本技術(shù)涉及晶圓存儲，具體為一種半導(dǎo)體晶圓石英舟。

背景技術(shù)：

1、石英舟又名石英玻璃，石英玻璃是以含二氧化硅物質(zhì)，如水晶、硅石，四氧化硅為原料高溫熔制而成?，其二氧化硅含量比普通玻璃高得多，一般石英玻璃二氧化硅含量在99.999％，石英玻璃具有優(yōu)異的光學(xué)性能，不僅可見光透光度特別好，而且透紫外線，紅外線，石英玻璃是良好的耐酸材料。

2、現(xiàn)有的可參考公告號為：cn214099605u的中國實用新型專利，其公開了一種半導(dǎo)體晶圓石英舟，包括底板和半導(dǎo)體晶圓石英舟本體，所述底板的頂面開設(shè)有兩個對稱分布的滑槽，滑槽內(nèi)均滑動連接有兩個滑塊，相鄰的兩個滑塊的頂面均固定連接有與底板頂面滑動連接的安裝板，安裝板的頂面設(shè)置有定位機構(gòu)和抵緊機構(gòu)，抵緊機構(gòu)上放置有半導(dǎo)體晶圓石英舟本體，底板的頂面兩端均固定連接有對稱分布的伸縮桿。該實用新型，本裝置能夠利用定位機構(gòu)和抵緊機構(gòu)將半導(dǎo)體晶圓石英舟本體在載物板上進行抵緊，并利用轉(zhuǎn)動電機對其進行轉(zhuǎn)動，從而配合海綿塊對半導(dǎo)體晶圓石英舟本體的內(nèi)壁進行刮拭清潔，較為方便，從而為半導(dǎo)體晶圓石英舟本體的使用帶來一定的便捷。

3、現(xiàn)有的晶圓石英舟一般為固定的四根開槽石英柱來限制晶圓的位置，這種方式僅能夠?qū)A起到支撐作用，在移動的過程中晶圓可能會從石英柱的凹槽內(nèi)顛出，同時現(xiàn)有的晶圓石英舟為開放式結(jié)構(gòu)，空氣中的灰塵可能會附著在晶圓表面。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、（一）解決的技術(shù)問題

2、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種半導(dǎo)體晶圓石英舟，具備避免灰塵附著在晶圓表面，并且能夠在移動過程中限制晶圓位置等優(yōu)點，解決了上述技術(shù)問題。

3、（二）技術(shù)方案

4、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體晶圓石英舟，包括：限位框，所述限位框的外側(cè)固定安裝有限位環(huán)，所述限位框的前側(cè)固定安裝有把手，所述限位框的內(nèi)部固定安裝有限位塊，所述限位塊的表面固定安裝有橡膠墊，所述限位框的內(nèi)部活動安裝有限位板，所述限位板的上方穿插安裝有限位柱，所述限位板的下方穿插安裝有支撐柱，所述限位框的上方嵌合安裝有頂蓋，所述頂蓋的上方穿插安裝有連接柱，所述連接柱的外側(cè)穿插安裝有下壓彈簧，所述連接柱的下端固定安裝有連接塊，所述連接塊的內(nèi)部穿插安裝有下壓柱；所述限位框能夠?qū)A起到保護作用。

5、作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述限位環(huán)固定安裝于限位框外側(cè)立面的上方，所述限位環(huán)的頂面與頂蓋的底面接觸，所述把手以限位框的中心為基準(zhǔn)前后鏡像對稱安裝于限位框的前后兩側(cè)立面的中心；所述限位環(huán)能夠?qū)斏w起到支撐作用。

6、作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述限位塊的后側(cè)立面上端為坡面結(jié)構(gòu)，所述橡膠墊固定安裝于限位塊坡面結(jié)構(gòu)以及后側(cè)立面外側(cè)，所述限位塊以限位框的中心為基準(zhǔn)前后鏡像對稱安裝于限位框內(nèi)腔的底面；所述限位塊能夠限制限位板的位置。

