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一種GaN基發光二極管外延片的生長方法與流程

文檔序號:12066141閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種GaN基發光二極管外延片的生長方法,其特征在于,所述生長方法包括:

在襯底上依次外延生長緩沖層、未摻雜GaN層、N型GaN層、應力釋放層、多量子阱層、P型電子阻擋層、P型GaN層;

其中,所述應力釋放層包括依次生長的第一GaN壘層、由交替層疊的InGaN層和GaN層組成的超晶格阱層、第二GaN壘層,所述第一GaN壘層生長采用的載氣為純凈的N2或者H2和N2的混合氣體,所述超晶格阱層生長采用的載氣為純凈的N2,所述第二GaN壘層生長采用的載氣為H2和N2的混合氣體。

2.根據權利要求1所述的生長方法,其特征在于,所述第一GaN壘層生長采用的H2和N2的混合氣體中,H2和N2的流量比為1:4~1:10。

3.根據權利要求1或2所述的生長方法,其特征在于,所述第二GaN壘層生長采用的H2和N2的混合氣體中,H2和N2的流量比為1:4~1:7。

4.根據權利要求1或2所述的生長方法,其特征在于,所述第二GaN壘層的厚度大于所述第一GaN壘層的厚度。

5.根據權利要求1或2所述的生長方法,其特征在于,所述第二GaN壘層的厚度為800~1600nm。

6.根據權利要求1或2所述的生長方法,其特征在于,所述第一GaN壘層、所述超晶格阱層、所述第二GaN壘層中均摻有Si。

7.根據權利要求6所述的生長方法,其特征在于,所述超晶格阱層中Si的摻雜濃度為所述第一GaN壘層中Si的摻雜濃度的1/10。

8.根據權利要求6所述的生長方法,其特征在于,所述第二GaN壘層中Si的摻雜濃度大于所述超晶格阱層中Si的摻雜濃度。

9.根據權利要求6所述的生長方法,其特征在于,所述第二GaN壘層中Si的摻雜濃度與所述第一GaN壘層中Si的摻雜濃度不同。

10.根據權利要求1或2所述的生長方法,其特征在于,所述應力釋放層的生長溫度為900~1050℃。

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