本發明涉及通信領域，尤其涉及一種標定映射尺寸的方法及裝置。

背景技術：

劃片機主要包括砂輪劃片機和激光劃片機，其中，砂輪劃片機結合水電氣、空氣靜壓高速主軸、精密機械傳動、傳感器及自動化控制等技術的精密數控設備；激光劃片機是利用高能激光束照射在工件表面，使被照射區域局部熔化、氣化、從而達到劃片的目的。在劃片機設備中經常通過機器視覺設備來實現自動識別功能，需要標定劃片機設備在對應的顯微鏡倍率下的映射尺寸，從而轉換工作臺的坐標和機器視覺設備的坐標。目前，標定映射尺寸的方法主要是使用手工標定，為了使標定精度更加準確，需要采用多次標定測量的方法，這樣，劃片機設備標定映射尺寸的操作過程過于復雜和繁瑣。

技術實現要素：

本發明實施例提供一種標定映射尺寸的方法及裝置，以解決現有的劃片機設備標定映射尺寸的操作過程過于復雜和繁瑣的問題。

第一方面，本發明實施例提供了一種標定映射尺寸的方法，應用于劃片機設備，包括：

在晶圓的橫向坐標軸方向與參考橫向坐標軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；

根據用戶設定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數量，并根據各晶粒內的模板的位置計算各晶粒的中心點坐標信息；

根據所述圖像信息中的晶粒數量、所述各晶粒的中心點坐標信息以及預先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機設備的映射尺寸。

可選地，所述圖像信息的橫向坐標軸方向的模板數大于或者等于2，以及所述圖像信息的縱向坐標軸方向的模板數大于或者等于2。

可選地，所述根據所述圖像信息中的晶粒數量、所述各晶粒的中心點坐標信息以及預先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機設備的映射尺寸的步驟，包括：

基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的橫向坐標軸方向的晶粒數量，以及預先確定的所述晶圓橫向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的橫向坐標軸的映射尺寸；

基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的縱向坐標軸方向的晶粒數量以及預先確定的所述晶圓縱向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的縱向坐標軸方向的映射尺寸。

可選地，所述基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的橫向坐標軸方向的晶粒數量，以及預先確定的所述晶圓橫向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的橫向坐標軸方向的映射尺寸的步驟，包括：

提取所述各晶粒的中心點坐標信息中最小橫坐標值和最大橫坐標值；

計算所述最大橫坐標值與最小橫坐標值的差值；

計算所述差值，與所述圖像信息中的橫向坐標軸方向的晶粒數量減1得到的數值的商值；

將所述預先確定的所述晶圓的橫向坐標軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機設備的坐標橫向坐標軸方向的映射尺寸。

可選地，所述基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的縱向坐標軸方向的晶粒數量，以及預先確定的所述晶圓縱向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的縱向坐標軸方向的映射尺寸的步驟，包括：

提取所述各晶粒的中心點坐標信息中最小縱坐標值和最大縱坐標值；

計算所述最大縱坐標值與最小縱坐標值的差值；

計算所述差值與所述圖像信息中的縱向坐標軸方向的晶粒數量減1得到的數值的商值；

將所述預先確定的所述晶圓的縱向坐標軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機設備的坐標縱向坐標軸方向的映射尺寸。

第二方面，本發明實施例還提供了標定映射尺寸的裝置，應用于劃片機設備，包括：

采集模塊，用于在晶圓的橫向坐標軸方向與參考橫向坐標軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；

第一確定模塊，用于根據用戶設定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數量，并根據各晶粒內的模板的位置計算各晶粒的中心點坐標信息；

第二確定模塊，用于根據所述圖像信息中的晶粒數量、所述各晶粒的中心點坐標信息以及預先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機設備的映射尺寸。

可選地，所述圖像信息的橫向坐標軸方向的模板數大于或者等于2，以及所述圖像信息的縱向坐標軸方向的模板數大于或者等于2。

可選地，，所述第二確定模塊包括：

第一確定單元，用于基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的橫向坐標軸方向的晶粒數量，以及預先確定的所述晶圓橫向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的橫向坐標軸的映射尺寸；

