1.一種驅動電路,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的電路,其特征在于,所述驅動模塊包括第一開關子模塊,驅動子模塊;
3.根據權利要求2所述的電路,其特征在于,所述電源轉換模塊包括電源轉換子模塊及第一隔離子模塊;
4.根據權利要求3所述的電路,其特征在于,所述第一隔離子模塊包括第一電容。
5.根據權利要求4所述的電路,其特征在于,所述電源轉換模塊還包括第二電容,第三電容,第四電容及第一電感;所述第一電感的第一端與所述第二電容的第一端電連接,所述第一電感的第二端、所述第三電容的第一端與所述電源轉換子模塊的第三端電連接,所述第二電容的第二端及第三電容的第二端與所述電源轉換子模塊的第四端電連接;所述第四電容的一端與所述電源轉換子模塊的第一端電連接,所述第四電容的另一端與所述電源轉換子模塊的第二端電連接。
6.根據權利要求3-5任一項所述的電路,其特征在于,所述驅動模塊還包括:第一電阻,第五電容,第六電容,第二電阻;
7.根據權利要求6所述的電路,其特征在于,所述濾波模塊包括第七電容及第三電阻;所述第七電容及所述第三電阻并聯,且所述第七電容及第三電阻的一端與所述驅動子模塊的輸出端電連接,所述第七電容及第三電阻的另一端與所述電源轉換子模塊的第二端電連接。
8.一種等離子體電源電路,其特征在于,包括權利要求1-7任一項所述的驅動電路,三電平高頻逆變電路及高頻電壓轉換電路;
9.根據權利要求8所述的電路,其特征在于,所述三電平高頻逆變電路中的開關器件為sic的開關器件。
10.根據權利要求8或9所述的電路,其特征在于,所述高頻電壓轉換電路包括高頻變壓器;所述高頻變壓器滿足預設條件;
11.一種等離子體系統,其特征在于,包括:權利要求8-10任一項所述的等離子體電源電路及等離子負載。
12.根據權利要求11所述的系統,其特征在于,所述等離子負載包括等離子體旋轉式噴槍及負載等離子體直噴式噴槍中的至少一個。