟮挠袡C(jī)層形成材料和陰極層形成材料(氣化材料)，在形成于基材的陽(yáng)極層上蒸鍍形成有機(jī)層，進(jìn)一步在該有機(jī)層上蒸鍍形成陰極層。在上述真空蒸鍍法中，采用所謂分批工藝(K 〃 f / 口七^(guò) )、輥式工藝(口一>7° 口 。分批工藝是指針對(duì)每片形成有陽(yáng)極層的基材將有機(jī)層和陰極層蒸鍍?cè)陉?yáng)極層上的工藝。另外，輥式工藝是指以下工藝連續(xù)地送出形成有陽(yáng)極層并被卷繞成輥狀的帶狀的基材，以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的冷卻輥(X > 口一> )的表面支承所送出的基材并使所送出的基材隨該旋轉(zhuǎn)一起進(jìn)行移動(dòng)，并且在陽(yáng)極層上連續(xù)地形成有機(jī)層和陰極層，將以這種方式形成了有機(jī)EL膜的基材卷繞成輥狀。其中，從實(shí)現(xiàn)低成本化的觀點(diǎn)出發(fā)，期望使用輥式工藝制造有機(jī)EL元件。然而，在像這樣真空蒸鍍法中采用輥式工藝的情況下，在將形成有有機(jī)EL膜的基材卷繞成輥狀來(lái)進(jìn)行回收時(shí)，形成于基板上的有機(jī)EL膜與基材的沒(méi)有形成有機(jī)EL膜的一面?zhèn)?非蒸鍍面?zhèn)?產(chǎn)生摩擦。并且，基材的表面通常具有細(xì)微的凹凸，因此由于基材與有機(jī)EL膜產(chǎn)生摩擦而損傷有機(jī)EL膜，導(dǎo)致漏電、發(fā)光不良，進(jìn)而成品率降低。因此，提出了如下的一種技術(shù)在卷繞回收形成有有機(jī)EL膜的基材時(shí)，使保護(hù)膜介于先被卷繞的基材上的有機(jī)EL膜與接著被卷繞的基材的非蒸鍍面之間并且卷繞基材，由此防止損傷有機(jī)EL膜(參照專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2006-294536號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問(wèn)題但是，僅單純地使保護(hù)膜介于先被卷繞的基材上的有機(jī)EL膜與接著被卷繞的基材的非蒸鍍面?zhèn)戎g，保護(hù)膜被夾在上述有機(jī)EL膜與基材的非蒸鍍面?zhèn)戎g并且卷繞基材，由此保護(hù)膜有可能相對(duì)有機(jī)EL膜產(chǎn)生位置偏移。并且，由于上述位置偏移而保護(hù)膜與有機(jī)EL膜產(chǎn)生摩擦，因此盡管使保護(hù)膜介于上述有機(jī)EL膜與基材的非蒸鍍面?zhèn)戎g，但還是有損傷有機(jī)EL膜的可能。在此，為了防止由上述位置偏移產(chǎn)生的有機(jī)EL膜的損傷，還考慮使用粘接劑在基材中的蒸鍍面?zhèn)日辰颖Ｗo(hù)膜。但是，在蒸鍍面?zhèn)日辰颖Ｗo(hù)膜的情況下，有可能粘接劑附著于有機(jī)EL膜，使有機(jī)EL膜損傷。
并且，即使使保護(hù)膜如上所述那樣介于有機(jī)EL膜與非蒸鍍面?zhèn)戎g，在保護(hù)膜與有機(jī)EL膜之間也會(huì)因振動(dòng)等產(chǎn)生細(xì)微摩擦，由此也可能發(fā)生有機(jī)EL膜損傷。本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題點(diǎn)而完成的，目的在于提供一種能夠防止形成于基材上的有機(jī)EL膜損傷并且卷繞形成有該有機(jī)EL膜的基材的有機(jī)EL元件的制造方法及其制造裝置、有機(jī)EL元件。用于解決問(wèn)題的方案為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明所涉及的有機(jī)EL元件的制造方法，提供帶狀的基材并且通過(guò)在該基材的一面?zhèn)戎辽僖来握翦冇袡C(jī)層和電極層來(lái)在上述基材上形成有機(jī)EL膜，將形成有上述有機(jī)EL膜的上述基材進(jìn)行卷繞，由此制造有機(jī)EL元件，其中，該有機(jī)層包括發(fā)光層，該有機(jī)EL元件的制造方法的特征在于，在上述卷繞過(guò)程中，還提供比上述基材軟的帶狀的保護(hù)膜，使上述保護(hù)膜粘接在上述基材的非蒸鍍面?zhèn)炔⑶覍⑸鲜龌呐c上述保護(hù)膜一起進(jìn)行卷繞。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，使保護(hù)膜粘接在基材的非蒸鍍面?zhèn)炔⑶揖砝@該基材，由此能夠防止粘接劑等附著于有機(jī)EL膜，而且，能夠防止保護(hù)膜在被夾在基材的非蒸鍍面?zhèn)扰c有機(jī)EL膜之間時(shí)相對(duì)于有機(jī)EL膜產(chǎn)生位置偏移。由此，能夠防止附著粘接劑等來(lái)防止有機(jī)EL膜損傷，并且減輕保護(hù)膜與有機(jī)EL膜之間的摩擦來(lái)防止有機(jī)EL膜的損傷。