7、作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述限位板以限位柱的中心為基準(zhǔn)前后對稱安裝于限位柱的前后兩端，所述限位板與橡膠墊接觸，所述限位柱以限位板的中心為基準(zhǔn)左右鏡像對稱安裝于限位板上端的左右兩側(cè)；所述限位板能夠限制限位柱與支撐柱的位置。

8、作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述限位板左右兩側(cè)限位柱的凹槽結(jié)構(gòu)相對，所述支撐柱以限位板的中心為基準(zhǔn)左右對稱安裝于限位板的下端，且支撐柱的凹槽結(jié)構(gòu)指向限位板的中心；所述支撐柱能夠?qū)A起到支撐作用。

9、作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述頂蓋與限位框之間構(gòu)成滑動連接，所述連接柱以頂蓋的中心為基準(zhǔn)前后對稱安裝于頂蓋的前后兩側(cè)，所述連接柱于頂蓋之間構(gòu)成滑動連接；所述連接柱能夠限制下壓彈簧的位置。

10、作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述下壓柱以連接塊的中心為基準(zhǔn)左右對稱安裝于連接塊的左右兩側(cè)，所述下壓柱的凹槽結(jié)構(gòu)指向限位板的中心；所述下壓柱能夠限制晶圓的位置。

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供了一種半導(dǎo)體晶圓石英舟，具備以下有益效果：

12、1、本實用新型通過下壓彈簧的設(shè)置，下壓彈簧穿插安裝于連接柱的外側(cè)，下壓彈簧的上端與頂蓋內(nèi)腔的頂面，同時下壓彈簧的下端與連接塊接觸，晶圓在放置于支撐柱上方時，晶圓會受到支撐柱的支撐，同時晶圓的兩側(cè)會位于限位柱的凹槽內(nèi)，在頂蓋穿插安裝于限位框的上方時下壓柱的凹槽會與晶圓接觸，連接塊的位置會被晶圓限制，在頂蓋向下移動與限位環(huán)接觸時，下壓彈簧會在晶圓的支撐以及頂蓋的重力作用下收縮，通過下壓彈簧收縮時的反作用力限制晶圓的位置，從而避免晶圓在移動的過程中上下移動。

13、2、本實用新型通過限位框的設(shè)置，限位框的內(nèi)部以限位框的中心為基準(zhǔn)前后鏡像對稱安裝有限位塊，限位柱與支撐柱能夠限制限位板的位置，使限位板位于限位塊之間的位置，同時頂蓋嵌合安裝于限位框的頂端，這種方式能夠使晶圓在限制于支撐柱上方后位于限位框的內(nèi)部，同時頂蓋能夠阻擋外部灰塵進入限位框的內(nèi)部，以避免灰塵附著于晶圓的表面。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體晶圓石英舟，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓石英舟，其特征在于：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓石英舟，其特征在于：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓石英舟，其特征在于：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓石英舟，其特征在于：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓石英舟，其特征在于：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓石英舟，其特征在于：

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及晶圓存儲技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種半導(dǎo)體晶圓石英舟。該一種半導(dǎo)體晶圓石英舟包括：限位框，所述限位框的外側(cè)固定安裝有限位環(huán)，所述限位框的前側(cè)固定安裝有把手，所述限位框的內(nèi)部固定安裝有限位塊，所述限位塊的表面固定安裝有橡膠墊，所述限位框的內(nèi)部活動安裝有限位板，晶圓在放置于支撐柱上方時，晶圓會受到支撐柱的支撐，同時晶圓的兩側(cè)會位于限位柱的凹槽內(nèi)，在頂蓋穿插安裝于限位框的上方時下壓柱的凹槽會與晶圓接觸，連接塊的位置會被晶圓限制，在頂蓋向下移動與限位環(huán)接觸時，下壓彈簧會在晶圓的支撐以及頂蓋的重力作用下收縮，通過下壓彈簧收縮時的反作用力限制晶圓的位置，從而避免晶圓在移動的過程中上下移動。

技術(shù)研發(fā)人員：孫克選,喬慶功,孫興勇,朱孟路,單文昶,王榮,邱志榮,李兵,焦思宇,張國慶
受保護的技術(shù)使用者：連云港雙石特種玻璃有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240611
技術(shù)公布日：2025/3/10