第二確定單元，用于基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的縱向坐標軸方向的晶粒數量以及預先確定的所述晶圓縱向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的縱向坐標軸方向的映射尺寸。

可選地，所述第一確定單元包括：

第一提取子單元，用于提取所述各晶粒的中心點坐標信息中最小橫坐標值和最大橫坐標值；

第一計算子單元，用于計算所述最大橫坐標值與最小橫坐標值的差值；

第二子算子單元，用于計算所述差值，與所述圖像信息中的橫向坐標軸方向的晶粒數量減1得到的數值的商值；

第三計算子單元，用于將所述預先確定的所述晶圓的橫向坐標軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機設備的坐標橫向坐標軸方向的映射尺寸。

可選地，所述第二確定單元包括：

第二提取子單元，用于提取所述各晶粒的中心點坐標信息中最小縱坐標值和最大縱坐標值；

第四計算子單元，用于計算所述最大縱坐標值與最小縱坐標值的差值；

第五計算子單元，計算所述差值，與所述圖像信息中的縱向坐標軸方向的晶粒數量減1得到的數值的商值；

第六計算子單元，將所述預先確定的所述晶圓的縱向坐標軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機設備的坐標縱向坐標軸方向的映射尺寸。

本發明實施例中，在晶圓的橫向坐標軸方向與參考橫向坐標軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；根據用戶設定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數量，并根據各晶粒內的模板的位置計算各晶粒的中心點坐標信息；根據所述圖像信息中的晶粒數量、所述各晶粒的中心點坐標信息以及預先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機設備的映射尺寸。這樣，不需要手工多次標定，只要校準晶圓的坐標以及設定模板就可以精準的確定劃片機設備的映射尺寸，使劃片機設備標定映射尺寸的過程更加簡單和便捷，同時還可以提高生產效率和節約成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例的技術方案，下面將對本發明實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發明實施例提供的一種標定映射尺寸的方法的流程圖；

圖2是本發明實施例提供的晶圓圖像的示意圖；

圖3是本發明實施例提供的一種標定映射尺寸的裝置的結構示意圖；

圖4是本發明實施例提供的另一種標定映射尺寸的裝置的結構示意圖；

圖5是本發明實施例提供的標定映射尺寸的裝置中的第一確定單元的結構示意圖；

圖6是本發明實施例提供的標定映射尺寸的裝置中的第二確定單元的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

第一實施例

參見圖1，圖1是本發明實施例提供的一種標定映射尺寸的方法的流程圖，如圖1所示，包括以下步驟：

步驟101、在晶圓的橫向坐標軸方向與參考橫向坐標軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息。

該步驟中，上述晶圓上印有圖案，可以選取精度較好的光刻片即印刷圖案的分度準確，保證圖像信息的橫向坐標軸方向的模板數大于或者等于2，以及所述圖像信息的縱向坐標軸方向的模板數大于或者等于2的情形下的晶圓的分度值越小越好；調整晶圓的橫向坐標軸方向與參考橫向坐標軸方向平行，以使對準晶圓，其中，對準的過程可以是手動對準也可以是設備自動對準；控制圖像采集設備采集晶圓的圖像信息，如控制攝像頭采集晶圓的圖像信息，并把圖像信息進行存儲。這樣，使設備獲取圖像信息中的晶粒數、晶粒的坐標信息、晶粒的分度值等信息更加方便。

步驟102、根據用戶設定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數量，并根據各晶粒內的模板的位置計算各晶粒的中心點坐標信息。

該步驟中，上述模板是晶粒的特征信息，用戶設定的模板要求在晶粒內是不重復的，這樣就可以通過檢測圖像中模板的數量就可以確定圖像信息中的晶粒數量；并且通過模板的位置信息計算各晶粒的中心點坐標信息，如圖2所示的晶圓圖像信息，假設用戶設定的模板是菱形，用F表示，通過確定菱形的數量就可以確定晶粒的數量，圖2中的晶粒數為20個，橫向坐標軸方向的晶粒數為4個，縱向坐標方向的晶粒數為5個，并且可以識別模板的坐標信息，如模板的各個邊緣的坐標信息，根據這些邊緣的坐標信息就可以計算各晶粒的中心點坐標信息。