另外，通過(guò)使用比基材軟的保護(hù)膜，即使在有機(jī)EL膜與保護(hù)膜之間產(chǎn)生了一些摩擦的情況下，也能夠防止由與保護(hù)膜接觸引起的有機(jī)EL膜的損傷。因而，能夠防止形成于基材上的有機(jī)EL膜損傷并且卷繞形成有該有機(jī)EL膜的基材。另外，在本發(fā)明所涉及的有機(jī)EL元件的制造方法中，優(yōu)選提供一面?zhèn)刃纬捎械谝浑姌O層的上述基材并且在該第一電極層上依次蒸鍍上述有機(jī)層和第二電極層，該第二電極層為與上述第一電極層極性相反的電極。另外，在本發(fā)明所涉及的有機(jī)EL元件的制造方法中，優(yōu)選上述保護(hù)膜的彈性模量為4. 2GPa以下。由此，能夠更可靠地防止形成于基材上的有機(jī)EL膜的損傷。另外，在本發(fā)明所涉及的有機(jī)EL元件的制造方法中，優(yōu)選上述基材由金屬材料形成。由此，特別是在使用表面凹凸大并且較硬的基材的情況下，也能夠防止形成于基材上的有機(jī)EL膜的損傷并且卷繞形成有該有機(jī)EL膜的基材，因此更有效。
另外，在本發(fā)明所涉及的有機(jī)EL元件的制造方法中，優(yōu)選上述保護(hù)膜的一面?zhèn)染哂心軌蛘辰拥缴鲜龌囊约皬纳鲜龌膭冸x的粘接劑層，通過(guò)該粘接劑層使上述保護(hù)膜粘接在上述基材的非蒸鍍面?zhèn)取Ｓ纱耍軌驅(qū)⑸鲜霰Ｗo(hù)膜粘接到上述基材以及從上述基材剝離，因此能夠防止保護(hù)膜與基材之間的偏移。另外，本發(fā)明所涉及的有機(jī)EL元件的制造裝置具備蒸鍍部，其被提供帶狀的基材并且通過(guò)在該基材的一面?zhèn)戎辽僖来握翦冇袡C(jī)層和電極層來(lái)在上述基材上形成有機(jī)EL膜，該有機(jī)層包括發(fā)光層；以及回收部，其將通過(guò)該蒸鍍部形成有上述有機(jī)EL膜的基材進(jìn)行卷繞，該有機(jī)EL元件的制造裝置的特征在于，還具備保護(hù)膜提供部，其提供比上述基材軟的帶狀的保護(hù)膜，其中，上述回收部構(gòu)成為使從上述保護(hù)膜提供部提供的上述保護(hù)膜粘接在上述基材的非蒸鍍面?zhèn)炔⑶覍⑸鲜龌呐c上述保護(hù)膜一起進(jìn)行卷繞。另外，在本發(fā)明所涉及的有機(jī)EL元件的制造裝置中，上述蒸鍍部構(gòu)成為被提供一 面?zhèn)刃纬捎械谝浑姌O層的上述基材并且在該第一電極層上依次蒸鍍上述有機(jī)層和第二電極層，該第二電極層為與上述第一電極層極性相反的電極。另外，本發(fā)明所涉及的有機(jī)EL元件，在基材的一面?zhèn)染邆溆袡C(jī)EL膜，該有機(jī)EL膜具有第一電極層、包括發(fā)光層的有機(jī)層以及第二電極層，該第二電極層為與上述第一電極層極性相反的電極，該有機(jī)EL元件的特征在于，在上述基材的與上述有機(jī)EL膜相反的一面?zhèn)日辰佑斜壬鲜龌能浀谋Ｗo(hù)膜。發(fā)明的效果如上所述，根據(jù)本發(fā)明，能夠防止形成于基材上的有機(jī)EL膜的損傷并且卷繞形成有該有機(jī)EL膜的基材。


圖I是示意性地表示在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL元件的制造方法中使用的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL元件的制造裝置的概要側(cè)視截面圖。圖2是放大表示用圖I的虛線表示的S區(qū)域的概要截面圖。圖3是示意性地表示在真空室內(nèi)設(shè)置了多個(gè)蒸鍍?cè)吹臓顟B(tài)的概要側(cè)視截面圖。圖4A是示意性地表示在基材的一面?zhèn)刃纬捎袡C(jī)EL膜而在另一面?zhèn)日辰颖Ｗo(hù)膜而成的有機(jī)EL元件的層結(jié)構(gòu)的概要側(cè)視截面圖，是表示有機(jī)層為一層的情況的圖。圖4B是示意性地表示在基材的一面?zhèn)刃纬捎袡C(jī)EL膜而在另一面?zhèn)日辰颖Ｗo(hù)膜而成的有機(jī)EL元件的層結(jié)構(gòu)的概要側(cè)視截面圖，是表示有機(jī)層為三層的情況的圖。圖4C是示意性地表示在基材的一面?zhèn)刃纬捎袡C(jī)EL膜而在另一面?zhèn)日辰颖Ｗo(hù)膜而成的有機(jī)EL元件的層結(jié)構(gòu)的概要側(cè)視截面圖，是表示有機(jī)層為五層的情況的圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明I :有機(jī)EL兀件的制造裝置；5 :基材提供裝置；6 :回收裝置(回收部)；7 :冷卻棍；8 :保護(hù)膜提供裝置(保護(hù)膜提供部)；9 :蒸鍍?cè)?蒸鍍部)；9a :第一蒸鍍?cè)矗?b :第二蒸鍍?cè)矗?9 :有機(jī)EL膜；20 :有機(jī)EL元件；21 :基材；23 :陽(yáng)極層(第一電極層)；25a :發(fā)光層(有機(jī)結(jié)構(gòu)層、有機(jī)層)；27:陰極層(第二電極層)；30:保護(hù)膜；30a:粘接劑層。
