本發明涉及膜層以及電池制備方法，具體涉及鈍化膜層以及perc電池制備方法。
背景技術：
：常規的化石燃料日益消耗殆盡，在現有的可持續能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源，太陽能發電裝置又稱為太陽能電池或光伏電池，可以將太陽能直接轉換成電能，其發電原理是基于半導體pn結的光生伏特效應，隨著科技的發展，出現了局部接觸背鈍化perc太陽能電池，其核心是在硅片的背面用氧化鋁和氮化硅覆蓋，以起到鈍化表面、提高長波響應的作用，從而提升電池的轉換效率，現有的氧化鋁沉積方式主要有兩種：pecvd法和ald法，而ald制備氧化鋁后必須要有退火過程，故perc制備過程背面氧化鋁若是使用ald法制備氧化鋁則需增加退火步驟，退火的目的是來激活氧化鋁中的氫，去除-ch3和-oh基團，在不經過退火的情況下，印刷后燒結時背面sinx薄膜中存在的大量的氫與氧化鋁中的-ch3和-oh結合形成ch4或者h2o，在高溫下聚集逃逸時破壞氧化鋁和sinx薄膜，使得鈍化效果變差降低電池片的電性能，而且對電池片的光衰影響較大，ald法后使用pecvd做集成退火和背面鍍膜，當在背面鍍膜之后做正面鍍膜時，硅片表面還會存在明顯繞鍍導致外觀色差，還延長了背膜的整體工藝時間。技術實現要素：發明目的：本發明的目的在于針對現有技術的不足，提供一種perc電池背面鈍化膜層以及包含有該膜層的基于ald工藝的perc電池制備方法，改善單晶體薄膜表面形態和繞鍍色差，提升了電池轉換效率。技術方案：本發明所述的一種perc電池背面鈍化膜層，包括perc電池硅襯底表面向外依次先后沉積的背面氧化鋁層、背面sionx層和背面sinx層。基于ald工藝的perc電池制備方法，包括如下步驟：1)制絨；2)擴散；3)背面拋光、刻蝕和去磷硅玻璃；4)背面ald制備氧化鋁；5)正面pecvd沉積sinx減反射膜；6)背面pecvd沉積背面鈍化膜層；7)背面激光局部開口；8)絲網印刷、燒結；其中步驟6)背面pecvd沉積背面鈍化膜層過程中，硅片進入爐管后，爐管溫度升溫至400℃～600℃，先沉積sionx膜后沉積sinx膜。優選的，背面鈍化膜層中sionx層的沉積厚度為30～80nm，折射率為1.5～2.0；優選的，背面鈍化膜層中sinx層的沉積厚度為80～250nm，折射率為1.9～2.4；沉積背面鈍化膜層過程中sih4、nh3、n2o氣體同時淀積生成sionx膜，sih4、nh3淀積生成sinx膜。有益效果：本發明的perc電池背面鈍化膜層，起關鍵作用的是sionx和sinx兩者的疊加的效果，單一的sionx層和單一的sinx都無法達到兩者疊加的效果，基于ald工藝的perc電池制備方法中，省去ald制備氧化鋁后的單獨退火過程，克服了傳統方法的技術偏見，縮短制造流程，減少投入成本，提高產率，提升電池轉換效率，且背面鍍膜之后做正面鍍膜時，單晶硅片表面顏色均勻，有效的改善了電池外觀。附圖說明圖1為傳統ald方法制備的perc半成品沒有退火時背面膜層燒結后顯微鏡下形態；圖2為本發明方法制備的perc半成品背面膜層燒結后顯微鏡下形態：圖3為本發明方法制備的perc半成品正面外觀；圖4為集成退火方法制備的perc半成品正面外觀；圖5為本發明perc電池背面鈍化膜層的結構示意圖。具體實施方式下面對本發明技術方案進行詳細說明，但是本發明的保護范圍不局限于所述實施例。