專利名稱：：偏角度多線切割方法及其切割裝置的制作方法
技術領域：
：本發明涉及一種多線鋸切割方法及其切割裝置，尤其是偏角度多線鋸切割方法及其切割裝置。
背景技術：
：傳統工藝中將硅錠切割成多片硅片的方法是不偏角度的，具體如下傳統工藝中將硅錠切割成多片硅片的方法，同時多線切割經過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角A1，第一上外頂角B1，第一下外頂角C1，第一下內頂角D1;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;其特征在于第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離與第一下內頂角Dl垂直于水平線的距離相同；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離與第二下內頂角D2垂直于水平線的距離相同。傳統工藝中將硅錠切割成多片硅片的方法，第一塊硅錠和第二塊硅錠在固定的時候完全與水平面平行，并且切割線與硅錠的底部是平行的，沒有偏角度。這樣的操作是符合切割設備廠商提供的正統的操作，因而很少有技術人員會將此方法進行改動。在傳統的不偏角度的切割中，多線切割各重10公斤的兩塊硅錠至全部為硅片結束，整個切割過程一般需要428-432分鐘。
發明內容本發明的目的在于提供偏角度多線鋸切割方法及其切割裝置，可以適當縮短切割的工作周期，有利于提高工作效率。本發明的技術方案為偏角度多線切割方法，同時多線切割經過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角A1，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內頂角Dl垂直于水平線的距離；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內頂角D2垂直于水平線的距離。偏角度多線切割方法，同時多線切割經過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角A1，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內頂角D1垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內頂角D2垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米。偏角度多線切割方法，硅錠重量為9.8-10.2公斤。偏角度多線切割方法，多線切割時間為408-422分鐘。偏角度多線切割裝置，包括經過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板2、兩塊鳩尾座3、兩塊玻璃板4、砂漿管5、切割線6和導線輪1;鳩尾座3與托板2相連，托板2與玻璃板4粘接相連，玻璃板4與硅錠相連，切割線6均勻的繞在導線輪1上；多根砂漿管5分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸E1與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角A1，第一上外頂角B1，第一下外頂角Cl，第一下內頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內頂角Dl垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內頂角D2垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米。傳統工藝中將硅錠切割成多片硅片的方法，第一塊硅錠和第二塊硅錠在固定的時候完全與水平面平行，并且切割線與硅錠的底部是平行的，沒有偏角度。這樣的操作是符合切割設備廠商提供的正統的操作，因而很少有技術人員會將此方法進行改動。在傳統的不偏角度的切割中，多線切割各重10公斤的兩塊硅錠至全部為硅片結束，整個切割過程一般需要428-432分鐘。但本發明的技術人員在一次維修設備之后，重新切割各重10公斤的兩塊硅錠至全部為硅片結束，發現只需要412分鐘，這樣短的切割時間明顯不同于傳統切割。經過檢查原因，屬于本發明的技術人員在一次維修設備的過程中不小心誤將固定在鳩尾座3上的第一塊硅錠和第二塊硅錠在安裝的時候出現了一定偏移后，在整個切割完畢后，發現不僅不會降低切割的成品率，反而可以適當縮短切割時間。這樣才引發了本發明。本發明經過多次試驗，表明同時切割重量為各重9.8-10.2公斤的兩塊硅錠，切割成品率，線切割消耗量，切割時間對比如下切割成品率線切割消耗量切割時間不偏角度相同(誤差范圍內)相同(誤差范圍內)430分鐘Cl高于D11.4毫米C2高于D21.4毫米相同(誤差范圍內)相同(誤差范圍內)422分鐘Cl高于D11.5毫米C2高于D21.5毫米相同(誤差范圍內)相同(誤差范圍內)418分鐘4<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>技術術語的解釋和工作原理和本發明的優點如下將硅錠(待加工產品)、玻璃板4、托板2粘接在一起，再和鳩尾座3牢固地裝配在一起，然后再把整個偏角度多線鋸切割裝置通過鳩尾座3裝配在切割機臺上并牢固固定。切割時，在導線輪1轉動將切割線6布置均勻后，啟動砂漿管5使之均勻流出砂漿。在確認砂漿和切割線運轉OK后，整個機臺即可按正常切割程序進行作業。在圖1中，第一上內頂角A1靠近第二上內頂角A2，第一上外頂角B1遠離第二上外頂角B2，第一下外頂角Cl遠離第二下外頂角C2，第一下內頂角Dl靠近第二下內頂角D2。我們分析切割時間縮短的原因如下在現有硅錠的切片過程中，利用鋼線帶動砂漿進行切割作業。由于切割線張力的不均衡性，線割線運動軌跡是弓形，而非直線；這樣一來整個切割的路程實際上有弓形，整個運動軌跡偏長。因而達到同樣切割成品率效果所需要的切割時間偏長。