具體實(shí)施例方式下面，參照

本發(fā)明所涉及的有機(jī)EL元件的制造方法、該有機(jī)EL元件的制造裝置以及有機(jī)EL元件。如圖1、2所示，有機(jī)EL元件的制造裝置I具備基材提供裝置5，其作為基材提供部，提供帶狀的基材21 ;冷卻輥7，其作為輸送部，與從該基材提供裝置5提供的基材21的非蒸鍍面?zhèn)认嗟纸硬⑶译S著該基材21的移動(dòng)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；蒸鍍?cè)?，其作為蒸鍍部，噴出氣化后的有機(jī)層形成材料22和陰極層形成材料28，在形成于與冷卻輥7相抵接的基材21的陽(yáng)極層23上依次蒸鍍包括發(fā)光層的有機(jī)層和陰極層，從而在基材21上形成有機(jī)EL膜19 ;回收裝置6，其作為回收部，將通過(guò)該蒸鍍?cè)?形成了有機(jī)EL膜19的基材21依次進(jìn)行卷繞；以及保護(hù)膜提供裝置8，其作為保護(hù)膜提供部，提供保護(hù)膜30。另外，回收裝置6構(gòu)成為使從保護(hù)膜提供裝置8提供的保護(hù)膜30粘接在基材21的非蒸鍍面?zhèn)炔⑶覍⒃摶?1與保護(hù)膜30 —起進(jìn)行卷繞。
另外，該制造裝置I還具備真空室3，在真空室3內(nèi)配置有上述基材提供裝置5、冷卻輥7、多個(gè)蒸鍍?cè)?、保護(hù)膜提供裝置8以及回收裝置6。關(guān)于該真空室3，通過(guò)未圖示的真空產(chǎn)生裝置使其內(nèi)部形成減壓狀態(tài)，從而能夠在內(nèi)部形成真空區(qū)域。 作為上述基材提供裝置5而具備基材提供輥5，該基材提供輥5送出被卷繞成輥狀的帶狀的基材21。作為上述回收裝置6而具備卷繞輥6，該卷繞輥6將所送出的基材21與保護(hù)膜一起進(jìn)行卷繞。即，從基材提供輥5送出的基材21被提供給冷卻輥7之后，被卷繞輥6卷繞。另外，作為上述保護(hù)膜提供裝置8而具備保護(hù)膜提供輥8，該保護(hù)膜提供輥8送出被卷繞成輥狀的帶狀的保護(hù)膜30，如后文所述，從該保護(hù)膜提供輥8送出的保護(hù)膜30粘接在基材21的非蒸鍍面?zhèn)龋⑶冶痪砝@輥6卷繞。冷卻輥7由圓筒狀的不銹鋼形成，并進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。將上述冷卻輥7配置在使從基材提供輥5送出(提供)并被卷繞輥6卷繞的基材21被以規(guī)定的張力卷掛的位置，以冷卻輥7的周面(表面)支承基材21的非蒸鍍面?zhèn)?具體地說(shuō)，與設(shè)置有陽(yáng)極層的一側(cè)相反的一側(cè))。另外，冷卻輥7進(jìn)行旋轉(zhuǎn)(繞圖I的逆時(shí)針旋轉(zhuǎn))，由此能夠使被卷掛(支承)的基材21與冷卻輥7 —起沿旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)。優(yōu)選上述冷卻輥7的內(nèi)部具有冷卻機(jī)構(gòu)等溫度調(diào)整機(jī)構(gòu)，由此，在后述的基材21上的有機(jī)層的成膜過(guò)程中，能夠使基材21的溫度穩(wěn)定。例如能夠?qū)⒗鋮s輥7的外徑設(shè)定為300mnT2000mmo并且，當(dāng)冷卻輥7旋轉(zhuǎn)時(shí)，與該旋轉(zhuǎn)相應(yīng)地依次從基材提供輥5送出基材21，所送出的基材21與冷卻輥7的周面相抵接而被支承并且沿其旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)，并且離開(kāi)冷卻輥7的基材21被卷繞輥6卷繞。能夠使用即使卷掛在冷卻輥7上也不損傷的具有撓性的材料來(lái)作為基材21的形成材料。作為這種材料例如能夠舉出金屬材料和非金屬材料，但是，其中還優(yōu)選基材21由金屬材料形成。由此，尤其是在使用表面凹凸大并且較硬的基材21的情況下，也能夠防止形成于基材21上的有機(jī)EL膜19損傷并且卷繞形成有該有機(jī)EL膜19的基材21，因此更有效。作為上述金屬材料例如能夠舉出不銹鋼(SUS)、鐵(Fe)、鋁(Al)等。另外，從剛性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述金屬材料優(yōu)選為不銹鋼。作為上述的非金屬材料，例如可以例舉出玻璃薄膜、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)等。此外，從阻氣性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述非金屬材料優(yōu)選為玻璃薄膜。通過(guò)濺鍍?cè)谠摶?1表面預(yù)先形成陽(yáng)極層23 (參照?qǐng)D2)。作為用于形成陽(yáng)極層23的材料，可以使用氧化銦錫(ITO)、氧化鋅銦(IZO)、氧化鋅(ZnO)、鎵摻雜氧化鋅(GZO)、銻摻雜氧化鋅(AZO)等氧化鋅類材料。