如圖5所示，本發明的一種perc電池背面鈍化膜層，包括perc電池硅襯底1表面向外依次先后沉積的背面氧化鋁層2、背面sionx層3和背面sinx層4，包含有該鈍化膜層的基于ald工藝的perc電池制備方法，包括步驟：1)單晶硅片堿制絨；2)擴散；3)背面拋光、刻蝕和去磷硅玻璃；4)背面ald制備氧化鋁；5)正面pecvd沉積sinx減反射膜；6)背面pecvd沉積sionx和sinx疊層膜，經過石墨舟裝載進入pecvd爐管后，將爐管溫度升至400-600℃，先沉積sionx層，后沉積sinx層，sionx層是由sih4、nh3、n2o同時淀積生成，sinx層是由sih4、nh3淀積生成，sionx層的沉積厚度為30～80nm，折射率為1.5～2.0，sinx層的沉積厚度為80～250nm，折射率為1.9～2.4；7)背面激光局部開口；8)絲網印刷、燒結，得到perc太陽能電池，將完成步驟6)的半成品直接經過燒結，如圖1和2所示，經顯微鏡觀察本發明的方法與傳統方法制備相比，本發明方法制備的perc太陽能電池背面膜層無小氣泡。對比實驗1：使用單獨退火爐退火流程制備的perc電池：1)單晶硅片堿制絨；2)擴散；3)背面拋光、刻蝕和去磷硅玻璃；4)背面ald制備氧化鋁；5)退火爐退火；6)背面pecvd沉積sinx；7)正面pecvd沉積sinx減反射膜；8)背面激光局部開口；9)絲網印刷、燒結可得perc電池，與本發明所得perc電池電性能對比如下表1：組別△uoc/v△isc/a△ff△eta爐管單獨退火0.0000.0000.000.00％本發明0.0000.0270.320.15％表1本發明方法制備的perc電池效率較傳統方法單獨退火爐退火流程制備perc電池高0.15％，克服了傳統方法的技術偏見，優勢明顯。對比實驗2：使用pecvd集成退火背面鍍膜流程制備的perc電池有兩種方法，一種是集成退火背面鍍單層sinx膜：1)單晶硅片堿制絨；2)擴散；3)背面拋光、刻蝕和去磷硅玻璃；4)背面ald制備氧化鋁；5)背面pecvd集成退火沉積單層sinx；6)正面pecvd沉積sinx減反射膜；7)背面激光局部開口；8)絲網印刷、燒結；另一種為集成退火背面鍍siox和sinx的疊層膜：1)單晶硅片堿制絨；2)擴散；3)背面拋光、刻蝕和去磷硅玻璃；4)背面ald制備氧化鋁；5)背面pecvd集成退火沉積siox和sinx的疊層膜；6)正面pecvd沉積sinx減反射膜；7)背面激光局部開口；8)絲網印刷、燒結可得perc電池；兩種方法所得perc電池的電性能與本發明所得perc電池電性能相比如下表2：表2本發明制備perc電池效率較集成退火鍍單層sinx膜制備perc電池高0.1％，較集成退火鍍siox和sinx疊層膜制備perc電池效率高0.12％，克服了傳統方法的技術偏見優勢明顯。如圖3和圖4所示，本發明方法制備的perc太陽能電池其正面外觀較集成退火方式制備perc電池均勻。對比實驗3：使用ald制備perc半成品不經過退火，步驟如下：1)單晶硅片堿制絨；2)擴散；3)背面拋光、刻蝕和去磷硅玻璃；4)背面ald制備氧化鋁；5)背面pecvd沉積sinx膜；6)正面pecvd沉積sinx減反射膜；將半成品經過燒結在顯微鏡下觀察背膜形態如圖1所示，存在大量的小氣泡。如上所述，盡管參照特定的優選實施例已經表示和表述了本發明，但其不得解釋為對本發明自身的限制。在不脫離所附權利要求定義的本發明的精神和范圍前提下，可對其在形式上和細節上作出各種變化。當前第1頁12