專利名稱：Ipa霧化干燥機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種對硅片的清洗的IPA霧化干燥機。
背景技術：
IPA霧化干燥機主要用于對硅片的清洗，以往要用IPA清洗硅片時，是把硅片放 入IPA液體內進行浸泡清洗，但是這種清洗既洗不干凈也浪費材料并且效率也低。
實用新型內容本實用新型的目的是提供一種IPA霧化干燥機，解決常用的清洗設備在IPA液體 內浸泡清洗，效率低而且浪費嚴重的問題。本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的。IPA霧化干燥機，包括石英缸、鋁板加熱器、冷卻盤管和提升裝置，在整個設備 的頂部設置有風機，在所述冷卻盤管位于石英缸的上部側面，所述鋁板加熱器位于石英 缸的下部，所述提升裝置位于石英缸的中心上部，在石英缸內提升產品。所述冷卻盤管 的外部連接冷水循環機。整個設備的外圍還設置有二氧化碳滅火器。石英缸的下部通過 管路連接到廢液箱，可以將廢液收集起來。本公司所制作IPA霧化干燥機，(1)它首先是讓IPA受熱蒸發，然后再利用石 英缸頂部冷卻盤管使它直接落在要洗的硅片上，這樣就要比直接放在IPA液體里洗的干 凈。(2)我公司的設備，它上下放置硅片是利用提升機構來實現的，這樣可避免人直接接 觸到IPA液體，并且它提高了工廠的生產效率。(3)本設備所洗硅片的時間、批次、溫度 的高低、等參數是可以根據PLC來控制。并且我公司的程序可根據用戶所要求的工藝的 不同來設定，已達到高效率的生產。IPA干燥劑的工作原理是手動把液體(IPA)注入到石英缸(1)內，然后通過石英 缸底部的鋁板加熱器(2)，把里面的液體加熱到82.7°C，當里面的液體達到溫度時，就會 使里面的液體氣化，當氣化的液體遇到石英缸頂部的冷卻盤管(3)時，就會結晶落到石 英缸里面花籃中的硅片上，使硅片得以洗干凈，利用設備的提升機構把花籃中的硅片提 出來，然后手動排出廢液。
下面根據附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細說明。圖1是本實用新型實施例所述的IPA霧化干燥機風機部分的結構示意圖；圖2是本實用新型實施例所述的IPA霧化干燥機的整體結構示意圖。
具體實施方式
如圖1至2所示，IPA霧化干燥機，包括石英缸1、鋁板加熱器2、冷卻盤管3和 提升裝置5，在整個設備的頂部設置有風機6，在所述冷卻盤管3位于石英缸1的上部側面，所述鋁板加熱器2位于石英缸1的下部，所述提升裝置5位于石英缸1的中心上部， 在石英缸1內提升產品。所述冷卻盤管3的外部連接冷水循環機9。整個設備的外圍還 設置有二氧化碳滅火器8。石英缸1的下部通過管路連接到廢液箱7，可以將廢液收集起來。本公司所制作IPA霧化干燥機，(1)它首先是讓IPA受熱蒸發，然后再利用石 英缸頂部冷卻盤管使它直接落在要洗的硅片上，這樣就要比直接放在IPA液體里洗的干 凈。(2)我公司的設備，它上下放置硅片是利用提升機構來實現的，這樣可避免人直接接 觸到IPA液體，并且它提高了工廠的生產效率。(3)本設備所洗硅片的時間、批次、溫度 的高低、等參數是可以根據PLC來控制。并且我公司的程序可根據用戶所要求的工藝的 不同來設定，已達到高效率的生產。IPA干燥劑的工作原理是手動把液體(IPA)注入到石英缸(1)內，然后通過石英 缸底部的鋁板加熱器(2)，把里面的液體加熱到82.7°C，當里面的液體達到溫度時，就會 使里面的液體氣化，當氣化的液體遇到石英缸頂部的冷卻盤管(3)時，就會結晶落到石 英缸里面花籃中的硅片上，使硅片得以洗干凈，利用設備的提升機構把花籃中的硅片提 出來，然后手動排出廢液。
權利要求1.IPA霧化干燥機，包括石英缸、鋁板加熱器、冷卻盤管和提升裝置，其特征在于， 在所述冷卻盤管位于石英缸的上部側面，所述鋁板加熱器位于石英缸的下部，所述提升 裝置位于石英缸的中心上部，在石英缸內提升產品。
2.根據權利要求1所述的IPA霧化干燥機，其特征在于，在整個設備的頂部設置有風機。
3.根據權利要求1所述的IPA霧化干燥機，其特征在于，所述冷卻盤管的外部連接冷 水循環機。
4.根據權利要求1所述的IPA霧化干燥機，其特征在于，石英缸的下部通過管路連接 到廢液箱。
專利摘要IPA霧化干燥機，包括石英缸、鋁板加熱器、冷卻盤管和提升裝置，在整個設備的頂部設置有風機，在所述冷卻盤管位于石英缸的上部側面，所述鋁板加熱器位于石英缸的下部，所述提升裝置位于石英缸的中心上部，在石英缸內提升產品。所述冷卻盤管的外部連接冷水循環機。整個設備的外圍還設置有二氧化碳滅火器。本公司所制作IPA霧化干燥機，首先是讓IPA受熱蒸發，然后再利用石英缸頂部冷卻盤管使它直接落在要洗的硅片上，這樣就要比直接放在IPA液體里洗的干凈。上下放置硅片是利用提升機構來實現的，這樣可避免人直接接觸到IPA液體，并且它提高了工廠的生產效率。本設備所洗硅片的時間、批次、溫度的高低、等參數是可以根據PLC來控制。
文檔編號B08B3/10GK201791690SQ20102023496
公開日2011年4月13日 申請日期2010年6月24日 優先權日2010年6月24日
發明者劉金升, 祁延山, 裴文龍 申請人:蘇州華林科納半導體設備技術有限公司