再有，除此以外，也可以構(gòu)成為在使用了能夠利用蒸鍍?cè)催M(jìn)行蒸鍍的材料作為陽(yáng)極層23的材料的情況下，在真空室3內(nèi)配置陽(yáng)極層23用的蒸鍍?cè)矗瑢㈥?yáng)極層23蒸鍍?cè)诨?1上，由此形成陽(yáng)極層23。蒸鍍?cè)?用于形成包括發(fā)光層25a的有機(jī)層(參照?qǐng)D2、圖4A 4C)以及陰極層27。 另外，蒸鍍?cè)?由用于形成有機(jī)層的第一蒸鍍?cè)?a以及用于形成陰極層27的第二蒸鍍?cè)?b構(gòu)成。此外，根據(jù)要形成的有機(jī)層而設(shè)置一個(gè)以上的第一蒸鍍?cè)?a，在本實(shí)施方式中，由于形成一層發(fā)光層25a(參照?qǐng)D2、圖4A)作為有機(jī)層，因此設(shè)置一個(gè)第一蒸鍍?cè)?a。另外，在與冷卻輥7的周面中的基材21的支承區(qū)域相對(duì)的位置處，在基材21的移動(dòng)方向上游側(cè)配置有第一蒸鍍?cè)?a，在下游側(cè)配置有第二蒸鍍?cè)矗ァ２⑶遥谝徽翦冊(cè)?a和第二蒸鍍?cè)矗シ謩e構(gòu)成為能夠向基材21噴出通過(guò)加熱等氣化后的有機(jī)層形成材料22和陰極層形成材料28。并且，通過(guò)第一蒸鍍?cè)?a使有機(jī)層形成材料22蒸鍍到形成于基材21上的陽(yáng)極層23上，由此在該陽(yáng)極層23上形成發(fā)光層25a(參照?qǐng)D2、圖4A 4C)，通過(guò)第二蒸鍍?cè)矗ナ龟帢O層形成材料28蒸鍍到發(fā)光層25a上，由此在發(fā)光層25a上形成陰極層27。這樣，在形成于基材21上的陽(yáng)極層23上依次連續(xù)地蒸鍍發(fā)光層25a和陰極層27，由此在基材21上形成具有陽(yáng)極層23、發(fā)光層25a以及陰極層27的有機(jī)EL膜19，由此形成有機(jī)EL元件20。有機(jī)層由一個(gè)有機(jī)結(jié)構(gòu)層構(gòu)成或者為多個(gè)有機(jī)結(jié)構(gòu)層層疊而構(gòu)成。在有機(jī)層由一個(gè)有機(jī)結(jié)構(gòu)層構(gòu)成的情況下，該有機(jī)結(jié)構(gòu)層為上述發(fā)光層25a。在有機(jī)層由多個(gè)有機(jī)結(jié)構(gòu)層構(gòu)成的情況下，該多個(gè)有機(jī)結(jié)構(gòu)層由發(fā)光層25a以及發(fā)光層25a以外的有機(jī)結(jié)構(gòu)層構(gòu)成。另外，作為發(fā)光層25a以外的有機(jī)結(jié)構(gòu)層例如可舉出空穴注入層25b、空穴輸送層25d、電子注入層25c以及電子輸送層25e。此外，例如，在如圖4B所示那樣將有機(jī)層設(shè)為三層層疊體的情況下，也能夠如圖3所示那樣設(shè)為沿冷卻輥7的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)置三個(gè)第一蒸鍍?cè)?a的結(jié)構(gòu)。在這樣沿冷卻輥7的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)置多個(gè)第一蒸鍍?cè)?a的情況下，能夠通過(guò)配置在相對(duì)于該旋轉(zhuǎn)方向最上游側(cè)的第一蒸鍍?cè)?a在陽(yáng)極層23上蒸鍍第一層有機(jī)結(jié)構(gòu)層，之后依次通過(guò)下游側(cè)的第一蒸鍍?cè)?a在第一層有機(jī)結(jié)構(gòu)層上蒸鍍第二層之后的有機(jī)結(jié)構(gòu)層，從而進(jìn)行層疊。這樣，有機(jī)層只要包括發(fā)光層則不另外特別限定，能夠構(gòu)成為根據(jù)需要層疊形成多個(gè)有機(jī)結(jié)構(gòu)層。例如圖4B所示，也可以按空穴注入層25b、發(fā)光層25a以及電子注入層25c的順序?qū)⑺鼈冞M(jìn)行層疊，將有機(jī)層設(shè)為三層層疊體。另外，還能夠根據(jù)需要，將空穴輸送層25d(參照?qǐng)D4C)夾在上述圖4B示出的發(fā)光層25a與空穴注入層25b之間或者將電子輸送層25e(參照?qǐng)D4C)夾在發(fā)光層25a與電子注入層25c之間，由此將有機(jī)層設(shè)為四層層疊體。并且，如圖4C所示，還能夠?qū)⒖昭ㄝ斔蛯?5d夾在空穴注入層25b與發(fā)光層25a之間，并將電子輸送層25e夾在發(fā)光層25a與電子注入層25c之間，由此將有機(jī)層設(shè)為五層層疊體。另外，通常，將各層的膜厚設(shè)計(jì)成幾nnT幾十nm左右，但是根據(jù)有機(jī)層形成材料22、發(fā)光特性等來(lái)適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)上述膜厚，而不特別限定上述膜厚。