步驟103、根據所述圖像信息中的晶粒數量、所述各晶粒的中心點坐標信息以及預先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機設備的映射尺寸。

該步驟中，上述映射尺寸為終端控制設備與劃片機設備之間的對應關系，如通過用戶在電腦終端上的進行操作，然后劃片機設備會根據其映射尺寸來進行相應的操作。確定所述劃片機設備的映射尺寸可以分別確定所述劃片機設備的橫向坐標軸的映射尺寸以及確定所述劃片機設備的縱向坐標軸的映射尺寸來確定所述劃片機設備的映射尺寸，其詳細過程在后面進行描述，為了避免重復此處不再累述；上述預先確定的所述晶圓的分度值可以通過基準線來測量兩個晶粒之間的距離，如可以通過基準線來測量晶圓的橫向坐標軸方向或者晶圓的縱向坐標軸方向的兩個晶粒之間的距離以確定所述晶圓的分度值。

可選地，所述圖像信息的橫向坐標軸方向的模板數大于或者等于2，以及所述圖像信息的縱向坐標軸方向的模板數大于或者等于2。

該實施方式中，通過選取符合橫向坐標軸方向的模板數大于或者等于2，以及所述晶圓的縱向坐標軸方向的模板數大于或者等于2的晶圓，這樣，確定劃片機的映射尺寸的時候會更加準確。

可選地，所述根據所述圖像信息中的晶粒數量、所述各晶粒的中心點坐標信息以及預先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機設備的映射尺寸的步驟，包括：

基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的橫向坐標軸方向的晶粒數量，以及預先確定的所述晶圓橫向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的橫向坐標軸的映射尺寸；

基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的縱向坐標軸方向的晶粒數量以及預先確定的所述晶圓縱向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的縱向坐標軸方向的映射尺寸。

該實施方式中，通過分別確定所述劃片機設備的橫向坐標軸的映射尺寸以及確定所述劃片機設備的縱向坐標軸的映射尺寸來確定所述劃片機設備的映射尺寸，不需要手工多次標定，只要校準晶圓的坐標以及設定模板就可以精準的確定劃片機設備的映射尺寸，使劃片機設備標定映射尺寸的過程更加簡單和便捷，同時還可以提高生產效率和節約成本。

可選地，所述基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的橫向坐標軸方向的晶粒數量，以及預先確定的所述晶圓橫向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的橫向坐標軸方向的映射尺寸的步驟，包括：

提取所述各晶粒的中心點坐標信息中最小橫坐標值和最大橫坐標值；

計算所述最大橫坐標值與最小橫坐標值的差值；

計算所述差值，與所述圖像信息中的橫向坐標軸方向的晶粒數量減1得到的數值的商值；

將所述商值與所述預先確定的所述晶圓的橫向坐標軸方向的分度值的比值作為所述劃片機設備的坐標橫向坐標軸方向的映射尺寸。

該實施方式中，各個晶粒的中心點坐標信息(W_xi，W_yi)，W_xi(W_x1，W_x2….i表示索引,從0開始)，W_yi(W_y1，W_y2…i表示索引，從0開始)。對上述晶粒的中心點坐標信息根據W_xi值進行從小到大排序，排序結果用(W_xi'，W_yi')表示；同理對上述晶粒的中心點坐標信息根據W_yi值進行從小到大排序，排序結果用(V_xi'，V_yi')表示。根據排序結果可以知道各晶粒的中心點坐標信息中最小縱坐標值和最大縱坐標值，假設最大橫坐標值為B，最小橫坐標值為A，預先確定的所述晶圓橫向坐標軸方向的分度值為X_i，計算得到所述晶圓橫向坐標軸方向的分度值為V_x＝(B-A)/(X_a-1)那么劃片機設備的坐標橫向坐標軸方向的映射尺寸為X_i/V_x，，其中X_a為圖像信息中的橫向坐標軸方向的晶粒數量，分度值X_i最好是平均值。

