本申請涉及晶圓載具，特別是涉及晶圓料盒。

背景技術：

1、晶圓料盒是用于存放晶圓的載具，方便實現大量晶圓的轉運。常規的晶圓料盒，通過在料盒的內壁上設置支撐槽，僅晶圓的周緣支撐在支撐槽內。此種料盒結構，若晶圓存在翹曲，料盒無法對晶圓進行全方位支撐，導致位于上層支撐槽所對應的空間內的晶圓的最低點位置容易下垂到下一層支撐槽所對應的空間內，影響相鄰層晶圓的存放。而且，晶圓正放或者反放在料盒內時，發生翹曲的晶圓的最高點和最低點在料盒內的位置會不同，影響機械手進出料盒取放晶圓，容易導致機械手撞片。

技術實現思路

1、基于此，有必要針對晶圓料盒容易受晶圓翹曲影響其他層晶圓存放以及機械手撞片的問題，提供一種晶圓料盒。

2、一種晶圓料盒，所述晶圓料盒包括：

3、盒體，形成有料腔以及供晶圓取放的開口；

4、多個托盤，沿所述晶圓料盒的高度方向依次間隔設置于所述料腔內，每一所述托盤包括底板，每相鄰兩個所述托盤的所述底板之間形成供晶圓存放的存放空間；

5、其中，所述底板的上表面用于承托位于所述存放空間內的晶圓，且所述底板包括相連接的邊緣支撐部和中間支撐部，所述邊緣支撐部環繞所述中間支撐部連續設置，所述中間支撐部用于支撐晶圓的中部區域，所述邊緣支撐部用于支撐晶圓的輪廓邊緣。

6、在一些實施例中，所述底板的上表面構造為光滑表面。

7、在一些實施例中，所述底板包括多個銜接部，各所述銜接部連接于在所述邊緣支撐部和所述中間支撐部之間；

8、相鄰所述銜接部之間間隔形成有減重孔。

9、在一些實施例中，所述底板的前端邊緣位置和/或所述銜接部的邊緣位置設置倒圓角。

10、在一些實施例中，所述邊緣支撐部朝向所述開口的一側延伸形成有支撐凸邊，所述支撐凸邊的邊緣呈倒圓角。

11、在一些實施例中，所述托盤還包括擋邊，所述擋邊設置于所述底板，且相對所述底板的上表面凸出設置，所述擋邊位于所述邊緣支撐部的外圍，且避讓所述開口。

12、在一些實施例中，所述托盤包括多個所述擋邊，多個所述擋邊圍繞所述邊緣支撐部間隔設置。

13、在一些實施例中，所述托盤卡接裝配于所述盒體內。

14、在一些實施例中，所述底板的邊緣設置有卡合部；所述盒體包括圍繞形成所述料腔的多個立柱，至少部分所述立柱上設置有卡槽，所述卡合部卡接于所述卡槽內。

15、在一些實施例中，所述底板朝向所述盒體凸出設置有安裝凸邊，所述安裝凸邊上設置有所述卡合部。

16、上述晶圓料盒，底板的邊緣支撐部可以對晶圓的輪廓邊緣進行360度支撐，底板的中間支撐部可以對晶圓的中部區域進行支撐。在實際應用時，當晶圓處于向下翹曲的形態，晶圓的最低點可被底板的邊緣支撐部有效支撐，當晶圓處于向上翹曲的形狀，晶圓的最低點可被底板的中間支撐部有效支撐。

17、無論晶圓處于何種翹曲形態，晶圓的最低點均能夠形成所在存放空間的底板有效支撐，晶圓的最低點不會下垂到下一層存放空間內，不會影響到下層存放空間內晶圓的存放。而且，無論晶圓正放還是反放在底板上，晶圓的最低點與最高點的位置不會改變，可使得機械手進出料盒取放晶圓變得簡單可靠，大大減少機械手撞片的概率。

技術特征：

1.一種晶圓料盒，其特征在于，所述晶圓料盒包括：

2.根據權利要求1所述的晶圓料盒，其特征在于，所述底板(21)的上表面構造為光滑表面。

3.根據權利要求1所述的晶圓料盒，其特征在于，所述底板(21)包括多個銜接部(21c)，各所述銜接部(21c)連接于在所述邊緣支撐部(21a)和所述中間支撐部(21b)之間；

4.根據權利要求3所述的晶圓料盒，其特征在于，所述底板(21)的前端邊緣位置和/或所述銜接部(21c)的邊緣位置設置倒圓角。

5.根據權利要求1所述的晶圓料盒，其特征在于，所述邊緣支撐部(21a)朝向所述開口(k)的一側延伸形成有支撐凸邊(a1)，所述支撐凸邊(a1)的邊緣呈倒圓角。

6.根據權利要求1至5任一項所述的晶圓料盒，其特征在于，所述托盤(20)還包括擋邊(22)，所述擋邊(22)設置于所述底板(21)，且相對所述底板(21)的上表面凸出設置；所述擋邊(22)位于所述邊緣支撐部(21a)的外圍，且避讓所述開口(k)。

7.根據權利要求6所述的晶圓料盒，其特征在于，所述托盤(20)包括多個所述擋邊(22)，多個所述擋邊(22)圍繞所述邊緣支撐部(21a)間隔設置。

8.根據權利要求1至5任一項所述的晶圓料盒，其特征在于，所述托盤(20)卡接裝配于所述盒體(10)內。

9.根據權利要求8所述的晶圓料盒，其特征在于，所述底板(21)的邊緣設置有卡合部(c2)；所述盒體(10)包括圍繞形成所述料腔(q)的多個立柱(11)，至少部分所述立柱(11)上設置有卡槽(c1)，所述卡合部(c2)卡接于所述卡槽(c1)內。

10.根據權利要求9所述的晶圓料盒，其特征在于，所述底板(21)朝向所述盒體(10)凸出設置有安裝凸邊(21d)，所述安裝凸邊(21d)上設置有所述卡合部(c2)。

技術總結
本申請涉及一種晶圓料盒，包括盒體和多個托盤。盒體形成有料腔以及供晶圓取放的開口。多個托盤沿晶圓料盒的高度方向依次間隔設置于料腔內。每一托盤包括底板，每相鄰兩個托盤的底板之間形成供晶圓存放的存放空間。其中，底板的上表面用于承托位于存放空間內的晶圓，且底板包括相連接的邊緣支撐部和中間支撐部，邊緣支撐部環繞中間支撐部連續設置，中間支撐部用于支撐晶圓的中部區域，邊緣支撐部用于支撐晶圓的輪廓邊緣。本申請的方案，無論晶圓處于何種翹曲形態，晶圓的最低點均能夠形成所在存放空間的底板有效支撐，不會影響到下層存放空間內晶圓的存放。而且，還能夠大大減少機械手撞片的概率。

技術研發人員：區歡,劉遠坤,王建瑋,舒貽勝
受保護的技術使用者：杭州長川科技股份有限公司
技術研發日：20240613
技術公布日：2025/4/28