作為用于形成發(fā)光層25a的材料，可以使用例如，三(8_羥基喹啉)鋁(Alq3)、[2-叔丁基-6-[2-(2，3，6，7-四氫-1，1，7，7-四甲基-1H，5H-苯并[i j]喹嗪-9-基)乙烯基]-4H-吡喃-4-亞基]丙二腈(DCJTB)等。作為用于形成空穴注入層25b的材料，可以使用例如，銅酞菁(CuPc)、N，N’ - 二(I-萘基)_N，N’ - 二苯基-1，I’ -聯(lián)苯-4，4’ -二胺(a-NPD)等。作為用于形成空穴傳輸層25d的材料，可以使用例如，N，N’ - 二(I-萘 基)-N，N’ - 二苯基-1，I’ -聯(lián)苯-4,4’ -二胺(a-NPD)、N，N，N’，N’ -四苯基-4，4’ -二氨基苯、N，N’ - 二苯基-N，N，-雙(3-甲基苯基)-[1，I，-聯(lián)苯]-4，4，-二胺(TPD)等。作為用于形成電子注入層25c的材料，可以使用例如，氟化鋰(LiF)、氟化銫(CsF)
坐寸o作為用于形成電子傳輸層25e的材料，可以使用例如，三(8_羥基喹啉)鋁(Alq3)
坐寸O作為陰極層27，可以使用鋁(Al)、鎂銀(Mg/Ag)、ITO、IZO等。在本實(shí)施方式中，如圖I以及圖2所示，卷繞輥6構(gòu)成為以形成有有機(jī)EL膜19的基材21中的形成有有機(jī)EL膜19的一面?zhèn)?蒸鍍面?zhèn)?配置于外側(cè)而非蒸鍍面?zhèn)扰渲糜趦?nèi)側(cè)的方式卷繞該基材21。另外，卷繞輥6使從上述保護(hù)膜提供輥8送出的保護(hù)膜30粘接在該基材21的非蒸鍍面?zhèn)龋⑶覍⒃摶?1與保護(hù)膜30 —起進(jìn)行卷繞。另外，從上述保護(hù)膜提供輥8送出的保護(hù)膜30構(gòu)成為比基材21軟，由此能夠防止由與保護(hù)膜30接觸引起的有機(jī)EL膜19損傷。另外，保護(hù)膜30只要構(gòu)成為比基材21軟，則不另外特別限定，但是例如保護(hù)膜30的彈性模量?jī)?yōu)選在4. 2GPa以下，更優(yōu)選在4. OGPa以下。該彈性模量在4. 2GPa以下，由此能夠更可靠地防止有機(jī)EL膜19損傷。另外，作為保護(hù)膜30的形成材料優(yōu)選比基材21平滑的材料。由此，能夠進(jìn)一步防止由與保護(hù)膜30接觸引起的有機(jī)EL膜19損傷。關(guān)于保護(hù)膜30的平滑性，優(yōu)選例如輪廓算術(shù)平均偏差粗糙度(Ra)在2nm以下,并且輪廓最大高度粗糙度(Rmax)在15nm以下。由此，保護(hù)膜30變得足夠平滑，因此能夠進(jìn)一步防止上述有機(jī)EL膜19損傷。作為這樣的保護(hù)膜30的形成材料，可以例舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰亞胺(PI)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)等。在本實(shí)施方式中，保護(hù)膜30構(gòu)成為一面?zhèn)染哂心軌蛘辰拥缴鲜龌?1以及從上述基材21剝離的粘接劑層30a，構(gòu)成為從保護(hù)膜提供輥8送出的保護(hù)膜30的粘接劑層30a粘接在基材21的非蒸鍍面?zhèn)取＜矗瑯?gòu)成為保護(hù)膜30通過(guò)粘接劑層30a粘接在基材21的非蒸鍍面?zhèn)取＿@樣，保護(hù)膜30的一面?zhèn)染哂心軌蛘辰拥交?1以及從基材21剝離的粘接劑層30a，通過(guò)該粘接劑層30a將保護(hù)膜30粘接在基材21的非蒸鍍面?zhèn)龋纱四軌蚍乐贡Ｗo(hù)膜30與基材21之間的偏移。
作為用于形成上述粘接劑層30a的材料(粘接材料)可舉出橡膠類、丙烯類、硅類的粘接劑。另外，粘接劑層30a的剝離強(qiáng)度優(yōu)選在5N/m以上。由此，能夠防止保護(hù)膜30與基材21粘接之后被從該基材21剝離。另外，該粘接劑層30a的剝離強(qiáng)度優(yōu)選在100N/m以下，更優(yōu)選在60N/m以下。該粘接劑層30a的剝離強(qiáng)度在100N/m以下，由此防止剝離強(qiáng)度變得過(guò)強(qiáng)，從而能夠防止從基材21剝離保護(hù)膜30時(shí)基材21變形。這種一面?zhèn)染哂姓辰觿?0a的保護(hù)膜30能夠通過(guò)對(duì)保護(hù)膜涂布粘接劑的涂敷來(lái)形成。例如能夠使用逗點(diǎn)涂布機(jī)、凹版涂布機(jī)、狹縫涂布機(jī)等來(lái)進(jìn)行上述涂敷。在本實(shí)施方式所涉及的有機(jī)EL元件的制造方法中，提供帶狀的基材21并且通過(guò)至少將包括發(fā)光層25a的有機(jī)層和陰極層(電極層)27依次蒸鍍?cè)谠摶?1的一面?zhèn)葋?lái)在基材21上形成有機(jī)EL膜19，將形成有有機(jī)EL膜19的基材21依次進(jìn)行卷繞，從而制造有機(jī)EL元件，在上述卷繞過(guò)程中，還提供比基材21軟的帶狀的保護(hù)膜30，使該保護(hù)膜30粘接在基材21的非蒸鍍面?zhèn)炔⑶覍⒒?1與保護(hù)膜30 —起進(jìn)行卷繞。 