技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種PERC電池背面鈍化膜層，包括PERC電池硅襯底表面向外依次先后沉積的背面氧化鋁層、背面SiONx層和背面SiNx層，還公開了基于ALD工藝的PERC電池制備方法，包括如下步驟：制絨；擴散；背面拋光、刻蝕和去磷硅玻璃；背面ALD制備氧化鋁；正面PECVD沉積SiNx減反射膜；背面PECVD沉積背面鈍化膜層；背面激光局部開口；絲網印刷、燒結；其中，背面PECVD沉積背面鈍化膜層過程中，硅片進入爐管后，爐管溫度升溫至400℃～600℃，先沉積SiONx膜后沉積SiNx膜。本發(fā)明的PERC電池背面鈍化膜層以及電池制備方法，電池轉換效率高，省去ALD制備氧化鋁后的單獨退火過程，減少投入成本，提升電池轉換效率，且背面鍍膜之后做正面鍍膜時，單晶硅片表面顏色均勻，有效改善電池外觀。

技術研發(fā)人員：瞿輝;徐春;曹玉甲;梅靜靜
受保護的技術使用者：江蘇順風光電科技有限公司
技術研發(fā)日：2017.04.28
技術公布日：2017.07.21