而改用本發明的偏角度的切割方式，通過偏角度多線切割裝置調整硅錠在切割位置的角度，使硅片質量在切割過程受切割線張力影響最小，反而使得線切割運動軌跡是直線，這樣一來整個切割的路程偏短。因而達到同樣切割成品率效果所需要的切割時間偏少。作為硅錠線切割領域，長達400分鐘以上的切割時間，折算成小時后為7小時左右。而傳統的制造業一般以8小時為一個工作人員的工作周期，高負荷運轉的企業通常是采用每天24小時按三班8小時的工作方式。那么采用本發明方法，切割時間由傳統的430分鐘縮短了10-20分鐘是非常有意義的，因為在拆卸已經切割完畢的硅片，更換新的切割線都需要消耗一定的工作時間，如果拆卸更換消耗時間過長，連帶折算成7小時左右的切割時間，導致總工作周期超過8小時的工作，那么每天24小時按三班8小時的工作方式就會縮短為有效工作周期為兩班。采用本發明方法，可以有足夠充裕的時間去準備下一切割工作。圖1是本發明的結構示意圖。附圖標記導線輪1、托板2、鳩尾座3、玻璃板4、砂漿管5、切割線6、第一上內頂角Al、第一上外頂角Bl、第一下外頂角Cl、第一下內頂角Dl、第二上內頂角A2、第二上外頂角B2、第二下外頂角C2、第二下內頂角D2、第一塊硅錠的中心軸El、第二塊硅錠的中心軸E2。具體實施例方式實施例1、偏角度多線切割方法，同時多線切割經過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E25呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角A1，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;第一下外頂角CI垂直于水平線的距離高于第一下內頂角Dl垂直于水平線的距離；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內頂角D2垂直于水平線的距離。實施例2、偏角度多線切割方法，同時多線切割經過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;第一下外頂角CI垂直于水平線的距離高于第一下內頂角Dl垂直于水平線的距離1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內頂角D2垂直于水平線的距離1.6毫米。多線切割時間為408分鐘。實施例3、偏角度多線切割方法，同時多線切割經過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;第一下外頂角CI垂直于水平線的距離高于第一下內頂角Dl垂直于水平線的距離1.4毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內頂角D2垂直于水平線的距離1.4毫米。多線切割時間為422分鐘。實施例4、偏角度多線切割方法，同時多線切割經過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角A1，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;第一下外頂角CI垂直于水平線的距離高于第一下內頂角Dl垂直于水平線的距離1.5毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內頂角D2垂直于水平線的距離1.5毫米。多線切割時間為418分鐘。實施例5、偏角度多線切割方法，硅錠重量為9.8公斤。其余同實施例2。實施例6、偏角度多線切割方法，硅錠重量為10.2公斤。其余同實施例3。實施例7、偏角度多線切割方法，硅錠重量為10.0公斤。其余同實施例4。實施例8、偏角度多線切割裝置，包括經過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板2、兩塊雞尾座3、兩塊玻璃板4、砂槳管5、切割線6和導線輪1;雞尾座3與托板2相連，托板2與玻璃板4粘接相連，玻璃板4與硅錠相連，切割線6均勻的繞在導線輪1上；多根砂漿管5分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸E1與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;其特征在于第一下外頂角Cl6垂直于水平線的距離高于第一下內頂角Dl垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內頂角D2垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米。實施例9、偏角度多線切割裝置，包括經過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板2、兩塊雞尾座3、兩塊玻璃板4、砂槳管5、切割線6和導線輪1;雞尾座3與托板2相連，托板2與玻璃板4粘接相連，玻璃板4與硅錠相連，切割線6均勻的繞在導線輪1上；多根砂漿管5分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸E1與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;其特征在于第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內頂角Dl垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內頂角D2垂直于水平線的距離1.4毫米。