另外，在本實(shí)施方式中，設(shè)為提供一面?zhèn)刃纬捎嘘?yáng)極層(第一電極層)23的基材21，并且在該陽(yáng)極層23上依次蒸鍍發(fā)光層25a以及與陽(yáng)極層23極性相反的電極即陰極層(第二電極層)27。再有，除此以外，還能夠提供沒(méi)有預(yù)先形成陽(yáng)極層的基材并且通過(guò)用于形成陽(yáng)極層的蒸鍍?cè)丛诨纳闲纬申?yáng)極層，在這樣形成的陽(yáng)極層上依次形成上述發(fā)光層25a和陰極層27。在本實(shí)施方式中，具體地說(shuō)，例如首先通過(guò)濺鍍等在一面?zhèn)阮A(yù)先形成陽(yáng)極層23，并且從基材提供輥5送出被卷繞成輥狀的基材21。接著，使所送出的基材21的非蒸鍍面?zhèn)扰c冷卻輥7的表面相抵接而進(jìn)行移動(dòng)，并且通過(guò)第一蒸鍍?cè)?a在被冷卻輥7支承的基材21上的陽(yáng)極層23上形成作為有機(jī)層的發(fā)光層25a，通過(guò)第二蒸鍍?cè)?b在該發(fā)光層25a上形成陰極層27，由此在基材21上形成有機(jī)EL膜19。另外，從保護(hù)膜提供輥8送出保護(hù)膜30，通過(guò)粘接劑層30a使該保護(hù)膜30粘接在形成有有機(jī)EL膜19的基材21的非蒸鍍面?zhèn)龋⑶彝ㄟ^(guò)卷繞輥6將基材21與保護(hù)膜30 —起進(jìn)行卷繞。通過(guò)上述制造方法，在帶狀的基材21的一面?zhèn)刃纬捎袡C(jī)EL膜19，在與該有機(jī)EL膜19相反的一面?zhèn)?非蒸鍍面?zhèn)?粘接保護(hù)膜30，并且能夠制造被卷繞的有機(jī)EL元件20。另外，根據(jù)上述制造方法，使保護(hù)膜30粘接在基材21的非蒸鍍面?zhèn)龋纱四軌蚍乐贡Ｗo(hù)膜30因被夾在基材21的非蒸鍍面?zhèn)扰c有機(jī)EL膜19之間而相對(duì)于有機(jī)EL膜19產(chǎn)生位置偏移。由此，能夠減輕保護(hù)膜30與有機(jī)EL膜19之間的摩擦，從而防止有機(jī)EL膜19損傷。另外，通過(guò)使用比基材21軟的保護(hù)膜30，即使在有機(jī)EL膜19與保護(hù)膜30之間產(chǎn)生了一些摩擦的情況下，也能夠防止由與保護(hù)膜30接觸引起的有機(jī)EL膜19的損傷。因而，能夠防止形成于基材21上的有機(jī)EL膜19損傷并且卷繞形成有該有機(jī)EL膜19的基材21。進(jìn)而，能夠通過(guò)防止產(chǎn)生上述損傷來(lái)提高成品率。另外，在基材21上形成了有機(jī)EL膜19之后，使保護(hù)膜30與基材21的非蒸鍍面?zhèn)认嗟纸佣鴮⒈Ｗo(hù)膜30粘接在基材21的非蒸鍍面?zhèn)龋虼四軌虮苊獗Ｗo(hù)膜30對(duì)發(fā)光層25、陰極層27的形成帶來(lái)的影響。此外，能夠如上所述那樣送出被卷繞輥6卷繞的有機(jī)EL元件20，并對(duì)其進(jìn)行切斷等，從而形成片狀的有機(jī)EL元件20。即，能夠形成如下結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL元件20 :在基材21的一面?zhèn)染邆溆袡C(jī)EL膜19，該有機(jī)EL膜具有陽(yáng)極層23、至少包括一層的發(fā)光層25a的有機(jī)層以及陰極層27，能夠在基材21中的與有機(jī)EL膜19相反的一面?zhèn)?非蒸鍍面?zhèn)?粘接比基材21軟的保護(hù)膜。在像這樣通過(guò)切斷等來(lái)將有機(jī)EL元件20形成為片狀的情況下，如上所述，被卷繞輥6卷繞的有機(jī)EL元件20防止有機(jī)EL膜19損傷，因此形成為片狀的有機(jī)EL元件20也防止有機(jī)EL膜19損傷。本發(fā)明的有機(jī)EL元件的制造方法及其制造裝置、有機(jī)EL元件如上所述，但本發(fā)明并不限定于上述各實(shí)施方式，能夠在本發(fā)明所意圖的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)計(jì)變更。例如，在上述實(shí)施方式中，將基材提供輥5配置在真空室3內(nèi)，但是只要能夠?qū)⒒?1送出到冷卻輥7，則還能夠?qū)⒒奶峁┹?配置于真空室3外。另外，在上述實(shí)施方式中，將保護(hù)膜提供裝置8和回收裝置6配置于真空室3內(nèi)，但是只要能夠?qū)⒔Y(jié)束了蒸鍍工序的基材21如上所述那樣使保護(hù)膜30與該基材21粘接并且進(jìn)行卷繞，則還能夠?qū)⑺鼈兣渲糜谡婵帐?外。另外，在本實(shí)施方式中，為了使保護(hù)膜30粘接在基材21的非蒸鍍面?zhèn)龋O(shè)為該保護(hù)膜30具有粘接劑層30a的結(jié)構(gòu)，但是使保護(hù)膜30與基材21粘接的方法不特別限定于上 述實(shí)施方式。