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制備低重稀土高矯頑力釹鐵硼磁體的方法與流程

文檔序號:12477057閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種制備低重稀土高矯頑力釹鐵硼磁體的方法,包括:

配料、熔煉、速凝鑄片;

采用物理氣相沉積方法,在惰性氣氛下將重稀土粒子或者高熔質粒子沉積在釹鐵硼薄片上;

進行破碎制粉、取向成型、燒結熱處理,制備釹鐵硼磁體。

2.如權利要求1所述制備低重稀土高矯頑力釹鐵硼磁體的方法,其特征在于:重稀土粒子采用Dy或者Tb元素的粒子,高熔質粒子采用W、Mo、V、Ti、Ta、Zr、Nb、Co、Cr或者Ga元素的粒子。

3.如權利要求1所述制備低重稀土高矯頑力釹鐵硼磁體的方法,其特征在于:惰性氣氛采用真空、充入氬氣或充入氦氣。

4.如權利要求1所述制備低重稀土高矯頑力釹鐵硼磁體的方法,其特征在于:物理氣相沉積的溫度為300~500℃,沉積速率為0.01~50μm/min。

5.如權利要求1至4任一項所述制備低重稀土高矯頑力釹鐵硼磁體的方法,其特征在于,沉積微量重稀土粒子的步驟包括:

選擇所需重稀土靶材;

將釹鐵硼合金薄片和重稀土靶材置于物理氣相沉積裝置內;

抽真空至真空度高于2.0×10-2Pa,充入氬氣至0.2~1.0Pa;

調節參數,對釹鐵硼薄片加熱,加熱溫度300~500℃;

開啟物理氣相沉積裝置,利用物理氣相沉積將靶材粒子沉積在釹鐵硼薄片上;

停止物理氣相沉積,待釹鐵硼薄片溫度降至室溫后取出;

將制得的釹鐵硼薄片破碎制粉、取向壓制成型、真空燒結、回火熱處理,獲得最終釹鐵硼磁體。

6.如權利要求5所述制備低重稀土高矯頑力釹鐵硼磁體的方法,其特征在于:物理氣相沉積采用磁控濺射沉積、離子鍍沉積或者蒸發源沉積;粒子沉積速率為0.01~50μm/min。

7.如權利要求6所述制備低重稀土高矯頑力釹鐵硼磁體的方法,其特征在于:重稀土靶材為Dy或Tb中至少一種元素的純金屬、合金或氧化物。

8.如權利要求1至4任一項所述制備低重稀土高矯頑力釹鐵硼磁體的方法,其特征在于,沉積高熔質粒子的步驟包括:

選擇所需高熔質靶材;

將釹鐵硼合金薄片和高熔質靶材分別置于物理氣相沉積裝置內;

抽真空至真空度高于2.0×10-2Pa,充入氬氣至0.2~1.0Pa;

調節參數,對釹鐵硼薄片加熱,加熱溫度300~500℃;

開啟物理氣相沉積裝置,利用物理氣相沉積將靶材粒子沉積在釹鐵硼薄片上;

停止物理氣相沉積,待釹鐵硼薄片溫度降至室溫后取出;

將制得的釹鐵硼薄片破碎制粉、取向壓制成型、真空燒結、回火熱處理,獲得最終釹鐵硼磁體。

9.如權利要求8所述制備低重稀土高矯頑力釹鐵硼磁體的方法,其特征在于:高熔質靶材采用W、Mo、V、Ti、Ta、Zr、Nb、Co、Cr或者Ga中至少一種元素的純金屬、合金或氧化物。

10.如權利要求8所述制備低重稀土高矯頑力釹鐵硼磁體的方法,其特征在于:物理氣相沉積采用磁控濺射沉積、離子鍍沉積或者蒸發源沉積,粒子沉積速率為0.01~50μm/min。

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