實施例8、偏角度多線切割裝置，包括經過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板2、兩塊雞尾座3、兩塊玻璃板4、砂槳管5、切割線6和導線輪1;雞尾座3與托板2相連，托板2與玻璃板4粘接相連，玻璃板4與硅錠相連，切割線6均勻的繞在導線輪1上；多根砂漿管5分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸E1與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;其特征在于第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內頂角D1垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內頂角D2垂直于水平線的距離1.5毫米。實施例8、偏角度多線切割裝置，包括經過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板2、兩塊雞尾座3、兩塊玻璃板4、砂槳管5、切割線6和導線輪1;雞尾座3與托板2相連，托板2與玻璃板4粘接相連，玻璃板4與硅錠相連，切割線6均勻的繞在導線輪1上；多根砂漿管5分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸E1與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內頂角D2;其特征在于第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內頂角D1垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內頂角D2垂直于水平線的距離1.6毫米。權利要求偏角度多線切割方法，同時多線切割經過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座(3)上，第一塊硅錠的中心軸(E1)與第二塊硅錠的中心軸(E2)呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角(A1)，第一上外頂角(B1)，第一下外頂角(C1)，第一下內頂角(D1)；第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角(A2)，第二上外頂角(B2)，第二下外頂角(C2)，第二下內頂角(D2)；其特征在于第一下外頂角(C1)垂直于水平線的距離高于第一下內頂角(D1)垂直于水平線的距離；第二下外頂角(C2)垂直于水平線的距離高于第二下內頂角(D2)垂直于水平線的距離。2.偏角度多線切割方法，同時多線切割經過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座(3)上，第一塊硅錠的中心軸(El)與第二塊硅錠的中心軸(E2)呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角(Al)，第一上外頂角(Bl)，第一下外頂角(Cl)，第一下內頂角(Dl);第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角(A2)，第二上外頂角(B2)，第二下外頂角(C2)，第二下內頂角(D2);其特征在于第一下外頂角(Cl)垂直于水平線的距離高于第一下內頂角(Dl)垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角(C2)垂直于水平線的距離高于第二下內頂角(D2)垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米。3.如權利要求2所述的偏角度多線切割方法，其特征在于硅錠重量為9.8-10.2公斤。4.如權利要求2或3所述的偏角度多線切割方法，其特征在于多線切割時間為408-422分鐘。5.偏角度多線切割裝置，包括經過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板(2)、兩塊鳩尾座(3)、兩塊玻璃板(4)、砂漿管(5)、切割線(6)和導線輪(1);雞尾座(3)與托板(2)相連，托板(2)與玻璃板(4)粘接相連，玻璃板(4)與硅錠相連，切割線(6)均勻的繞在導線輪(1)上；多根砂漿管(5)分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸(El)與第二塊硅錠的中心軸(E2)呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內頂角(Al)，第一上外頂角(Bl)，第一下外頂角(Cl)，第一下內頂角(Dl);第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內頂角(A2)，第二上外頂角(B2)，第二下外頂角(C2)，第二下內頂角(D2);其特征在于第一下外頂角(Cl)垂直于水平線的距離高于第一下內頂角(Dl)垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角(C2)垂直于水平線的距離高于第二下內頂角(D2)垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米。全文摘要本發明涉及偏角度多線鋸切割方法及其切割裝置。傳統工藝中將硅錠切割成多片硅片的方法，第一塊硅錠和第二塊硅錠在固定的時候完全與水平面平行，并且切割線與硅錠的底部是平行的，沒有偏角度。本發明的偏角度多線切割方法，同時多線切割經過倒角處理的兩塊硅錠。采用本發明方法，切割時間由傳統的430分鐘縮短了10-20分鐘是非常有意義的，因為在拆卸已經切割完畢的硅片，更換新的切割線都需要消耗一定的工作時間，如果拆卸更換消耗時間過長，連帶折算成7小時左右的切割時間，導致總工作周期超過8小時的工作，那么每天24小時按三班8小時的工作方式就會縮短為有效工作周期為兩班；也可以有足夠充裕的時間去準備下一切割工作。文檔編號B28D5/04GK101791828SQ20101011410公開日2010年8月4日申請日期2010年2月25日優先權日2010年2月25日發明者喻飛建,徐志群,徐永兵申請人:晶科能源有限公司