例如，還能夠保護(hù)膜30構(gòu)成為一面?zhèn)染哂姓辰拥交?1后不容易剝離的粘接劑層，構(gòu)成為通過(guò)該粘接劑層使保護(hù)膜30粘接在基材21的非蒸鍍面?zhèn)取Ａ硗猓谏鲜鰧?shí)施方式中，示出了以下結(jié)構(gòu)，以基材21中的形成有有機(jī)EL膜19的一面?zhèn)扰渲糜谕鈧?cè)而非蒸鍍面?zhèn)扰渲糜趦?nèi)側(cè)的方式通過(guò)卷繞輥6卷繞基材21，但是，除此以外，還能夠設(shè)為以下結(jié)構(gòu)以基材21中的形成有有機(jī)EL膜19的一面?zhèn)扰渲糜趦?nèi)側(cè)而非蒸鍍面?zhèn)扰渲糜谕鈧?cè)的方式卷繞基材21，。[實(shí)施例]接著，例舉實(shí)施例更詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明，但是本發(fā)明并不限定于這些。<有機(jī)EL元件的制造>使用與上述圖I示出的有機(jī)EL元件的制造裝置I相同的制造裝置。另外，作為基材使用輥狀的SUS 304(寬度50mm、長(zhǎng)度1000m、厚度0. 05mm)。另外，通過(guò)在基材的一面?zhèn)韧糠蟊?shù)脂(JSR公司制，JEM-477)并進(jìn)行干燥、硬化來(lái)形成(成膜)絕緣層之后，通過(guò)在該絕緣層上濺鍍IZO來(lái)預(yù)先形成厚度IOOnm的陽(yáng)極層。另一方面，如表I所示，使用PFT膜以及該膜的一面?zhèn)染哂斜╊愓辰觿拥膸д辰觿┑哪ぷ鳛楸Ｗo(hù)膜。即，在實(shí)施例I中使用E-MASK TP-300 (日東電工株式會(huì)社制)，在實(shí)施例2中使用Masking Tape (工> ^ >今 > 夕'' )ALS 101 (日東電工株式會(huì)社制)，在實(shí)施例3中使用外觀性金屬板用表面保護(hù)材料SPV-364CK(日東電工株式會(huì)社制)。這三種帶粘接劑的膜的彈性模量分別如表I所示。另外，上述保護(hù)膜的包括粘接劑層的厚度均為60 u m0然后，提供形成有陽(yáng)極層的基材，并且在該陽(yáng)極層上依次蒸鍍厚度25nm的銅酞菁(CuPc)來(lái)作為空穴注入層，蒸鍍45nm的a -NPD來(lái)作為空穴輸送層，蒸鍍厚度60nm的Alq3來(lái)作為發(fā)光層，蒸鍍厚度0. 5nm的LiF來(lái)作為電子注入層，蒸鍍厚度IOnm的Al來(lái)作為陰極層，由此在基材上形成有機(jī)EL膜。另外，分別使上述三種保護(hù)膜的粘接劑層粘接在形成有有機(jī)EL膜的基材的非蒸鍍面?zhèn)龋纱耸乖摫Ｗo(hù)膜與該基材粘接，并且以該基材的非蒸鍍面?zhèn)扰渲糜谕鈧?cè)、蒸鍍面?zhèn)扰渲糜趦?nèi)側(cè)的方式將基材與保護(hù)膜一起卷繞到卷繞輥，由此形成實(shí)施例廣3的有機(jī)EL元件。另一方面，除了不使用保護(hù)膜而卷繞基材以外其余與實(shí)施例I相同來(lái)形成比較例I的有機(jī)EL元件。另外，除了以下情況以外其余與上述實(shí)施例I相同來(lái)形成比較例2的有機(jī)EL元件使用與基材相同的輥狀的SUS 304作為保護(hù)膜，一邊對(duì)該保護(hù)膜涂布丙烯類粘接劑一邊通過(guò)該粘接劑使保護(hù)膜粘接在基材的非蒸鍍面?zhèn)龋⑶彝ㄟ^(guò)卷繞輥將基材與保護(hù)膜一起進(jìn)行卷繞。并且，除了以下情況以外其余與上述實(shí)施例I相同來(lái)形成比較例3的有機(jī)EL元件使用PI膜作為保護(hù)膜，不在保護(hù)膜中形成粘接劑層，不使該保護(hù)膜粘接在基材的非蒸鍍面?zhèn)榷鴥H使該保護(hù)膜與該基材相抵接，并且將基材與保護(hù)膜一起進(jìn)行卷繞。<評(píng)價(jià)方法>關(guān)于實(shí)施例f 3以及比較例f 3中分別卷繞的有機(jī)EL元件，從開(kāi)始卷繞基材起每隔IOOm采樣共計(jì)10個(gè)寬50mmX長(zhǎng)Im的樣本，使用光學(xué)顯微鏡(奧林巴斯公司制，STM6-LM)測(cè)量長(zhǎng)度IOOiim以上的擦傷的數(shù)量，算出10個(gè)擦傷平均值。另外，關(guān)于各樣本， 對(duì)陽(yáng)極層與陰極層之間施加電場(chǎng)，檢查是否存在發(fā)光。<評(píng)價(jià)基準(zhǔn)>將擦傷數(shù)的平均值小于三個(gè)的情況設(shè)為〇，將擦傷數(shù)的平均值大于等于三個(gè)且小于五個(gè)的情況設(shè)為A，將擦傷數(shù)的平均值大于等于五個(gè)的情況設(shè)為X。另外，關(guān)于是否存在發(fā)光，將整面沒(méi)有發(fā)光的個(gè)數(shù)小于等于一個(gè)的情況設(shè)為〇，將整面沒(méi)有發(fā)光的個(gè)數(shù)大于一個(gè)且小于等于三個(gè)的情況設(shè)為A，將整面沒(méi)有發(fā)光的個(gè)數(shù)大于三個(gè)的情況設(shè)為X。在表I中示出評(píng)價(jià)結(jié)果。如表I所示，在使用彈性模量小于基材的保護(hù)膜并通過(guò)粘接劑使保護(hù)膜與基材粘接的實(shí)施例廣3中，擦傷少且發(fā)光也良好。與此相對(duì)，在沒(méi)有使用保護(hù)膜的比較例I、使用了彈性模量大于基材的保護(hù)膜的比較例2以及使用彈性模量小于基材的保護(hù)膜但沒(méi)有使保護(hù)膜與基材粘接的比較例3中，均為擦傷多且發(fā)光不良。[表 I]