可選地，所述基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的縱向坐標軸方向的晶粒數量，以及預先確定的所述晶圓縱向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的縱向坐標軸方向的映射尺寸的步驟，包括：

提取所述各晶粒的中心點坐標信息中最小縱坐標值和最大縱坐標值；

計算所述最大縱坐標值與最小縱坐標值的差值；

計算所述差值，與所述圖像信息中的縱向坐標軸方向的晶粒數量減1得到的數值的商值；

將所述商值與所述預先確定的所述晶圓的縱向坐標軸方向的分度值的比值作為所述劃片機設備的坐標縱向坐標軸方向的映射尺寸。

該實施方式中，每個晶粒的中心點坐標信息(W_xi，W_yi)，W_xi(W_x1，W_x2….i表示索引,從0開始)，W_yi(W_y1，W_y2…i表示索引，從0開始)。對上述晶粒的中心點坐標信息根據W_xi值進行從小到大排序，排序結果用(W_xi'，W_yi')表示；同理對上述晶粒的中心點坐標信息根據W_yi值進行從小到大排序，排序結果用(V_xi'，V_yi')表示。根據排序結果可以知道各晶粒的中心點坐標信息中最小縱坐標值和最大縱坐標值，假設最大縱坐標值為D，最小縱坐標值為C，預先確定的所述晶圓縱向坐標軸方向的分度值為Y_i，計算得到所述晶圓縱向坐標軸方向的分度值為V_y＝(D-C)/(X_b-1)那么劃片機設備的坐標縱向坐標軸方向的映射尺寸為Y_i/V_y，其中，X_b為圖像信息中的縱向坐標軸方向的晶粒數量，分度值Y_i最好是平均值。

本發明實施例中，上述方法的可以是劃片機的中央處理器或者控制終端來執行，在晶圓的橫向坐標軸方向與參考橫向坐標軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；根據用戶設定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數量，并根據各晶粒內的模板的位置計算各晶粒的中心點坐標信息；根據所述圖像信息中的晶粒數量、所述各晶粒的中心點坐標信息以及預先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機設備的映射尺寸。這樣，不需要手工多次標定，只要校準晶圓的坐標以及設定模板就可以精準的確定劃片機設備的映射尺寸，使劃片機設備標定映射尺寸的過程更加簡單和便捷，同時還可以提高生產效率和節約成本。

第二實施例

參見圖3，圖3是本發明實施提供的標定映射尺寸的裝置的結構圖，如圖3所示，標定映射尺寸的裝置300包括：

采集模塊301，用于在晶圓的橫向坐標軸方向與參考橫向坐標軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；

第一確定模塊302，用于根據用戶設定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數量，并根據各晶粒內的模板的位置計算各晶粒的中心點坐標信息；

第二確定模塊303，用于根據所述圖像信息中的晶粒數量、所述各晶粒的中心點坐標信息以及預先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機設備的映射尺寸。

可選地，所述圖像信息的橫向坐標軸方向的模板數大于或者等于2，以及所述圖像信息的縱向坐標軸方向的模板數大于或者等于2。

可選地，如圖4所示，所述第二確定模塊303包括：

第一確定單元3031，用于基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的橫向坐標軸方向的晶粒數量，以及預先確定的所述晶圓橫向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的橫向坐標軸的映射尺寸；

第二確定單元3032，用于基于所述各晶粒的中心點坐標信息、所述圖像信息中的縱向坐標軸方向的晶粒數量以及預先確定的所述晶圓縱向坐標軸方向的分度值確定所述劃片機設備的縱向坐標軸方向的映射尺寸。

可選地，如圖5所示，第一確定單元3031包括：

第一提取子單元30311，用于提取所述各晶粒的中心點坐標信息中最小橫坐標值和最大橫坐標值；

第一計算子單元30312，用于計算所述最大橫坐標值與最小橫坐標值的差值；

第二子算子單元30313，用于計算所述差值，與所述圖像信息中的橫向坐標軸方向的晶粒數量減1得到的數值的商值；

第三計算子單元30314，用于將所述預先確定的所述晶圓的橫向坐標軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機設備的坐標橫向坐標軸方向的映射尺寸。