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)EL元件的制造方法，提供帶狀的基材并且通過(guò)在該基材的一面?zhèn)戎辽僖来握翦冇袡C(jī)層和電極層來(lái)在上述基材上形成有機(jī)EL膜，將形成有上述有機(jī)EL膜的上述基材進(jìn)行卷繞，由此制造有機(jī)EL元件，其中，該有機(jī)層包括發(fā)光層，該有機(jī)EL元件的制造方法的特征在于， 在上述卷繞的過(guò)程中，還提供比上述基材軟的帶狀的保護(hù)膜，使上述保護(hù)膜粘接在上述基材的非蒸鍍面?zhèn)炔⑶覍⑸鲜龌呐c上述保護(hù)膜一起進(jìn)行卷繞。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于， 提供一面?zhèn)刃纬捎械谝浑姌O層的上述基材并且在該第一電極層上依次蒸鍍上述有機(jī)層和第二電極層，該第二電極層為與上述第一電極層極性相反的電極。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于， 上述保護(hù)膜的彈性模量為4. 2GPa以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于， 上述基材由金屬材料形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于， 上述保護(hù)膜的一面?zhèn)染哂心軌蛘辰拥缴鲜龌囊约皬纳鲜龌膭冸x的粘接劑層， 通過(guò)該粘接劑層使上述保護(hù)膜粘接在上述基材的非蒸鍍面?zhèn)取?br> 6.一種有機(jī)EL元件的制造裝置，具備 蒸鍍部，其被提供帶狀的基材并且通過(guò)在該基材的一面?zhèn)戎辽僖来握翦冇袡C(jī)層和電極層來(lái)在上述基材上形成有機(jī)EL膜，該有機(jī)層包括發(fā)光層；以及 回收部，其將通過(guò)該蒸鍍部形成有上述有機(jī)EL膜的基材進(jìn)行卷繞， 該有機(jī)EL元件的制造裝置的特征在于， 還具備保護(hù)膜提供部，其提供比上述基材軟的帶狀的保護(hù)膜， 其中，上述回收部構(gòu)成為使從上述保護(hù)膜提供部提供的上述保護(hù)膜粘接在上述基材的非蒸鍍面?zhèn)炔⑶覍⑸鲜龌呐c上述保護(hù)膜一起進(jìn)行卷繞。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)EL元件的制造裝置，其特征在于， 上述蒸鍍部構(gòu)成為被提供一面?zhèn)刃纬捎械谝浑姌O層的上述基材并且在該第一電極層上依次蒸鍍上述有機(jī)層和第二電極層，該第二電極層為與上述第一電極層極性相反的電極。
8.—種有機(jī)EL兀件,在基材的一面?zhèn)染邆溆袡C(jī)EL膜,該有機(jī)EL膜具有第一電極層、包括發(fā)光層的有機(jī)層以及第二電極層，該第二電極層為與上述第一電極層極性相反的電極，該有機(jī)EL元件的特征在于， 在上述基材的與上述有機(jī)EL膜相反的一面?zhèn)日辰佑斜壬鲜龌能浀谋Ｗo(hù)膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機(jī)EL元件的制造方法及其制造裝置、有機(jī)EL元件，該有機(jī)EL元件的制造方法的特征在于，具備以下步驟提供帶狀的基材并且通過(guò)在該基材的一面?zhèn)戎辽僖来握翦儼òl(fā)光層的有機(jī)層和電極層來(lái)在上述基材上形成有機(jī)EL膜；以及將通過(guò)上述蒸鍍形成有上述有機(jī)EL膜的上述基材依次進(jìn)行卷繞，在上述卷繞過(guò)程中，還提供比上述基材軟的帶狀的保護(hù)膜，使上述保護(hù)膜粘接在上述基材的非蒸鍍面?zhèn)炔⑶覍⑸鲜龌呐c上述保護(hù)膜一起進(jìn)行卷繞。
文檔編號(hào)H01L51/52GK102779952SQ20121014747
公開(kāi)日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2012年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月13日
發(fā)明者中井孝洋, 市枝直子, 根岸伸和, 森田成紀(jì), 細(xì)川和人, 長(zhǎng)瀨純一 申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社