可選地，如圖5所示，所述第二確定單元3032包括：

第二提取子單元30321，用于提取所述各晶粒的中心點坐標信息中最小縱坐標值和最大縱坐標值；

第四計算子單元30322，用于計算所述最大縱坐標值與最小縱坐標值的差值；

第五計算子單元30323，計算所述差值，與所述圖像信息中的縱向坐標軸方向的晶粒數量減1得到的數值的商值；

第六計算子單元30324，將所述預先確定的所述晶圓的縱向坐標軸方向的分度值與所述商值的比值作為所述劃片機設備的坐標縱向坐標軸方向的映射尺寸。

標定映射尺寸的裝置300能夠實現圖1所述方法實施例中實現的各個過程，且能達到相同的技術效果，為避免重復，這里不再贅述。

本發明實施例的標定映射尺寸的裝置300，在晶圓的橫向坐標軸方向與參考橫向坐標軸方向平行的情況下，采集所述晶圓的圖像信息；根據用戶設定的模板確定所述圖像信息中的晶粒數量，并根據各晶粒內的模板的位置計算各晶粒的中心點坐標信息；根據所述圖像信息中的晶粒數量、所述各晶粒的中心點坐標信息以及預先確定的所述晶圓的分度值確定所述劃片機設備的映射尺寸。這樣，不需要手工多次標定，只要校準晶圓的坐標以及設定模板就可以精準的確定劃片機設備的映射尺寸，使劃片機設備標定映射尺寸的過程更加簡單和便捷，同時還可以提高生產效率和節約成本。

本領域普通技術人員可以意識到，結合本文中所公開的實施例描述的各示例的單元及算法步驟，能夠以電子硬件、或者計算機軟件和電子硬件的結合來實現。這些功能究竟以硬件還是軟件方式來執行，取決于技術方案的特定應用和設計約束條件。專業技術人員可以對每個特定的應用來使用不同方法來實現所描述的功能，但是這種實現不應認為超出本發明的范圍。

所屬領域的技術人員可以清楚地了解到，為描述的方便和簡潔，上述描述的系統、裝置和單元的具體工作過程，可以參考前述方法實施例中的對應過程，在此不再贅述。

在本申請所提供的實施例中，應該理解到，所揭露的裝置和方法，可以通過其它的方式實現。例如，以上所描述的裝置實施例僅僅是示意性的，例如，所述單元的劃分，僅僅為一種邏輯功能劃分，實際實現時可以有另外的劃分方式，例如多個單元或組件可以結合或者可以集成到另一個系統，或一些特征可以忽略，或不執行。另一點，所顯示或討論的相互之間的耦合或直接耦合或通信連接可以是通過一些接口，裝置或單元的間接耦合或通信連接，可以是電性，機械或其它的形式。

所述作為分離部件說明的單元可以是或者也可以不是物理上分開的，作為單元顯示的部件可以是或者也可以不是物理單元，即可以位于一個地方，或者也可以分布到多個網絡單元上。可以根據實際的需要選擇其中的部分或者全部單元來實現本發明實施例方案的目的。

另外，在本發明各個實施例中的各功能單元可以集成在一個處理單元中，也可以是各個單元單獨物理存在，也可以兩個或兩個以上單元集成在一個單元中。

所述功能如果以軟件功能單元的形式實現并作為獨立的產品銷售或使用時，可以存儲在一個計算機可讀取存儲介質中。基于這樣的理解，本發明的技術方案本質上或者說對現有技術做出貢獻的部分或者該技術方案的部分可以以軟件產品的形式體現出來，該計算機軟件產品存儲在一個存儲介質中，包括若干指令用以使得一臺計算機設備(可以是個人計算機，服務器，或者網絡設備等)執行本發明各個實施例所述方法的全部或部分步驟。而前述的存儲介質包括：U盤、移動硬盤、ROM、RAM、磁碟或者光盤等各種可以存儲程序代碼的介質。

以上所述，僅為本發明的具體實施方式，但本發明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發明揭露的技術范圍內，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本發明的保護范圍之內。因此，本發明的保護范圍應以權利要求的保護范圍為準。